青島單路電阻真空表供應(yīng)商

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-04-11

我們?cè)谶M(jìn)等離子體化學(xué)氣相沉積硬膜實(shí)驗(yàn)中采用了間接測(cè)量壓力的ZDZ型電阻真空計(jì),這種真空計(jì)是用氮?dú)鈦?lái)標(biāo)定的。若測(cè)量系統(tǒng)中有其他氣體存在時(shí),測(cè)量誤差大,直接影響到試驗(yàn)的準(zhǔn)確性。在氮?dú)怏w流量為100sccm時(shí),用ZDZ型電阻真空計(jì)測(cè)量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時(shí),所測(cè)的氣壓約為50Pa;在氮?dú)饬髁繛?00sccm時(shí),所測(cè)的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時(shí),所測(cè)的氣壓達(dá)到300Pa。為了對(duì)電阻真空計(jì)在測(cè)量不同氣體時(shí)的氣壓進(jìn)行標(biāo)定,我們采用直接測(cè)量的麥克勞真空計(jì)作為標(biāo)準(zhǔn),對(duì)不同流量的氫氣、氮?dú)?、氬氣和甲烷氣分別用電阻真空計(jì)和麥克勞真空計(jì)進(jìn)行測(cè)量。皮拉尼真空計(jì)測(cè)得壓力值隨著一次干燥過(guò)程的進(jìn)行,逐漸在減小。青島單路電阻真空表供應(yīng)商

真空計(jì)開(kāi)始執(zhí)行任何工作之前,要查看真空部件是否被污染。處理受污染部件時(shí),要遵守相關(guān)規(guī)定,并采取必要的預(yù)防措施。執(zhí)行任何工作之前,要遵守相關(guān)規(guī)定,采取必要的預(yù)防措施,針對(duì)使用的工藝介質(zhì),遵守相關(guān)規(guī)定,并采取必要的預(yù)防措施。要考慮到可能會(huì)與產(chǎn)品材料發(fā)生的反應(yīng)。真空計(jì)安裝變送器時(shí)要注意防止振動(dòng)。安裝變送器任何方位皆可。為防止凝液和顆粒進(jìn)入測(cè)量腔,較好選擇一個(gè)水平到垂直向上的方位,在測(cè)量口可以添加過(guò)濾裝置。如果變送器安裝好之后要進(jìn)行調(diào)節(jié),安裝時(shí)要確保裝好后能夠用按針對(duì)調(diào)節(jié)按鈕進(jìn)行操作。拆掉保護(hù)蓋,將產(chǎn)品連接到真空系統(tǒng)中。日照電阻真空計(jì)售價(jià)真空計(jì)(Vacuum Gauge),又名真空表,是測(cè)量真空度或氣壓的儀器。

電阻真空計(jì)特點(diǎn):1.電阻真空計(jì)配用的傳感器抗沾污、抗氧化、結(jié)實(shí)、不怕氣流沖擊與振動(dòng)。2.重復(fù)性好。眾所周知,在工業(yè)應(yīng)用中,真空測(cè)量的重復(fù)性比側(cè)量精度更為重要。是用戶較關(guān)心的一個(gè)指標(biāo)。測(cè)試結(jié)果與應(yīng)用實(shí)例表明本真空計(jì)的重復(fù)性是工業(yè)應(yīng)用中較理想的中、低真空測(cè)量?jī)x器。3.測(cè)量范圍寬。國(guó)內(nèi)外熱偶真空計(jì)的測(cè)量范圍達(dá)到1-105Pa尚是一次出現(xiàn)。4.帶有兩組觸點(diǎn)輸出。既可作真空檢測(cè),又可作真空監(jiān)控真空繼電器用。5.帶有斷絲報(bào)警。當(dāng)規(guī)管斷絲或規(guī)管電纜接觸不良,操作者能及時(shí)發(fā)現(xiàn)。

環(huán)境溫度的變化會(huì)直接影響到電阻真空計(jì)的測(cè)量誤差。電阻式真空計(jì)對(duì)于微弱的光和熱以及振動(dòng)都很靈敏,引起的誤差也很明顯,而且不同的類(lèi)型的電阻真空計(jì)(定壓、定溫、定流等),溫度的影響也不盡相同。因此電阻真空計(jì)在實(shí)際使用中,需要采取各種補(bǔ)償法來(lái)克服環(huán)境溫度的影響。電阻真空計(jì)的規(guī)管使用時(shí)間長(zhǎng)了之后也會(huì)導(dǎo)致測(cè)量誤差,這個(gè)主要是由于規(guī)管的熱絲發(fā)生了疲勞現(xiàn)象。如蒸鍍過(guò)程中,規(guī)管熱絲被蒸鍍上金屬物,導(dǎo)致電阻溫度系數(shù)變化而引起誤差甚至使規(guī)管失效無(wú)法測(cè)量,或者熱絲由于溫度較高且在低真空度下工作,而導(dǎo)致氧化,適應(yīng)系數(shù)改變,也會(huì)導(dǎo)致極大的誤差,甚至熱絲被燒斷。電阻真空計(jì)采用微處理機(jī)完成測(cè)量數(shù)據(jù)的采集和處理。

各項(xiàng)指標(biāo)全符合JJG236-2009 《活塞式壓力真空計(jì)〉家計(jì)量檢定規(guī)程,運(yùn)用我廠50年中間技術(shù)推出的壓力計(jì)。兩個(gè)被檢表接頭處設(shè)計(jì)有兩個(gè)截止閥,截止閥能及時(shí)關(guān)閉被檢系統(tǒng)之間的壓力。由于活塞式真空壓力計(jì)在加減砝碼時(shí),必須減壓將活塞降下來(lái),而被檢精密壓力表、壓力變送器、傳感器等和系統(tǒng)之間若不能被截止,表中的壓力會(huì)隨著活塞升降而升降,則考核不出被檢表的回程誤差,就不能符合精密壓力表、壓力變送器、壓力傳感器等檢定規(guī)程的要求和耐壓檢定的要求。真空計(jì)按測(cè)量性質(zhì)可分為真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)。濰坊數(shù)字電阻真空表價(jià)格

真空計(jì)適用于300 Pa -0.1Pa范圍內(nèi)的真空測(cè)量和控制。青島單路電阻真空表供應(yīng)商

對(duì)于使用進(jìn)口電阻真空計(jì)時(shí)如何保證測(cè)量吸氣劑放氣量的精度這一問(wèn)題進(jìn)行了探索。首先通過(guò)對(duì)膨脹法標(biāo)準(zhǔn)裝置的改進(jìn)、提高極限真空、提高靜態(tài)保持的真空度、改進(jìn)取氣方法等項(xiàng)措施,提高了校準(zhǔn)精度。使校準(zhǔn)誤差控制在不大于±10%以內(nèi)。同時(shí)又討論了測(cè)量時(shí)的環(huán)境溫度、氣體種類(lèi)、真空計(jì)的靈敏度、熱絲的污染等因素對(duì)儀器測(cè)量精度的影響和消除方法。薄膜電阻真空計(jì)的測(cè)量范圍為1托~1000托,線性測(cè)量,測(cè)量精度優(yōu)于5%,為全壓強(qiáng)測(cè)量,測(cè)量值受被測(cè)氣體種類(lèi)影響較小,引言利用集成電路平面工藝在硅膜片上制作四個(gè)等值電阻,組成惠斯登電橋。青島單路電阻真空表供應(yīng)商

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