光學(xué)薄膜指通過(guò)物理化學(xué)方法在光學(xué)器件表面沉積的膜系,利用光的干涉效應(yīng)改變光學(xué)特性,實(shí)現(xiàn)增透、反射、分光等功能。其應(yīng)用始于20世紀(jì)30年代,現(xiàn)***用于光學(xué)及光電子領(lǐng)域。按功能可分為增透膜、高反膜、濾光膜等類型,材料分為金屬膜(如鋁、銀、金)和非金屬膜兩類,金屬膜常用于反射鏡,非金屬膜因穩(wěn)定性高而應(yīng)用更廣。光學(xué)薄膜通過(guò)控制膜層折射率與厚度實(shí)現(xiàn)光波干涉,單層膜可減少反射光,多層組合可擴(kuò)展低反射率波帶。1961年,三層抗反射膜技術(shù)的提出***提升了寬波帶性能。制造技術(shù)包括熱電阻蒸鍍、電子束蒸發(fā)和濺射法,其中濺射法附著力比較好。隨著光電產(chǎn)業(yè)發(fā)展,光學(xué)薄膜在通訊、顯示、存儲(chǔ)等領(lǐng)域成為關(guān)鍵組件,如投影設(shè)備、光通訊濾波片等,其技術(shù)進(jìn)步直接影響現(xiàn)代光學(xué)儀器的性能演進(jìn)。常用的保護(hù)膜材料有一氧化硅、氟化鎂、二氧化硅、三氧化二鋁等。蘇州品牌光學(xué)膜供應(yīng)商

減反射膜又稱增透膜,它的主要功能是減少或消除透鏡、棱鏡、平面鏡等光學(xué)表面的反射光,從而增加這些元件的透光量,減少或消除系統(tǒng)的雜散光。光學(xué)薄膜**簡(jiǎn)單的增透膜是單層膜,它是鍍?cè)诠鈱W(xué)零件光學(xué)表面上的一層折射率較低的薄膜。當(dāng)薄膜的折射率低于基體材料的折射率時(shí),兩個(gè)界面的反射系數(shù)r1和r2具有 相同的位相變化。如果膜層的光學(xué)厚度是某一波長(zhǎng)的四分之一,相鄰兩束光的光程差恰好為π,即振動(dòng)方向相反,疊加的結(jié)果使光學(xué)表面對(duì)該波長(zhǎng)的反射光減少。適當(dāng)選擇膜層的折射率,使得r1和r2相等,這時(shí)光學(xué)表面的反射光可以完全消除。啟東名優(yōu)光學(xué)膜銷售價(jià)格原則上說(shuō),全電介質(zhì)反射膜的反射率可以無(wú)限接近于1,但是薄膜的散射、吸收損耗限制了薄膜反射率的提高。

熱電阻式、電子槍式和濺射方式。**普通的方式為熱電阻式,是將蒸鍍材料在真空蒸鍍機(jī)內(nèi)置於電阻絲或片上,在高真空的情況下,加熱使材料成為蒸氣,直接鍍於鏡片上。由於有許多高熔點(diǎn)的材料,不易使用此種方式使之熔化、蒸鍍。而以電子槍改進(jìn)此缺點(diǎn),其方法是以高壓電子束直接打擊材料,由於能量集中可以蒸鍍高熔點(diǎn)的材料。另一方式為濺射方式,是以高壓使惰性氣體離子化,打擊材料使之直接濺射至鏡片,以此方式所作薄漠的附著力比較好
在工藝上,人們還缺乏有效的手段實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜淀積參量的精確控制,這樣,薄膜的生長(zhǎng)就具有一定程度的隨機(jī)性,薄膜的光學(xué)常數(shù)、薄膜的厚度以及薄膜的性能也就具有一定程度的不穩(wěn)定性和盲目性,這一切都限制了光學(xué)薄膜質(zhì)量的提高。就光學(xué)薄膜本身來(lái)說(shuō),除了光學(xué)性能需要提高,吸收、散射等光損耗需要減少之外,它的機(jī)械強(qiáng)度、化學(xué)穩(wěn)定性和物理性質(zhì)都需要進(jìn)一步改進(jìn)。在激光系統(tǒng)中,光學(xué)薄膜的抗激光強(qiáng)度較低,這是光學(xué)薄膜研究中**重要的問(wèn)題之一。下面介紹幾種常用的光學(xué)薄膜元件。分光膜主要包括波長(zhǎng)分光膜、光強(qiáng)分光膜和偏振分光膜等幾類。

金屬反射膜的優(yōu)點(diǎn)是制備工藝簡(jiǎn)單,工作的波長(zhǎng)范圍寬;缺點(diǎn)是光損大,反射率不可能很高。為了使金屬反射膜的反射率進(jìn)一步提高,可以在膜的外側(cè)加鍍幾層一定厚度的電介質(zhì)層,組成金屬電介質(zhì)反射膜。需要指出的是,金屬電介質(zhì)射膜增加了某一波長(zhǎng)(或者某一波區(qū))的反射率,卻破壞了金屬膜中性反射的特點(diǎn)。全電介質(zhì)反射膜是建立在多光束干涉基礎(chǔ)上的。與增透膜相反,在光學(xué)表面上鍍一層折射率高于基體材料的薄膜,就可以增加光學(xué)表面的反射率。**簡(jiǎn)單的多層反射是由高、低折射率的二種材料交替蒸鍍而成的,每層膜的光學(xué)厚度為某一波長(zhǎng)的四分一。在這種條件下,參加疊加的各界面上的反射光矢量,振動(dòng)方向相同。合成振幅隨著薄膜層數(shù)的增加而增加。偏振分光膜是利用光斜入射時(shí)薄膜的偏振效應(yīng)制成的。蘇州本地光學(xué)膜按需定制
如果所考慮的光譜區(qū)很寬或通帶透過(guò)率的波紋要求很高,膜系結(jié)構(gòu)會(huì)更加復(fù)雜。蘇州品牌光學(xué)膜供應(yīng)商
圖19.12示出裝配在高真空鍍膜機(jī)基板上的硬件布局。兩個(gè)電子槍源位于基板兩邊,周圍是環(huán)形罩并被擋板覆蓋。離子源位于中間,光控窗口在離子源的前方。圖19.13示出真空室的頂部,真空室里有含6個(gè)圓形夾具的行星系統(tǒng)。夾具用于放置被鍍膜的光學(xué)元件。使用行星系統(tǒng)是保證被蒸發(fā)材料在夾具區(qū)域內(nèi)均勻分布的優(yōu)先方法。夾具繞公共軸旋轉(zhuǎn),同時(shí)繞其自身軸旋轉(zhuǎn)。光控和晶控處于行星驅(qū)動(dòng)機(jī)械裝置的中部,驅(qū)動(dòng)軸遮擋晶控。背面的大開口通向附加的高真空泵?;准訜嵯到y(tǒng)由4個(gè)石英燈組成,真空室的兩邊各兩個(gè)。蘇州品牌光學(xué)膜供應(yīng)商
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