探針臺(tái)可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針?lè)胖迷诠杈希瑥亩梢耘c測(cè)試儀器/半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)配合來(lái)測(cè)試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測(cè)試可以很簡(jiǎn)單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復(fù)雜,包括微電路的完整功能測(cè)試??梢栽趯⒕A鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測(cè)試。在晶圓級(jí)別的測(cè)試允許制造商在生產(chǎn)過(guò)程中多次測(cè)試芯片器件,這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測(cè)試管芯,這在封裝成本相對(duì)于器件成本高的應(yīng)用中很重要。探針臺(tái)還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和故障分析應(yīng)用。選購(gòu)手動(dòng)探針臺(tái)的注意事項(xiàng)。低阻測(cè)試探針臺(tái)加裝
高低溫探針臺(tái)優(yōu)勢(shì)1.滿足各種溫度的需求:可以滿足非常高的溫度或非常低的溫度的需求,因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí),空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上,會(huì)導(dǎo)致漏電過(guò)大而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí),氧化現(xiàn)象會(huì)越來(lái)越明顯,并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過(guò)度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差,物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。晶圓測(cè)試過(guò)程中溫度在低溫和高溫中變換,因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象,定位好的探針與器件間會(huì)有相對(duì)位移,這時(shí)需要針座的重新定位,我們針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來(lái)調(diào)整探針的位置。2、體積小,穩(wěn)定性高:與傳統(tǒng)探針臺(tái)相比,高低溫真空探針臺(tái)的穩(wěn)定性更高,采用先進(jìn)的技術(shù)工藝,讓探針臺(tái)在工作過(guò)程中流暢性更高,平穩(wěn)性更高,從而保證每次實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性,這樣實(shí)驗(yàn)得出的結(jié)果就會(huì)更加準(zhǔn)確。3、成本更低,可兼容直流跟射頻測(cè)試的運(yùn)用:與傳統(tǒng)探針臺(tái)相比,這種探針臺(tái)采用先進(jìn)的合成材料,成本方面比傳統(tǒng)探針臺(tái)更低,但是功能性都更加強(qiáng)大。浙江探針臺(tái)探針臺(tái)與顯示器一體化設(shè)計(jì)。
探針臺(tái)應(yīng)用手動(dòng)探針臺(tái)廣泛應(yīng)用于,科研單位研發(fā)測(cè)試、院校教學(xué)操作、企業(yè)實(shí)驗(yàn)室芯片失效分析等領(lǐng)域。一般使用于研發(fā)測(cè)試階段 ,批量不是很大的情況,大批量的重復(fù)測(cè)試推薦使用探卡。主要功能:搭配外接測(cè)試測(cè)半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀、示波器、網(wǎng)分等測(cè)試源表,量測(cè)半導(dǎo)體器件IV CV脈沖/動(dòng)態(tài)IV等參數(shù)。用途:以往如果需要測(cè)試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài),測(cè)試人員一般會(huì)采用表筆去點(diǎn)測(cè)。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對(duì)于精密微?。{米級(jí))的微電子器件(如IC、晶圓、芯片、LCD Array、CMOS Camera Module、Pitch微小的Connector),表筆點(diǎn)到被測(cè)位置就顯得無(wú)能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生,利用高精度微探針將被測(cè)原件的內(nèi)部訊號(hào)引導(dǎo)出來(lái),便于其電性測(cè)試設(shè)備(不屬于本機(jī)器)對(duì)此測(cè)試、分析。
手動(dòng)探針臺(tái)基本配置(包含探針臺(tái)主體、顯微鏡、針座、探針等),探針臺(tái)主體-可測(cè)試晶圓尺寸:4英寸weili-樣品臺(tái)行程:100mm*100mm-移動(dòng)分辨率:~:360度-低漏電底柵接口,標(biāo)準(zhǔn)Triax輸出-可選400度高溫樣品臺(tái)顯微鏡-三目連續(xù)變倍體鏡,LED環(huán)形照明-光學(xué)變倍總倍率45倍,物鏡,總放大倍率約700倍針座-磁性吸附底座,XYZ移動(dòng)范圍:12mm-移動(dòng)分辨率2um-標(biāo)配4個(gè),可裝6個(gè)-漏電設(shè)計(jì),漏電流探針低于100fA-Triax標(biāo)準(zhǔn)接口輸出,Keithley原裝低噪聲Triax線纜-低漏設(shè)計(jì)電探針,針尖探針探針直徑標(biāo)配10um,1um尺寸。 探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)。
桌面探針系統(tǒng)之射頻探針:把傳統(tǒng)探針臺(tái)的體積大、待測(cè)物規(guī)格限制等一系列缺點(diǎn)改進(jìn)。我們把探針臺(tái)的兩個(gè)探針臂直接分離出來(lái),使用磁吸開(kāi)關(guān)固定在配重塊上,裝配我們自行研發(fā)GS/SG/GSG/GSSG和差分間距可調(diào)射頻探針,高頻率40GHz和67GHz(質(zhì)量的阻抗控制50歐±2/100歐±2,探針的pitch可覆蓋150um~1250um的范圍)放在水平的桌面上進(jìn)行使用、測(cè)試??稍谧烂嫔先我饣顒?dòng),根據(jù)具體測(cè)試環(huán)境調(diào)節(jié)。各規(guī)格探針配合67GHz網(wǎng)絡(luò)分析儀進(jìn)行高頻高速的測(cè)試。半導(dǎo)體測(cè)驗(yàn)設(shè)備首要包含測(cè)機(jī)、探針臺(tái)和分選機(jī)。成都mini led探針臺(tái)
定制探針臺(tái)具有優(yōu)良的機(jī)械系統(tǒng),穩(wěn)定的結(jié)構(gòu),符合人體工程學(xué),以及多項(xiàng)升級(jí)功能。低阻測(cè)試探針臺(tái)加裝
經(jīng)過(guò)檢測(cè),探針臺(tái)將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來(lái),在進(jìn)入后序工序前予以除掉,降低器材的制作本錢(qián)。半導(dǎo)體的測(cè)驗(yàn)環(huán)節(jié),首要包含芯片規(guī)劃中的規(guī)劃驗(yàn)證、晶圓制作中的晶圓測(cè)臉(CP測(cè)驗(yàn))和封裝完結(jié)后的成品測(cè)驗(yàn)(FT測(cè)驗(yàn)》。半導(dǎo)體測(cè)驗(yàn)設(shè)備首要包含測(cè)機(jī)、探針臺(tái)和分選機(jī)。在一切的測(cè)驗(yàn)環(huán)節(jié)中都會(huì)用到測(cè)驗(yàn)機(jī),不同環(huán)節(jié)中測(cè)驗(yàn)機(jī)需要和分選機(jī)或探針臺(tái)配合使用探針臺(tái)是檢測(cè)芯片的重要設(shè)備,在芯片的規(guī)劃驗(yàn)證階段,首要作業(yè)是檢測(cè)芯片規(guī)劃的功能是否可以達(dá)到芯片的技術(shù)指標(biāo),在檢測(cè)過(guò)程中會(huì)對(duì)芯片樣品逐個(gè)查看,只要通過(guò)規(guī)劃驗(yàn)證的產(chǎn)品型號(hào)才會(huì)量產(chǎn)。晶圓測(cè)驗(yàn)一般在晶圓廠、封測(cè)廠或?qū)iT(mén)的測(cè)臉代工廠進(jìn)行,首要用到的設(shè)備為測(cè)驗(yàn)機(jī)和探針臺(tái)。低阻測(cè)試探針臺(tái)加裝
上海波銘科學(xué)儀器有限公司位于望園南路1288弄80號(hào)1904、1909室,是一家專業(yè)的上海波銘科學(xué)儀器有限公司是一家實(shí)力的光學(xué)儀器生產(chǎn)廠家,同時(shí)也是愛(ài)特蒙特正式代理商,主要提供光學(xué)儀器如光柵光譜儀,熒光光譜儀,膜厚測(cè)量?jī)x,探測(cè)器響應(yīng)分析儀等科研光學(xué)儀器.并且提供光學(xué)機(jī)械,電子測(cè)量解決方案,制造工藝精良,質(zhì)量可靠,性能穩(wěn)定,報(bào)價(jià)合理,售后無(wú)憂,值得信賴.公司。愛(ài)特蒙特是上海波銘科學(xué)儀器有限公司的主營(yíng)品牌,是專業(yè)的上海波銘科學(xué)儀器有限公司是一家實(shí)力的光學(xué)儀器生產(chǎn)廠家,同時(shí)也是愛(ài)特蒙特正式代理商,主要提供光學(xué)儀器如光柵光譜儀,熒光光譜儀,膜厚測(cè)量?jī)x,探測(cè)器響應(yīng)分析儀等科研光學(xué)儀器.并且提供光學(xué)機(jī)械,電子測(cè)量解決方案,制造工藝精良,質(zhì)量可靠,性能穩(wěn)定,報(bào)價(jià)合理,售后無(wú)憂,值得信賴.公司,擁有自己**的技術(shù)體系。我公司擁有強(qiáng)大的技術(shù)實(shí)力,多年來(lái)一直專注于上海波銘科學(xué)儀器有限公司是一家實(shí)力的光學(xué)儀器生產(chǎn)廠家,同時(shí)也是愛(ài)特蒙特正式代理商,主要提供光學(xué)儀器如光柵光譜儀,熒光光譜儀,膜厚測(cè)量?jī)x,探測(cè)器響應(yīng)分析儀等科研光學(xué)儀器.并且提供光學(xué)機(jī)械,電子測(cè)量解決方案,制造工藝精良,質(zhì)量可靠,性能穩(wěn)定,報(bào)價(jià)合理,售后無(wú)憂,值得信賴.的發(fā)展和創(chuàng)新,打造高指標(biāo)產(chǎn)品和服務(wù)。自公司成立以來(lái),一直秉承“以質(zhì)量求生存,以信譽(yù)求發(fā)展”的經(jīng)營(yíng)理念,始終堅(jiān)持以客戶的需求和滿意為重點(diǎn),為客戶提供良好的拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測(cè)器,從而使公司不斷發(fā)展壯大。