光掩膜版激光按需定制

來源: 發(fā)布時間:2023-05-02

超快激光脈沖與材料的相互作用在材料加工和微加工中有潛在的應(yīng)用。在超快光脈沖中,由于光能被限制在很短的時間內(nèi),所以可以獲得很高的峰值功率。與連續(xù)波和長脈沖激光的微加工相比,超快激光有幾個優(yōu)點:創(chuàng)建微型結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu)、對周圍環(huán)境沒有附帶損害、清潔的工藝外觀、小的熱影響區(qū)(HAZ)、沒有改變材料性質(zhì)、以及具有透明的材料表面或內(nèi)部結(jié)構(gòu)。超快激光微加工是超快激光應(yīng)用的一個快速發(fā)展的領(lǐng)域。因為加工過程不依賴于激光波長的線性吸收,所以實際上任何電介質(zhì)、金屬或機械硬材料都可以通過相同的激光束進行加工,以進行表面燒蝕和內(nèi)部修飾。激光應(yīng)用之激光光源;光掩膜版激光按需定制

激光掩膜版是芯片制造過程中的圖形“底片”,用于轉(zhuǎn)移高精密電路設(shè)計,承載了圖形設(shè)計和工藝技術(shù)等知識產(chǎn)權(quán)信息。掩模版用于芯片的批量生產(chǎn),是下游生產(chǎn)流程銜接的關(guān)鍵部分,是芯片精度和質(zhì)量的決定因素之一。

激光掩膜版的功能類似于傳統(tǒng)照相機的底片。制造商通常根據(jù)客戶所需要的圖形,用光刻機在原材料上光刻出相應(yīng)的圖形,將不需要的金屬層和膠層洗去,即得到掩膜版。掩膜版的原材料掩膜版基板是制作微細光掩膜圖形的感光空白板。通過光刻制版工藝,將微米級和納米級的精細圖案刻制于基板上制作成掩膜版。掩膜版的作用主要體現(xiàn)為利用已設(shè)計好的圖案,通過透光與非透光方式進行圖像(電路圖形)復(fù)制,從而實現(xiàn)批量生產(chǎn)。 浙江激光切割應(yīng)用于芯片制造的光掩膜為高敏感度的鉻版。

在芯片制造中,光刻是至關(guān)重要的一個環(huán)節(jié),這是將設(shè)計好的芯片版圖轉(zhuǎn)移到晶圓上的過程,類似于膠片相機中的膠卷曝光后,利用底片進行洗制照片的過程。一個底片可以洗出來很多照片,一樣的道理,通過芯片版圖,就是要復(fù)制出來很多芯片,只是這個過程要比洗相片復(fù)雜繁瑣太多。芯片版圖,也稱為光刻掩膜版,或者是光罩、掩膜版,是決定芯片造價成本的關(guān)鍵,一般來說,一個芯片生產(chǎn)線,所需要的大致設(shè)備、材料都是類似的,只是隨著芯片制程工藝的不斷提升,所需要的設(shè)備精密度越高,而材料純度也是越高,這些都會導(dǎo)致生產(chǎn)成本的不斷提升,不過,上升快的則是光刻掩膜版所帶來的成本。

常見、有代表性的激光應(yīng)用之激光光源:如,用半導(dǎo)體激光合成白光光源。

常見、有代表性的激光應(yīng)用之激光通信:激光大氣通信的發(fā)送設(shè)備主要由激光器(光源)、光調(diào)制器、光學(xué)發(fā)射天線(透鏡)等組成;接收設(shè)備主要由光學(xué)接收天線、光檢測器等組成。

常見、有代表性的激光應(yīng)用之激光筆:是把可見激光設(shè)計成便攜、易握的筆型發(fā)射器。常見有紅光(650-660nm, 635nm)、綠光(515-520nm, 532nm)、藍光(445-450nm)和藍紫光(405nm)等,功率常以毫瓦為單位。會報、教學(xué)、導(dǎo)賞人員會使用它投映出光點或光線指向物體,不可對人,尤其需注意人眼防護。 在芯片制造中,光刻類似于膠片相機中利用底片進行洗制照片的過程。

激光工藝:

激光剖面芯片,替代傳統(tǒng)費時費力的冷熱制模固定,人工研磨方法。激光可剖面BGA焊球、玻纖PCB板、開封后裸露的晶圓(配合PICOEYE顯微視覺,切縫寬度可控制低至5微米)。

激光開蓋,主要針對陶瓷、可伐、鋁合金等金屬封裝。超快激光在時間維度聚焦,配合輔助工藝能確保無污染無殘留開蓋。

Eco-Blue激光光化學(xué)法無損開封,利用激光聚焦活化ECO-BLUE溶解液,破壞塑封交聯(lián)結(jié)構(gòu)并溶解,無損晶圓層,應(yīng)用于晶圓級失效機理分析,替代危險的強酸腐蝕工藝。

激光逐層剝離微加工,利用高穩(wěn)定及均勻分布的激光能量,逐層去除PI隔離層、RDL金屬路線重布層,多層晶圓。主要IC類型有陀螺儀、傳感器、硅通孔IC等。 激光微加工系統(tǒng)的主要功能;南昌HOYA激光

PCB板0.1mm激光鉆孔;光掩膜版激光按需定制

超快激光可用于微加工多種材料:金屬、聚合物、半導(dǎo)體、透明材料等。然而,材料的性質(zhì),尤其是光學(xué)和熱學(xué)性質(zhì),需要選擇合適的激光參數(shù)進行修改。要在材料上進行超快激光微加工,必須選擇合適的激光操作參數(shù),例如:激光波長、重復(fù)率、激光功率、掃描通量、脈沖持續(xù)時間、偏振、束斑尺寸和質(zhì)量。

超快激光脈沖微加工的一個明顯特征是透明材料的內(nèi)部微加工。當近紅外超快激光脈沖聚焦在玻璃體內(nèi)時,焦點體積中的強度變得足夠高以引起非線性吸收,這導(dǎo)致焦點體積中玻璃的局部改變 光掩膜版激光按需定制

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