探針臺(tái)怎么選合適的配置，怎么確定精度？通常需要確定以下問(wèn)題來(lái)確定探針臺(tái)的選型：1、比較大需要測(cè)幾英寸的晶圓或者器件？2、探針臺(tái)機(jī)械精度要求多高？3、點(diǎn)測(cè)樣品的尺寸規(guī)格為多少？100um*100um或60um*60um的pad，還是FIB制作的minipad，還是ic內(nèi)部的metal？4、Pad尺寸大于20um就都可以使用體式顯微鏡（體式顯微鏡比較大倍率200倍）5、需要幾根探針同時(shí)去點(diǎn)測(cè)？6、會(huì)測(cè)試到的比較大的電流、電壓值是多少（電壓越高探針的針尖就要越粗、對(duì)夾具的要求也會(huì)越高。5A以下推薦使用同軸夾具、5A以上推薦使用三軸夾具）7、漏電精度需要達(dá)到多高？是否有射頻的需求？三軸管狀?yuàn)A具：100FA，同軸彈簧夾具：10PA（漏電精度：要求能測(cè)到的電流的量級(jí)）。 先進(jìn)半導(dǎo)體探針測(cè)試系統(tǒng)。重慶探針臺(tái)排行榜
RF/mmW超高頻測(cè)試探針臺(tái)系統(tǒng)可配合市場(chǎng)主流擴(kuò)頻模塊進(jìn)行超高頻測(cè)試l大行程高精度探針座，X-Y-Z-Theta四軸控制l顯微鏡可以在2英寸*2英寸*2英寸范圍內(nèi)移動(dòng)，擴(kuò)大了顯微鏡視場(chǎng)l兼容直流與高頻信號(hào)l可以定制，可升級(jí)性強(qiáng)lFA(失效分析)**激光探針臺(tái)系統(tǒng)失效分析實(shí)驗(yàn)室**（芯片去層/線路或Pad切割與熔接電性能測(cè)試驗(yàn)證）l激光鐳射波長(zhǎng)1064/532/355nm可選擇性去除特定材料、而不損傷下層或基底l材料/器件（尤其是射頻特征芯片）的IV/PIV/CV電性測(cè)試和失效分析。l**小切割線寬：355nm1um;，行程25mm，升降精度1uml卡盤(pán)，采用中心吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品l可調(diào)節(jié)顯微鏡快速傾仰，便于更換物鏡，帶自動(dòng)鎖定功能。l高功率白色照明光源（亮度可以無(wú)級(jí)調(diào)節(jié)）。 成都低溫真空探針臺(tái)探針臺(tái)如何來(lái)工作呢？
探針臺(tái)的分類探針臺(tái)可以按照使用類型與功能來(lái)劃分，也可以按照操作方式來(lái)劃分成：手動(dòng)探針臺(tái)、半自動(dòng)探針臺(tái)、全自動(dòng)探針臺(tái)。手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)顧名思義是手動(dòng)控制的，這意味著晶圓載物臺(tái)、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動(dòng)移動(dòng)的。因此一般是在沒(méi)有很多待測(cè)器件需要測(cè)量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動(dòng)探針臺(tái)。該類探針臺(tái)的優(yōu)點(diǎn)之一是只需要**少的培訓(xùn)，易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測(cè)試環(huán)境，并且不需要涉及額外培訓(xùn)和設(shè)置時(shí)間的電子設(shè)備、PC或軟件。由于其靈活和可變性高的特點(diǎn)，非常適合研發(fā)人員使用。全自動(dòng)探針臺(tái)相比上述兩種添加了晶圓材料處理搬運(yùn)單元（MHU）和模式識(shí)別（自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)）。負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試。可以24小時(shí)連續(xù)工作，通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。全自動(dòng)探針臺(tái)價(jià)格也是遠(yuǎn)比手動(dòng)/半自動(dòng)探針臺(tái)要昂貴。
到手動(dòng)探針臺(tái)，它的主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。它是陳本比較高的儀器，不光是要在使用時(shí)好好維護(hù)，不用時(shí)也需要好好保存。怎樣保存呢？1、儀器的運(yùn)輸：儀器運(yùn)輸時(shí)，請(qǐng)先拔掉電源線插頭。儀器運(yùn)輸應(yīng)使用專門(mén)的包裝箱，避免碰到探針臺(tái)的任何運(yùn)動(dòng)部件。2、避免碰撞：在安裝，操作CS探針臺(tái)時(shí)應(yīng)避免碰撞，機(jī)體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音。3、停電或長(zhǎng)期不用、外出旅行時(shí)，請(qǐng)將電源線插頭拔掉以維護(hù)手動(dòng)探針臺(tái)壽命。4、手動(dòng)探針臺(tái)應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺(tái)面上，比如具有防震裝置的工作臺(tái)上，避免在高溫，潮濕激烈震動(dòng)，陽(yáng)光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。5、使用完后需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免灰塵將機(jī)械部件，光學(xué)部件，電學(xué)接觸面污染，導(dǎo)致儀器精度降低。探針臺(tái)機(jī)體清潔時(shí)，避免直接潑水清理，以無(wú)塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機(jī)器，以免發(fā)生故障或危險(xiǎn)。探針臺(tái)光學(xué)部件清潔時(shí)，可用鏡頭紙蘸無(wú)水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無(wú)水酒精是易燃物，使用是要注意。芯片的電參數(shù)測(cè)試用手動(dòng)探針臺(tái)。
探針臺(tái)由哪些部分組成？1.樣品臺(tái)（載物臺(tái)）載物臺(tái)是定位晶圓或芯片的部件設(shè)備。通常會(huì)根據(jù)晶圓的尺寸來(lái)設(shè)計(jì)大小，并配套了相應(yīng)的精密移動(dòng)定位功能。克洛諾斯科技自主研發(fā)的超精密氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)就是作為定位晶圓或芯片的部件設(shè)備，重復(fù)定位精度達(dá)±50納米，可以依靠精密機(jī)械運(yùn)作在極短的曝光時(shí)間內(nèi)完美定位，完成晶圓在量測(cè)端的極精密的檢測(cè)。2.光學(xué)元件這個(gè)部件的作用是能夠從視覺(jué)上放大觀察待測(cè)物，以便精確地將探針前列對(duì)準(zhǔn)并放置在待測(cè)晶圓/芯片的測(cè)量點(diǎn)上。3.卡盤(pán)有一個(gè)非常平坦的金屬表面，卡盤(pán)用夾具來(lái)固定待測(cè)物，或使用真空來(lái)吸附晶圓。探針臺(tái)如何工作？探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片，并精確定位待測(cè)物。手動(dòng)探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中，并使用顯微鏡將探針前列放置到待測(cè)物上的正確位置。一旦所有探針前列都被設(shè)置在正確的位置，就可以對(duì)待測(cè)物進(jìn)行測(cè)試。對(duì)于帶有多個(gè)芯片的晶圓，使用者可以抬起壓盤(pán)，壓盤(pán)將探針頭與芯片分開(kāi)，然后將工作臺(tái)移到下一個(gè)芯片上，使用顯微鏡找到精確的位置，壓板降低后下一個(gè)芯片可以進(jìn)行測(cè)試。半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺(tái)和機(jī)器視覺(jué)來(lái)自動(dòng)化這個(gè)移動(dòng)過(guò)程，提高了探針臺(tái)生產(chǎn)率。 電路板各通道及載體高頻高速測(cè)試。SiC探針臺(tái)商家
了解探針臺(tái)的使用步驟。重慶探針臺(tái)排行榜
探針臺(tái)操作步驟：1.將測(cè)試產(chǎn)品放入探針臺(tái)的臺(tái)盤(pán)上;2.打開(kāi)顯微鏡光源燈（LED或光源機(jī)）;3.打開(kāi)背光面板光源開(kāi)關(guān);4.調(diào)整Zaxis高度對(duì)焦，使能清楚看到樣品圖象為OK;5.調(diào)整目鏡和Zoom倍率，使影像清晰;二.點(diǎn)針操作步驟：1.通過(guò)移動(dòng)鏡頭組部分找到Sample要下針的地方;2.調(diào)整針座位置，將三軸歸零;3.調(diào)整針座仰角機(jī)構(gòu)，使針尖位于顯微鏡射出光斑**上方1-2mm處;4.利用低倍鏡頭找到針尖，將針尖移至視野**位置并通過(guò)調(diào)整焦距使針尖達(dá)到*清晰;6.切換至高倍鏡頭，找到針尖;7.利用針座的X-Y-Z軸微調(diào)下針;8.量測(cè)完畢后，逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)鈕針座的仰角機(jī)構(gòu)的旋鈕取出快速將針往上抬起，針尖即可移開(kāi)針Sample;移動(dòng)座平臺(tái)或者顯微鏡相關(guān)移動(dòng)機(jī)構(gòu)時(shí)，請(qǐng)注意小心避免與鏡頭或被測(cè)品碰撞9.移開(kāi)針座，取出背光面板光源和光源燈等電源.重慶探針臺(tái)排行榜
上海波銘科學(xué)儀器有限公司屬于儀器儀表的高新企業(yè)，技術(shù)力量雄厚。是一家有限責(zé)任公司（自然）企業(yè)，隨著市場(chǎng)的發(fā)展和生產(chǎn)的需求，與多家企業(yè)合作研究，在原有產(chǎn)品的基礎(chǔ)上經(jīng)過(guò)不斷改進(jìn)，追求新型，在強(qiáng)化內(nèi)部管理，完善結(jié)構(gòu)調(diào)整的同時(shí)，良好的質(zhì)量、合理的價(jià)格、完善的服務(wù)，在業(yè)界受到寬泛好評(píng)。公司擁有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，具有拉曼光譜儀，電動(dòng)位移臺(tái)，激光器，光電探測(cè)器等多項(xiàng)業(yè)務(wù)。波銘科儀以創(chuàng)造***產(chǎn)品及服務(wù)的理念，打造高指標(biāo)的服務(wù)，引導(dǎo)行業(yè)的發(fā)展。