探針臺怎么選合適的配置,怎么確定精度?通常需要確定以下問題來確定探針臺的選型:1、比較大需要測幾英寸的晶圓或者器件?2、探針臺機械精度要求多高?3、點測樣品的尺寸規(guī)格為多少?100um*100um或60um*60um的pad,還是FIB制作的minipad,還是ic內(nèi)部的metal?4、Pad尺寸大于20um就都可以使用體式顯微鏡(體式顯微鏡比較大倍率200倍)5、需要幾根探針同時去點測?6、會測試到的比較大的電流、電壓值是多少(電壓越高探針的針尖就要越粗、對夾具的要求也會越高。5A以下推薦使用同軸夾具、5A以上推薦使用三軸夾具)7、漏電精度需要達到多高?是否有射頻的需求?三軸管狀夾具:100FA,同軸彈簧夾具:10PA(漏電精度:要求能測到的電流的量級)。 探針臺采用高剛性顯微鏡龍門設(shè)計。PIV測試探針臺升級
高溫探針臺作為一種高科技產(chǎn)品,價格昂貴,生產(chǎn)成本高,這需要我們在使用時格外注意,以免造成經(jīng)濟損失。那么,我們在使用時應(yīng)該如何維護和保養(yǎng)高溫探針臺呢?1、避免碰撞在安裝,操作CS探針臺時應(yīng)避免碰撞,機體放置需平坦,不可傾斜或橫倒,避免機器發(fā)生故障或異常異音。2、儀器的運輸儀器運輸時,請先拔掉電源線插頭。高溫探針臺運輸應(yīng)使用專門的包裝箱,避免碰到探針臺的任何運動部件。3、儀器的存放使用完后需要注意保持清潔,盡量把灰塵吹干盡,以免灰塵將機械部件,光學部件,電學接觸面污染,導(dǎo)致儀器精度降低。4、清潔探針臺機體清潔時,避免直接潑水清理,以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機器,以免發(fā)生故障或危險。高溫探針臺光學部件清潔時,可用鏡頭紙蘸無水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無水酒精時易燃物,注意使用安全。5、停止運行停電或長期不用、外出旅行時,請將電源線插頭拔掉以維護機器壽命。操作人員一定要嚴格按要求進行使用,以保證數(shù)據(jù)的準確和儀器的正常使用。6、工作環(huán)境探針臺應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺面上,比較好的是具有防震裝置的工作臺上,避免在高溫,潮濕激烈震動,陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。使用電源:220±10%,50~60Hz重慶探針臺維保探針臺主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。
可提供單維磁場,多維磁場探針臺,磁場強度,精度和間隙均可客制化l高剛性結(jié)構(gòu),所有零配件均采用無磁化材料可加載高低溫,可同時進行DC和RF測試,可配合市場主流擴頻模塊進行超高頻測試;大行程高精度探針座,X-Y-Z-Theta四軸控制l顯微鏡可以在2英寸*2英寸*2英寸范圍內(nèi)移動,擴大了顯微鏡視場;兼容直流與高頻信號;可以定制,可升級性強l比較大可以測試12英寸樣品,探針臺chuck具備升降功能,便于樣品和探針的快速分離??膳浜系入x子發(fā)生器使用,可以給樣品提供超高溫和等離子氣體。
M系列探針臺是我司一款基于高校教育與實驗室而研發(fā)的基礎(chǔ)型晶圓測試探針臺。其結(jié)構(gòu)緊湊,設(shè)計精密,價格實惠,在高等院校教學和小型實驗室科研過程中得到運用。配合對應(yīng)的儀器儀表,可以用于測試各類器件的IV/CV,PIV,光電信號等。也可以放置于手套箱內(nèi),配合特殊氣氛使用。一般適用于學校和工廠小型實驗室。產(chǎn)品優(yōu)勢:探針臺與顯示器一體化設(shè)計,大大減小了設(shè)備的占地空間具備自適應(yīng)減震系統(tǒng),一定程度上可防止外界震動的干擾U型平臺鍍鎳設(shè)計,不僅增大了針座的加載空間,還提高了針座平臺和針座之間的吸附力 探針測試臺x-y工作臺。
低溫探針臺中低電流測量的注意事項:低電流測量(低于 1 nA)是評估成熟和新興半導(dǎo)體器件的設(shè)計和制造質(zhì)量的關(guān)鍵工具。在這種情況下,器件材料、生長參數(shù)或器件幾何形狀的修改會導(dǎo)致器件中出現(xiàn)不希望的和無關(guān)的電流路徑。這些所謂的漏電流可能是由材料缺陷、柵極氧化物形態(tài)、襯底選擇和電場分布造成的,并導(dǎo)致器件性能下降——常見的是功耗過大。由于許多這些泄漏路徑背后的物理機制具有眾所周知的溫度依賴性,因此低溫探測測量可以成為識別電流泄漏的精確機制的有用評估工具,特別是對于新材料和器件架構(gòu)。了解探針臺的使用步驟。PIV測試探針臺升級
選購手動探針臺的注意事項。PIV測試探針臺升級
光電流測試探針臺系統(tǒng)是在金相顯微鏡基礎(chǔ)上導(dǎo)入另一路光源,用于輻照樣品以測試樣品在特定波長及能量下的電氣特性等測試目的。l本顯微鏡設(shè)計為雙光路或3光路,其中一路為導(dǎo)入光通路,另一到兩路為成像光路導(dǎo)入光為平行的激光或其它線性光源,波長范圍200nm~20000nm,中間可加入多個波片過濾,起偏及偏振角度無級360度調(diào)節(jié)。光斑輻照直徑有650nm紅光指示。l所有模塊均可拉出設(shè)計,對導(dǎo)入光性質(zhì)無影響。導(dǎo)入光光路可選擇一個光時間開關(guān),精確控制導(dǎo)入光的輻照時間,精度1ms,范圍2ms~∞,在控制界面上可對各種參數(shù)進行詳細設(shè)置。成像光路為同軸照明金相成像,其中一路為1倍成像,可選擇第2路成像,為物鏡的0.25~10倍率,通常在高低溫測試系統(tǒng)里會用到,同一個物鏡不切換,得到兩個不同視野的成像。PIV測試探針臺升級
上海波銘科學儀器有限公司位于望園南路1288弄80號1904、1909室,交通便利,環(huán)境優(yōu)美,是一家貿(mào)易型企業(yè)。波銘科儀是一家有限責任公司(自然)企業(yè),一直“以人為本,服務(wù)于社會”的經(jīng)營理念;“誠守信譽,持續(xù)發(fā)展”的質(zhì)量方針。公司始終堅持客戶需求優(yōu)先的原則,致力于提供高質(zhì)量的拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器。波銘科儀以創(chuàng)造***產(chǎn)品及服務(wù)的理念,打造高指標的服務(wù),引導(dǎo)行業(yè)的發(fā)展。