激光的出現(xiàn)在世界計量史上具有重大的意義。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源,由于它的相干長度很大,干涉儀的測量范圍可以**的擴(kuò)展;而且由于它的光束發(fā)散角小,能量集中,因而它產(chǎn)生的干涉條紋可以用光電接收器接收,變?yōu)殡娪嵦?,并由計?shù)器一個不漏的記錄下來,從而提高了測量速度和測量精度,比如說我國自行設(shè)計與制造的以氦氖激光器作為光源的光電光波比長儀,可以在20分鐘之內(nèi)把1米線紋尺上1001條刻線依次自動鑒定完畢,精度達(dá)到±0.2μm,這就是激光干涉儀的成功例證。即使不做細(xì)分也可達(dá)到μm量級,細(xì)分后更可達(dá)到nm量級。太倉新款雙頻激光干涉儀選擇

多普勒效應(yīng):當(dāng)測量鏡移動時,測量光的頻率變?yōu)閒1±Δf,與參考光f2干涉后形成差頻信號|(f1±Δf)-f2|,該信號反映出位移引起的頻率變化。信號檢測:光電探測器將光信號轉(zhuǎn)為電信號,經(jīng)電路處理提取差頻變化量,然后通過相位比較或脈沖計數(shù)來計算位移。二、主要特點(diǎn)精度高:雙頻激光干涉儀以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量,即使不做細(xì)分也可達(dá)到微米(μm)量級,細(xì)分后更可達(dá)到納米(nm)量級。應(yīng)用范圍廣:雙頻激光干涉儀可用于長度的精密測量,配上適當(dāng)?shù)母郊€可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等。工業(yè)園區(qū)安裝雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹光程傳播:參考光束和測量光束分別經(jīng)過不同的路徑,可能會經(jīng)過被測物體或介質(zhì)。

激光干涉儀是一種高精度的測量工具,以下是對其的詳細(xì)介紹:一、定義與原理激光干涉儀是以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量工具。其工作原理基于干涉原理,即當(dāng)兩束波重疊并結(jié)合時,會產(chǎn)生新的波形模式。在激光干涉儀中,激光束被分為兩路,一路經(jīng)固定反射鏡反射,另一路經(jīng)可動反射鏡反射,兩束光重新匯合時產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動反射鏡移動時,干涉條紋的光強(qiáng)變化被轉(zhuǎn)換為電信號,進(jìn)而計算出位移量。
檢驗光學(xué)元件泰曼干涉儀被普遍用來檢驗平板、棱鏡和透鏡等光學(xué)元件的質(zhì)量。在泰曼干涉儀的一個光路中放置待檢查的平板或棱鏡,平板或棱鏡的折射率或幾何尺寸的任何不均勻性必將反映到干涉圖樣上。若在光路中放置透鏡,可根據(jù)干涉圖樣了解由透鏡造成的波面畸變,從而評估透鏡的波像差。引力波測量干涉儀也可以用于引力波探測(Saulson, 1994) [4]。 激光干涉儀引力波探測器的概念是前蘇聯(lián)科學(xué)家Gertsenshtein和Pustovoit在1962年提出的(Gertsenshtein和Pustovoit 1962) [5]。 1969年美國科學(xué)家Weiss和Forward則分別在1969年即于麻省理工和休斯實驗室建造初步的試驗系統(tǒng)(Weiss 1972) [6]由于其高精度和高靈敏度,激光干涉儀在科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用中都具有重要的地位。

激光平面干涉儀是基于菲索干涉原理設(shè)計的光學(xué)精密計量儀器,主要用于檢測光學(xué)元件表面面形精度和光學(xué)材料的均勻性 [1] [3-4]。該設(shè)備測量精度可達(dá)到1/10-1/100波長量級,采用半導(dǎo)體激光器(635nm)作為光源,具有防塵效果好、結(jié)構(gòu)緊湊等特點(diǎn),適用于光學(xué)車間、實驗室等場景的批量檢測 [3-4]。上海乾曜光學(xué)科技有限公司與北京海富達(dá)科技有限公司均具備相關(guān)生產(chǎn)能力,其中G150M、G200M及60-LP等型號產(chǎn)品采用標(biāo)準(zhǔn)化測量口徑設(shè)計,可滿足不同使用場景需求 [2-4]。截至2025年,相關(guān)企業(yè)產(chǎn)品已服務(wù)國內(nèi)外科研院所及工業(yè)企業(yè) [2]。廣泛應(yīng)用:廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、機(jī)械工程、光學(xué)測量、精密制造等領(lǐng)域。工業(yè)園區(qū)安裝雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹
通過分析干涉條紋的變化,可以得到被測物體的位移信息。太倉新款雙頻激光干涉儀選擇
激光干涉測量儀是一種基于激光干涉原理的高精度計量儀器,廣泛應(yīng)用于工程與技術(shù)科學(xué)領(lǐng)域 [1-2]。該儀器通過測量激光波長變化實現(xiàn)幾何量的檢測,具備抗干擾能力強(qiáng)、精度高等特點(diǎn)。主要應(yīng)用場景包括數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)、光學(xué)平臺校準(zhǔn)等,通過與不同光學(xué)組件結(jié)合,可檢測線性位移、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù) [2]截至2020年11月,激光干涉測量儀的技術(shù)參數(shù)包括 [1]:標(biāo)準(zhǔn)量程:0-40米測量精度:±0.5 ppm分辨率:1納米比較大速率:240米/分鐘角度測量精度:0.2%太倉新款雙頻激光干涉儀選擇
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