化學(xué)氣相沉積鍍膜機(jī):化學(xué)氣相沉積鍍膜機(jī)依靠氣態(tài)的化學(xué)物質(zhì)在高溫、低壓環(huán)境下發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成固態(tài)產(chǎn)物并沉積在工件表面。不同類型的化學(xué)氣相沉積鍍膜機(jī),反應(yīng)條件有所不同。常壓化學(xué)氣相沉積在常壓下進(jìn)行,設(shè)備簡單;低壓化學(xué)氣相沉積在低壓環(huán)境中,能獲得高質(zhì)量薄膜;等離子...
航空航天領(lǐng)域: 飛行器零部件鍍膜:在航空發(fā)動(dòng)機(jī)葉片、渦輪盤等零部件表面鍍膜,可以提高其耐高溫、抗氧化、抗腐蝕性能,延長零部件的使用壽命。例如,在發(fā)動(dòng)機(jī)葉片表面鍍上熱障涂層,可以有效降低葉片的工作溫度,提高發(fā)動(dòng)機(jī)的效率和可靠性。光學(xué)部件鍍膜:航空航天領(lǐng)...
鍍膜機(jī)的組件: 真空系統(tǒng)提供高真空環(huán)境(通常為10?3至10?? Pa),防止薄膜材料氧化或污染。鍍膜源蒸發(fā)源(電阻加熱、電子束加熱)、濺射靶材、化學(xué)前驅(qū)體供應(yīng)裝置等?;膴A具固定和旋轉(zhuǎn)基材,確保薄膜均勻性??刂葡到y(tǒng)監(jiān)控和調(diào)節(jié)真空度、溫度、沉積速率等...
裝飾和防護(hù)領(lǐng)域: 五金裝飾鍍膜:對五金制品如門把手、水龍頭等進(jìn)行鍍膜??梢藻兩细鞣N顏色的金屬膜,如仿金色(通過鍍氮化鈦等薄膜來模擬金色外觀),用于裝飾目的,使產(chǎn)品更加美觀。同時(shí),這些鍍膜還可以提供一定的防護(hù)作用,如防腐蝕、防指紋等。 汽車零部件...
降低成本,提高生產(chǎn)效率: 材料利用率高:磁控濺射鍍膜機(jī)通過磁場約束靶材原子,材料利用率達(dá)80%-90%,遠(yuǎn)高于傳統(tǒng)電鍍的50%-60%。 連續(xù)化生產(chǎn):卷繞式鍍膜機(jī)可實(shí)現(xiàn)柔性基材(如塑料薄膜)的連續(xù)鍍膜,生產(chǎn)速度達(dá)100-300 m/min,效率...
離子鍍機(jī): 原理與特點(diǎn):離子鍍機(jī)在鍍膜過程中引入離子轟擊,通過高能粒子碰撞改善膜層性能。該技術(shù)膜層附著力極強(qiáng),可制備超硬、耐磨涂層,繞鍍性能優(yōu)異。 優(yōu)勢:適用于航空航天部件防護(hù)涂層(如DLC、TiAlN)、汽車活塞環(huán)耐磨鍍層等。可實(shí)現(xiàn)多種材料的...
鍍膜機(jī)是一種用于在各種材料表面沉積薄膜的設(shè)備,它的應(yīng)用非常多樣,主要包括以下幾個(gè)方面: 光學(xué)領(lǐng)域眼鏡鏡片鍍膜:鍍減反射膜是眼鏡鏡片鍍膜的常見應(yīng)用。通過在鏡片表面沉積多層薄膜,可以減少鏡片表面的反射光。例如,在普通的玻璃或樹脂鏡片上鍍膜后,能有效減少因...
增強(qiáng)耐磨性:通過在材料表面鍍上一層硬度高、耐磨性能好的薄膜,如氮化鈦、碳化鎢等涂層,可以顯著提高材料表面的硬度和抗磨損能力,延長材料的使用壽命。例如在機(jī)械加工刀具上鍍膜,可使刀具在切削過程中更耐磨損,減少刀具的更換頻率,提高加工效率。提高耐腐蝕性:鍍膜能夠在材...
提升產(chǎn)品性能:通過在物體表面鍍上一層或多層薄膜,可以顯著提高產(chǎn)品的耐磨性、耐腐蝕性、硬度、導(dǎo)電性、導(dǎo)熱性、光學(xué)性能等。例如,在刀具表面鍍膜可以提高其硬度和耐磨性,延長使用壽命;在光學(xué)鏡片上鍍膜可以增加透光率、減少反射,提高成像質(zhì)量。改善外觀品質(zhì):鍍膜能夠?yàn)楫a(chǎn)品...
實(shí)現(xiàn)特殊功能光學(xué)性能調(diào)控:在光學(xué)領(lǐng)域,鍍膜機(jī)可以通過精確控制薄膜的厚度和折射率等參數(shù),制備出具有特定光學(xué)性能的薄膜,如增透膜、反射膜、濾光膜等。這些光學(xué)薄膜廣泛應(yīng)用于相機(jī)鏡頭、望遠(yuǎn)鏡、顯微鏡、太陽能電池等領(lǐng)域,能夠提高光學(xué)元件的透光率、反射率等性能,改善成像質(zhì)...
產(chǎn)業(yè)化與多元化發(fā)展(20 世紀(jì) 90 年代 - 21 世紀(jì)初)1990 年代中期至 2000 年代初,真空鍍膜機(jī)進(jìn)入自主研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化階段。以深圳先進(jìn)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)的企業(yè)為,一批磁控濺射真空鍍膜設(shè)備生產(chǎn)商涌現(xiàn),不僅具備自主研發(fā)和生產(chǎn)能力,還將產(chǎn)品推向市場,滿足...
鍍膜材料:如果鍍金屬,可考慮蒸發(fā)鍍膜機(jī)或?yàn)R射鍍膜機(jī);鍍陶瓷等化合物,離子鍍膜機(jī)或化學(xué)氣相沉積鍍膜機(jī)可能更合適。工件尺寸與形狀:大尺寸工件需鍍膜室空間大的設(shè)備,如大型平面玻璃鍍膜可選寬幅的磁控濺射鍍膜機(jī);復(fù)雜形狀工件要求鍍膜機(jī)繞鍍性好,離子鍍膜機(jī)是較好的選擇。生...
濺射鍍膜: 原理:濺射鍍膜是在真空環(huán)境下,利用荷能粒子(如氬離子)轟擊靶材(鍍膜材料)表面。當(dāng)氬離子高速撞擊靶材時(shí),靶材表面的原子會(huì)被濺射出來。這些被濺射出來的原子具有一定的動(dòng)能,它們會(huì)在真空室中飛行,并沉積在基底表面形成薄膜。與真空蒸發(fā)鍍膜不同的是...
其他優(yōu)勢: 適用范圍廣:鍍膜機(jī)可以在各種不同的材料表面進(jìn)行鍍膜,包括金屬、陶瓷、玻璃、塑料等,幾乎涵蓋了所有常見的材料類型。而且對于不同形狀、尺寸的工件,無論是平面、曲面還是復(fù)雜的三維結(jié)構(gòu),都可以通過適當(dāng)?shù)腻兡すに囘M(jìn)行處理,具有很強(qiáng)的適應(yīng)性。環(huán)保節(jié)能...
蒸發(fā)鍍膜機(jī):蒸發(fā)鍍膜機(jī)運(yùn)用高溫加熱,讓鍍膜材料從固態(tài)直接轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)。加熱方式涵蓋電阻加熱、電子束加熱和高頻感應(yīng)加熱。以電阻加熱為例,當(dāng)電流通過高電阻材料,電能轉(zhuǎn)化為熱能,使鍍膜材料升溫蒸發(fā)。在真空環(huán)境中,氣態(tài)的鍍膜材料原子或分子做無規(guī)則熱運(yùn)動(dòng),向四周擴(kuò)散,...
增強(qiáng)耐磨性:通過在材料表面鍍上一層硬度高、耐磨性能好的薄膜,如氮化鈦、碳化鎢等涂層,可以顯著提高材料表面的硬度和抗磨損能力,延長材料的使用壽命。例如在機(jī)械加工刀具上鍍膜,可使刀具在切削過程中更耐磨損,減少刀具的更換頻率,提高加工效率。提高耐腐蝕性:鍍膜能夠在材...
電子領(lǐng)域: 半導(dǎo)體器件制造在半導(dǎo)體芯片制造過程中,鍍膜機(jī)用于沉積各種薄膜。例如,沉積金屬薄膜作為電極,如鋁、銅等金屬薄膜可以通過氣相沉積(PVD)或化學(xué)氣相沉積(CVD)的方式在硅片等半導(dǎo)體襯底上形成。還會(huì)沉積絕緣薄膜,如二氧化硅薄膜,用于隔離不同的...
提高導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性:對于一些需要良好導(dǎo)電或?qū)嵝阅艿牟牧?,鍍膜機(jī)可以在其表面鍍上金屬膜層,從而提高其導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性能。這一功能在電子器件和散熱器等領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。增加美觀性:鍍膜處理還可以使產(chǎn)品表面呈現(xiàn)出金屬質(zhì)感或豐富的顏色效果,提升產(chǎn)品的觀賞性和裝飾效果。...
裝飾和防護(hù)領(lǐng)域: 五金裝飾鍍膜:對五金制品如門把手、水龍頭等進(jìn)行鍍膜??梢藻兩细鞣N顏色的金屬膜,如仿金色(通過鍍氮化鈦等薄膜來模擬金色外觀),用于裝飾目的,使產(chǎn)品更加美觀。同時(shí),這些鍍膜還可以提供一定的防護(hù)作用,如防腐蝕、防指紋等。 汽車零部件...
提高導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性:對于一些需要良好導(dǎo)電或?qū)嵝阅艿牟牧?,鍍膜機(jī)可以在其表面鍍上金屬膜層,從而提高其導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性能。這一功能在電子器件和散熱器等領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。增加美觀性:鍍膜處理還可以使產(chǎn)品表面呈現(xiàn)出金屬質(zhì)感或豐富的顏色效果,提升產(chǎn)品的觀賞性和裝飾效果。...
二次電子的能量利用:濺射過程中產(chǎn)生的二次電子在磁場作用下被束縛在靶材表面附近,進(jìn)一步參與氣體電離,形成自持的放電過程。由于二次電子能量較低,終沉積在基片上的能量很小,基片溫升較低。 磁場分布對濺射的影響: 平衡磁控濺射:磁場在靶材表面均勻分布,...
真空腔室材質(zhì):不銹鋼(耐腐蝕、易清潔),內(nèi)壁拋光以減少薄膜沉積死角。配置: 靶材組件:多個(gè)電弧靶(可旋轉(zhuǎn)或固定),靶材材質(zhì)根據(jù)膜層需求選擇(如鈦、鉻、鋯、不銹鋼等)。 工件架:可旋轉(zhuǎn)或行星運(yùn)動(dòng),確保工件表面均勻受鍍(公轉(zhuǎn) + 自轉(zhuǎn))。 進(jìn)...
離子鍍機(jī): 原理與特點(diǎn):離子鍍機(jī)在鍍膜過程中引入離子轟擊,通過高能粒子碰撞改善膜層性能。該技術(shù)膜層附著力極強(qiáng),可制備超硬、耐磨涂層,繞鍍性能優(yōu)異。 優(yōu)勢:適用于航空航天部件防護(hù)涂層(如DLC、TiAlN)、汽車活塞環(huán)耐磨鍍層等??蓪?shí)現(xiàn)多種材料的...
二次電子的能量利用:濺射過程中產(chǎn)生的二次電子在磁場作用下被束縛在靶材表面附近,進(jìn)一步參與氣體電離,形成自持的放電過程。由于二次電子能量較低,終沉積在基片上的能量很小,基片溫升較低。 磁場分布對濺射的影響: 平衡磁控濺射:磁場在靶材表面均勻分布,...
實(shí)現(xiàn)特殊功能光學(xué)性能調(diào)控:在光學(xué)領(lǐng)域,鍍膜機(jī)可以通過精確控制薄膜的厚度和折射率等參數(shù),制備出具有特定光學(xué)性能的薄膜,如增透膜、反射膜、濾光膜等。這些光學(xué)薄膜廣泛應(yīng)用于相機(jī)鏡頭、望遠(yuǎn)鏡、顯微鏡、太陽能電池等領(lǐng)域,能夠提高光學(xué)元件的透光率、反射率等性能,改善成像質(zhì)...
按其他標(biāo)準(zhǔn)分類: MBE分子束外延鍍膜機(jī):是一種用于制備高質(zhì)量薄膜的先進(jìn)設(shè)備,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)和超導(dǎo)等領(lǐng)域。 PLD激光濺射沉積鍍膜機(jī):利用高能激光束轟擊靶材,使靶材物質(zhì)以離子或原子團(tuán)的形式濺射出來,并沉積在基片上形成薄膜。 此外,...
裝飾和防護(hù)領(lǐng)域: 五金裝飾鍍膜:對五金制品如門把手、水龍頭等進(jìn)行鍍膜??梢藻兩细鞣N顏色的金屬膜,如仿金色(通過鍍氮化鈦等薄膜來模擬金色外觀),用于裝飾目的,使產(chǎn)品更加美觀。同時(shí),這些鍍膜還可以提供一定的防護(hù)作用,如防腐蝕、防指紋等。 汽車零部件...
改善材料外觀提高光澤度:鍍膜可以使材料表面獲得極高的光澤度,使其看起來更加光滑、亮麗。比如在汽車零部件、家具五金件等表面進(jìn)行鍍膜處理,能夠提升產(chǎn)品的外觀質(zhì)感,增加產(chǎn)品的視覺吸引力,提高產(chǎn)品的附加值。豐富顏色選擇:鍍膜技術(shù)可以通過控制鍍膜材料的成分、厚度等參數(shù),...
按其他標(biāo)準(zhǔn)分類: MBE分子束外延鍍膜機(jī):是一種用于制備高質(zhì)量薄膜的先進(jìn)設(shè)備,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)和超導(dǎo)等領(lǐng)域。 PLD激光濺射沉積鍍膜機(jī):利用高能激光束轟擊靶材,使靶材物質(zhì)以離子或原子團(tuán)的形式濺射出來,并沉積在基片上形成薄膜。 此外,...
二次電子的能量利用:濺射過程中產(chǎn)生的二次電子在磁場作用下被束縛在靶材表面附近,進(jìn)一步參與氣體電離,形成自持的放電過程。由于二次電子能量較低,終沉積在基片上的能量很小,基片溫升較低。 磁場分布對濺射的影響: 平衡磁控濺射:磁場在靶材表面均勻分布,...