中清航科IoT平臺通過振動傳感器+電流波形分析,提前72小時預警主軸軸承磨損、刀片鈍化等故障。數(shù)字孿生模型模擬設備衰減曲線,備件更換周期精度達±5%,設備綜合效率(OEE)提升至95%。機械切割引發(fā)的殘余應力會導致芯片分層失效。中清航科創(chuàng)新采用超聲波輔助切割,高頻振動(40kHz)使材料塑性分離,應力峰值降低60%。該技術已獲ISO14649認證,適用于汽車電子AEC-Q100可靠性要求。Chiplet架構需對同片晶圓分區(qū)切割。中清航科多深度切割系統(tǒng)支持在單次制程中實現(xiàn)5-200μm差異化切割深度,精度±1.5μm。動態(tài)焦距激光模塊配合高速振鏡,完成異構芯片的高效分離。晶圓切割培訓課程中清航科...
針對晶圓切割后的表面清潔度要求,中清航科在設備中集成了在線等離子清洗模塊。切割完成后立即對晶圓表面進行等離子處理,去除殘留的切割碎屑與有機污染物,清潔度達到 Class 10 標準。該模塊可與切割流程無縫銜接,減少晶圓轉移過程中的二次污染風險。中清航科注重晶圓切割設備的人性化設計,操作界面采用直觀的圖形化布局,支持多語言切換與自定義快捷鍵設置。設備配備可調節(jié)高度的操作面板與符合人體工學的扶手設計,減少操作人員長時間工作的疲勞感,同時提供聲光報警與故障提示,使操作更便捷高效。中清航科晶圓切割代工獲ISO 9001認證,月產(chǎn)能達50萬片。宿遷芯片晶圓切割廠針對晶圓切割過程中的靜電防護問題,中清航科...
磷化銦(InP)光子晶圓易產(chǎn)生邊緣散射損耗。中清航科采用等離子體刻蝕輔助裂片技術,切割面垂直度達89.5°±0.2°,側壁粗糙度Ra<20nm,插入損耗降低至0.15dB/cm。中清航科SkyEye系統(tǒng)通過5G實時回傳設備運行數(shù)據(jù)(振動/電流/溫度),AI引擎15分鐘內(nèi)定位故障根因。遠程AR指導維修,MTTR(平均修復時間)縮短至45分鐘,服務覆蓋全球36國。基于微區(qū)X射線衍射技術,中清航科繪制切割道殘余應力三維分布圖(分辨率10μm),提供量化改進方案。客戶芯片熱循環(huán)壽命提升至5000次(+300%),滿足車規(guī)級AEC-Q104認證。切割道寬度測量儀中清航科研發(fā),在線檢測精度達0.05μm。...
針對航天電子需求,中清航科在屏蔽室內(nèi)完成切割(防宇宙射線干擾)。采用低介電刀具材料,避免靜電放電損傷,芯片單粒子翻轉率降至10?? errors/bit-day。中清航科提供IATF 16949認證切割參數(shù)包:包含200+測試報告(剪切力/熱沖擊/HAST等),加速客戶車規(guī)芯片認證流程,平均縮短上市時間6個月。中清航科殘渣圖譜數(shù)據(jù)庫:通過質譜分析切割碎屑成分,溯源工藝缺陷。每年幫助客戶解決15%的隱性良率問題,挽回損失超$300萬。中清航科氣動懸浮切割頭:根據(jù)晶圓厚度自動調節(jié)壓力(范圍0.1-5N,精度±0.01N)。OLED顯示面板切割良率提升至99.8%,邊緣像素損壞率<0.01%。 ...
針對晶圓切割產(chǎn)生的廢料處理難題,中清航科創(chuàng)新設計了閉環(huán)回收系統(tǒng)。切割過程中產(chǎn)生的硅渣、切割液等廢料,通過管道收集后進行分離處理,硅材料回收率達到 95% 以上,切割液可循環(huán)使用,不僅降低了危廢處理成本,還減少了對環(huán)境的污染,符合半導體產(chǎn)業(yè)的綠色發(fā)展理念。在晶圓切割的精度校準方面,中清航科引入了先進的激光干涉測量技術。設備出廠前,會通過高精度激光干涉儀對所有運動軸進行全行程校準,生成誤差補償表,確保設備在全工作范圍內(nèi)的定位精度一致。同時提供定期校準服務,配備便攜式校準工具,客戶可自行完成日常精度核查,保證設備長期穩(wěn)定運行。晶圓切割應急服務中清航科24小時響應,備件儲備超2000種。臺州12英寸半...
為幫助客戶應對半導體行業(yè)的技術人才短缺問題,中清航科推出 “設備 + 培訓” 打包服務。購買設備的客戶可獲得技術培訓名額,培訓內(nèi)容涵蓋設備操作、工藝調試、故障排除等,培訓結束后頒發(fā)認證證書。同時提供在線技術支持平臺,隨時解答客戶在生產(chǎn)中遇到的技術問題。隨著半導體器件向微型化、集成化發(fā)展,晶圓切割的精度要求將持續(xù)提升。中清航科已啟動亞微米級切割技術的產(chǎn)業(yè)化項目,計劃通過引入更高精度的運動控制系統(tǒng)與更短波長的激光源,實現(xiàn) 500nm 以內(nèi)的切割精度,為量子芯片、生物傳感器等前沿領域的發(fā)展提供關鍵制造設備支持。晶圓切割MES系統(tǒng)中清航科定制,實時追蹤每片切割工藝參數(shù)。麗水砷化鎵晶圓切割廠面對全球半導...
面對全球半導體產(chǎn)業(yè)鏈的區(qū)域化布局趨勢,中清航科建立了覆蓋亞洲、歐洲、北美地區(qū)的本地化服務網(wǎng)絡。其 7×24 小時在線技術支持團隊,可通過遠程診斷系統(tǒng)快速定位設備故障,配合就近備件倉庫,將平均故障修復時間(MTTR)控制在 4 小時以內(nèi),確保客戶生產(chǎn)線的連續(xù)穩(wěn)定運行。綠色制造已成為半導體行業(yè)的發(fā)展共識,中清航科在晶圓切割設備的設計中融入多項節(jié)能技術。其研發(fā)的變頻激光電源,能源轉換效率達到 92%,較傳統(tǒng)設備降低 30% 的能耗;同時采用水循環(huán)冷卻系統(tǒng),水資源回收率達 95% 以上,幫助客戶實現(xiàn)環(huán)保指標與生產(chǎn)成本的雙重優(yōu)化。中清航科切割工藝白皮書下載量超10萬次,成行業(yè)參考標準。嘉興sic晶圓切割...
隨著 Chiplet 技術的興起,晶圓切割需要更高的位置精度以保證后續(xù)的異構集成。中清航科開發(fā)的納米級定位切割系統(tǒng),采用氣浮導軌與光柵尺閉環(huán)控制,定位精度達到 ±0.1μm,配合雙頻激光干涉儀進行實時校準,確保切割道位置與設計圖紙的偏差不超過 0.5μm,為 Chiplet 的高精度互聯(lián)奠定基礎。中清航科深諳半導體設備的定制化需求,可為客戶提供從工藝驗證到設備交付的全流程服務。其技術團隊會深入了解客戶的晶圓規(guī)格、材料特性與產(chǎn)能要求,定制專屬切割方案,如針對特殊異形 Die 的切割路徑優(yōu)化、大尺寸晶圓的分片切割策略等,已成功為多家頭部半導體企業(yè)完成定制化項目交付。中清航科晶圓切割代工獲ISO 9...
在晶圓切割設備的自動化升級浪潮中,中清航科走在行業(yè)前列。其新推出的智能切割單元,可與前端光刻設備、后端封裝設備實現(xiàn)無縫對接,通過 SECS/GEM 協(xié)議完成數(shù)據(jù)交互,實現(xiàn)半導體生產(chǎn)全流程的自動化閉環(huán)。該單元還具備自我診斷功能,能提前預警潛在故障,將非計劃停機時間減少 60%,為大規(guī)模生產(chǎn)提供堅實保障。對于小尺寸晶圓的切割,傳統(tǒng)設備往往面臨定位難、效率低的問題。中清航科專門設計了針對 2-6 英寸小晶圓的切割工作站,采用多工位旋轉工作臺,可同時處理 8 片小晶圓,切割效率較單工位設備提升 4 倍。配合特制的彈性吸盤,能有效避免小晶圓吸附時的損傷,特別適合 MEMS 傳感器、射頻芯片等小批量高精度...
為提升芯片產(chǎn)出量,中清航科通過刀片動態(tài)平衡控制+激光輔助定位,將切割道寬度從50μm壓縮至15μm。導槽設計減少材料浪費,使12英寸晶圓有效芯片數(shù)增加18%,明顯降低單顆芯片制造成本。切割產(chǎn)生的亞微米級粉塵是電路短路的元兇。中清航科集成靜電吸附除塵裝置,在切割點10mm范圍內(nèi)形成負壓場,配合離子風刀清理殘留顆粒,潔凈度達Class 1標準(>0.3μm顆粒<1個/立方英尺)。中清航科設備內(nèi)置AOI(自動光學檢測)模塊,采用多光譜成像技術實時識別崩邊、微裂紋等缺陷。AI算法在0.5秒內(nèi)完成芯片級判定,不良品自動標記,避免后續(xù)封裝資源浪費,每年可為客戶節(jié)省品質成本超百萬。中清航科切割道檢測儀實時反...
晶圓切割的工藝參數(shù)設置需要豐富的經(jīng)驗積累,中清航科開發(fā)的智能工藝推薦系統(tǒng),基于千萬級切割數(shù)據(jù)訓練而成。只需輸入晶圓材料、厚度、切割道寬等基本參數(shù),系統(tǒng)就能自動生成比較好的切割方案,包括激光功率、切割速度、聚焦位置等關鍵參數(shù),新手操作人員也能快速達到工程師的工藝水平,大幅降低技術門檻。半導體產(chǎn)業(yè)對設備的占地面積有著嚴格要求,中清航科采用緊湊型設計理念,將晶圓切割設備的占地面積控制在 2 平方米以內(nèi),較傳統(tǒng)設備減少 40%。在有限空間內(nèi),通過巧妙的結構布局實現(xiàn)全部功能集成,同時預留擴展接口,方便后續(xù)根據(jù)產(chǎn)能需求增加模塊,滿足不同規(guī)模生產(chǎn)車間的布局需求。晶圓切割應急服務中清航科24小時響應,備件儲備...
UV膜殘膠導致芯片貼裝失效。中清航科研發(fā)酶解清洗液,在50℃下選擇性分解膠層分子鏈,30秒清理99.9%殘膠且不損傷鋁焊盤,替代高污染溶劑清洗。針對3D NAND多層堆疊結構,中清航科采用紅外視覺穿透定位+自適應焦距激光,實現(xiàn)128層晶圓的同步切割。垂直對齊精度±1.2μm,層間偏移誤差<0.3μm。中清航科綠色方案整合電絮凝+反滲透技術,將切割廢水中的硅粉、金屬離子分離回收,凈化水重復利用率達98%,符合半導體廠零液體排放(ZLD)標準。 中清航科切割液回收系統(tǒng)降低耗材成本35%,符合綠色制造。泰州sic晶圓切割當晶圓切割面臨復雜圖形切割需求時,中清航科的矢量切割技術展現(xiàn)出獨特優(yōu)勢...
在碳化硅晶圓切割領域,由于材料硬度高達莫氏 9 級,傳統(tǒng)切割方式面臨效率低下的問題。中清航科創(chuàng)新采用超高壓水射流與激光復合切割技術,利用水射流的冷卻作用抑制激光切割產(chǎn)生的熱影響區(qū),同時借助激光的預熱作用降低材料強度,使碳化硅晶圓的切割效率提升 3 倍,熱影響區(qū)控制在 10μm 以內(nèi)。晶圓切割設備的可靠性是大規(guī)模生產(chǎn)的基礎保障。中清航科對中心部件進行嚴格的可靠性測試,其中激光振蕩器經(jīng)過 10 萬小時連續(xù)運行驗證,機械導軌的壽命測試達到 200 萬次往復運動無故障。設備平均無故障時間(MTBF)突破 1000 小時,遠超行業(yè) 800 小時的平均水平,為客戶提供穩(wěn)定可靠的生產(chǎn)保障。針對碳化硅晶圓,中...
面向磁傳感器制造,中清航科開發(fā)超導磁懸浮切割臺。晶圓在強磁場(0.5T)下懸浮,消除機械接觸應力,切割后磁疇結構畸變率<0.3%,靈敏度波動控制在±0.5%。中清航科電化學回收裝置從切割廢水中提取金/銅/錫等金屬,純度達99.95%。單條產(chǎn)線年回收貴金屬價值超$80萬,回收水符合SEMI F78標準,實現(xiàn)零廢液排放。針對HJT電池脆弱電極層,中清航科采用熱激光控制技術(LCT)。紅外激光精確加熱切割區(qū)至200℃,降低材料脆性,電池效率損失<0.1%,碎片率控制在0.2%以內(nèi)。 中清航科切割耗材全球供應鏈,保障客戶生產(chǎn)連續(xù)性。金華藍寶石晶圓切割寬度針對小批量多品種的研...
中清航科CutSim軟件建立熱-力-流體耦合模型,預測切割溫度場/應力場分布。輸入材料參數(shù)即可優(yōu)化工藝,客戶開發(fā)周期縮短70%,試錯成本下降$50萬/項目。針對MEMS陀螺儀等真空封裝器件,中清航科提供10??Pa級真空切割艙。消除空氣阻尼影響,切割后器件Q值保持率>99.8%,良率提升至98.5%。中清航科AI排程引擎分析晶圓MAP圖,自動規(guī)劃切割路徑與順序。材料利用率提升7%,設備空閑率下降至8%,支持動態(tài)插單響應(切換時間<5分鐘)。切割機預測性維護平臺中清航科上線,關鍵部件壽命預警準確率99%。徐州碳化硅晶圓切割寬度晶圓切割作為半導體制造流程中的關鍵環(huán)節(jié),直接影響芯片的良率與性能。中清...
中清航科開放6條全自動切割產(chǎn)線,支持從8英寸化合物半導體到12英寸邏輯晶圓的來料加工。云端訂單系統(tǒng)實時追蹤進度,平均交貨周期48小時,良率承諾99.2%。先進封裝RDL層切割易引發(fā)銅箔撕裂。中清航科應用超快飛秒激光(脈寬400fs)配合氦氣保護,在銅-硅界面形成納米級熔融區(qū),剝離強度提升5倍。中清航科搭建全球較早切割工藝共享平臺,收錄3000+材料參數(shù)組合。客戶輸入晶圓類型/厚度/目標良率,自動生成比較好參數(shù)包,工藝開發(fā)周期縮短90%。 切割機預測性維護平臺中清航科上線,關鍵部件壽命預警準確率99%。紹興碳化硅晶圓切割企業(yè)當晶圓切割面臨復雜圖形切割需求時,中清航科的矢量切割技術展現(xiàn)出...
針對高粘度晶圓切割液的回收處理,中清航科研發(fā)了離心式過濾凈化系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過三級過濾工藝,可去除切割液中 99.9% 的固體顆粒雜質,使切割液循環(huán)利用率提升至 80% 以上,不只降低耗材成本,還減少廢液排放。同時配備濃度自動調節(jié)功能,確保切割液性能穩(wěn)定,保障切割質量一致性。在晶圓切割設備的維護便捷性設計上,中清航科秉持 “易維護” 理念。設備關鍵部件采用模塊化設計,更換激光頭、切割刀片等中心組件只需 15 分鐘,較傳統(tǒng)設備縮短 70% 維護時間。同時配備維護指引系統(tǒng),通過 AR 技術直觀展示維護步驟,降低對專業(yè)維護人員的依賴,減少客戶運維壓力。晶圓切割后清洗設備中清航科專利設計,殘留顆粒<5個...
UV膜殘膠導致芯片貼裝失效。中清航科研發(fā)酶解清洗液,在50℃下選擇性分解膠層分子鏈,30秒清理99.9%殘膠且不損傷鋁焊盤,替代高污染溶劑清洗。針對3D NAND多層堆疊結構,中清航科采用紅外視覺穿透定位+自適應焦距激光,實現(xiàn)128層晶圓的同步切割。垂直對齊精度±1.2μm,層間偏移誤差<0.3μm。中清航科綠色方案整合電絮凝+反滲透技術,將切割廢水中的硅粉、金屬離子分離回收,凈化水重復利用率達98%,符合半導體廠零液體排放(ZLD)標準。 中清航科等離子切割技術處理氮化鎵晶圓,熱影響區(qū)減少60%。衢州半導體晶圓切割藍膜中清航科ESG解決方案:設備內(nèi)置能源管理模塊,智能調節(jié)激光功率與...
中清航科動態(tài)線寬控制系統(tǒng)利用實時共焦傳感器監(jiān)測切割槽形貌,通過AI算法自動補償?shù)毒吣p導致的線寬偏差(精度±0.8μm)。該技術使12英寸晶圓切割道均勻性提升至97%,芯片產(chǎn)出量增加5.3%,年節(jié)省材料成本超$150萬。針對消費電子量產(chǎn)需求,中清航科開發(fā)多光束并行切割引擎。6路紫外激光(波長355nm)通過衍射光學元件分束,同步切割效率提升400%,UPH突破300片(12英寸),單顆芯片加工成本下降至$0.003。先進制程芯片的低k介質層易在切割中剝落。中清航科采用局部真空吸附+低溫氮氣幕技術,在切割區(qū)形成-30℃微環(huán)境,結合納米涂層刀具,介質層破損率降低至0.01ppm,通過3nm芯片可靠...
半導體制造對潔凈度要求嚴苛,晶圓切割環(huán)節(jié)的微塵污染可能導致芯片失效。中清航科的切割設備采用全封閉防塵結構與高效 HEPA 過濾系統(tǒng),工作區(qū)域潔凈度達到 Class 1 標準,同時配備激光誘導等離子體除塵裝置,實時清理切割產(chǎn)生的微米級顆粒,使產(chǎn)品不良率降低至 0.1% 以下。在成本控制成為半導體企業(yè)核心競爭力的現(xiàn)在,中清航科通過技術創(chuàng)新實現(xiàn)切割耗材的大幅節(jié)約。其自主研發(fā)的金剛石切割刀片,使用壽命較行業(yè)平均水平延長 50%,且通過刀片磨損實時監(jiān)測與自動補償技術,減少頻繁更換帶來的停機損失,幫助客戶降低 20% 的耗材成本,在激烈的市場競爭中構筑成本優(yōu)勢。中清航科多軸聯(lián)動切割頭,適應曲面晶圓±15°...
中清航科開放6條全自動切割產(chǎn)線,支持從8英寸化合物半導體到12英寸邏輯晶圓的來料加工。云端訂單系統(tǒng)實時追蹤進度,平均交貨周期48小時,良率承諾99.2%。先進封裝RDL層切割易引發(fā)銅箔撕裂。中清航科應用超快飛秒激光(脈寬400fs)配合氦氣保護,在銅-硅界面形成納米級熔融區(qū),剝離強度提升5倍。中清航科搭建全球較早切割工藝共享平臺,收錄3000+材料參數(shù)組合??蛻糨斎刖A類型/厚度/目標良率,自動生成比較好參數(shù)包,工藝開發(fā)周期縮短90%。 切割道寬度測量儀中清航科研發(fā),在線檢測精度達0.05μm。泰州砷化鎵晶圓切割刀片隨著芯片輕薄化趨勢,中清航科DBG(先切割后研磨)與SDBG(半切割...
中清航科CutSim軟件建立熱-力-流體耦合模型,預測切割溫度場/應力場分布。輸入材料參數(shù)即可優(yōu)化工藝,客戶開發(fā)周期縮短70%,試錯成本下降$50萬/項目。針對MEMS陀螺儀等真空封裝器件,中清航科提供10??Pa級真空切割艙。消除空氣阻尼影響,切割后器件Q值保持率>99.8%,良率提升至98.5%。中清航科AI排程引擎分析晶圓MAP圖,自動規(guī)劃切割路徑與順序。材料利用率提升7%,設備空閑率下降至8%,支持動態(tài)插單響應(切換時間<5分鐘)。中清航科推出晶圓切割應力模擬軟件,提前預判崩邊風險。江蘇砷化鎵晶圓切割刀片面對高溫高濕等惡劣生產(chǎn)環(huán)境,中清航科對晶圓切割設備進行了特殊環(huán)境適應性改造。設備電...
面向磁傳感器制造,中清航科開發(fā)超導磁懸浮切割臺。晶圓在強磁場(0.5T)下懸浮,消除機械接觸應力,切割后磁疇結構畸變率<0.3%,靈敏度波動控制在±0.5%。中清航科電化學回收裝置從切割廢水中提取金/銅/錫等金屬,純度達99.95%。單條產(chǎn)線年回收貴金屬價值超$80萬,回收水符合SEMI F78標準,實現(xiàn)零廢液排放。針對HJT電池脆弱電極層,中清航科采用熱激光控制技術(LCT)。紅外激光精確加熱切割區(qū)至200℃,降低材料脆性,電池效率損失<0.1%,碎片率控制在0.2%以內(nèi)。 中清航科聯(lián)合高校成立切割技術研究院,突破納米級切割瓶頸。紹興砷化鎵晶圓切割在碳化硅晶圓切割...
中清航科兆聲波清洗技術結合納米氣泡噴淋,去除切割道深槽內(nèi)的微顆粒。流體仿真設計使清洗液均勻覆蓋15:1深寬比結構,殘留物<5ppb,電鏡檢測達標率100%。中清航科推出刀片/激光器租賃服務:通過云平臺監(jiān)控耗材使用狀態(tài),按實際切割長度計費。客戶CAPEX(資本支出)降低40%,并享受技術升級,實現(xiàn)輕資產(chǎn)運營。中清航科VirtualCut軟件構建切割過程3D物理模型,輸入材料參數(shù)即可預測崩邊尺寸、應力分布。虛擬調試功能將新工藝驗證周期從3周壓縮至72小時,加速客戶產(chǎn)品上市。中清航科綠色切割方案:冷卻液循環(huán)利用率達95%,激光系統(tǒng)能耗降低30%(對比行業(yè)均值)。碳足跡追蹤平臺量化每片晶圓加工排放,助...
中清航科CutSim軟件建立熱-力-流體耦合模型,預測切割溫度場/應力場分布。輸入材料參數(shù)即可優(yōu)化工藝,客戶開發(fā)周期縮短70%,試錯成本下降$50萬/項目。針對MEMS陀螺儀等真空封裝器件,中清航科提供10??Pa級真空切割艙。消除空氣阻尼影響,切割后器件Q值保持率>99.8%,良率提升至98.5%。中清航科AI排程引擎分析晶圓MAP圖,自動規(guī)劃切割路徑與順序。材料利用率提升7%,設備空閑率下降至8%,支持動態(tài)插單響應(切換時間<5分鐘)。中清航科切割機遠程診斷系統(tǒng),故障排除時間縮短70%。常州碳化硅陶瓷晶圓切割寬度在晶圓切割的邊緣檢測精度提升上,中清航科創(chuàng)新采用雙攝像頭立體視覺技術。通過兩個...
在晶圓切割的邊緣檢測精度提升上,中清航科創(chuàng)新采用雙攝像頭立體視覺技術。通過兩個高分辨率工業(yè)相機從不同角度采集晶圓邊緣圖像,經(jīng)三維重建算法精確計算邊緣位置,即使晶圓存在微小翹曲,也能確保切割路徑的精確定位,邊緣檢測誤差控制在 1μm 以內(nèi),大幅提升切割良率。為適應半導體工廠的能源管理需求,中清航科的切割設備配備能源監(jiān)控與分析系統(tǒng)。實時監(jiān)測設備的電壓、電流、功率等能源參數(shù),生成能耗分析報表,識別能源浪費點并提供優(yōu)化建議。同時支持峰谷用電策略,可根據(jù)工廠電價時段自動調整運行計劃,降低能源支出。切割粉塵在線監(jiān)測中清航科傳感器精度達0.01μm顆粒物檢測。揚州晶圓切割藍膜大規(guī)模量產(chǎn)場景中,晶圓切割的穩(wěn)定...
面對全球半導體產(chǎn)業(yè)鏈的區(qū)域化布局趨勢,中清航科建立了覆蓋亞洲、歐洲、北美地區(qū)的本地化服務網(wǎng)絡。其 7×24 小時在線技術支持團隊,可通過遠程診斷系統(tǒng)快速定位設備故障,配合就近備件倉庫,將平均故障修復時間(MTTR)控制在 4 小時以內(nèi),確??蛻羯a(chǎn)線的連續(xù)穩(wěn)定運行。綠色制造已成為半導體行業(yè)的發(fā)展共識,中清航科在晶圓切割設備的設計中融入多項節(jié)能技術。其研發(fā)的變頻激光電源,能源轉換效率達到 92%,較傳統(tǒng)設備降低 30% 的能耗;同時采用水循環(huán)冷卻系統(tǒng),水資源回收率達 95% 以上,幫助客戶實現(xiàn)環(huán)保指標與生產(chǎn)成本的雙重優(yōu)化。超窄街切割方案中清航科實現(xiàn)30μm道寬,芯片數(shù)量提升18%。杭州半導體晶圓...
中清航科飛秒激光雙光子聚合技術:在PDMS基板上直寫三維微流道(最小寬度15μm),切割精度達±0.25μm,替代傳統(tǒng)光刻工藝,開發(fā)成本降低80%。中清航科推出“切割即服務”(DaaS):客戶按實際切割面積付費($0.35/英寸),包含設備/耗材/維護全包。初始投入降低90%,產(chǎn)能彈性伸縮±50%,適配訂單波動。中清航科共聚焦激光測距系統(tǒng)實時監(jiān)測切割深度(分辨率0.1μm),閉環(huán)控制切入量。將150μm晶圓切割深度誤差壓縮至±2μm,背面研磨時間減少40%。 采用中清航科激光隱形切割技術,晶圓分片效率提升40%以上。徐州半導體晶圓切割企業(yè)隨著半導體市場需求的快速變化,產(chǎn)品迭代周期不斷縮...
面對全球半導體產(chǎn)業(yè)鏈的區(qū)域化布局趨勢,中清航科建立了覆蓋亞洲、歐洲、北美地區(qū)的本地化服務網(wǎng)絡。其 7×24 小時在線技術支持團隊,可通過遠程診斷系統(tǒng)快速定位設備故障,配合就近備件倉庫,將平均故障修復時間(MTTR)控制在 4 小時以內(nèi),確保客戶生產(chǎn)線的連續(xù)穩(wěn)定運行。綠色制造已成為半導體行業(yè)的發(fā)展共識,中清航科在晶圓切割設備的設計中融入多項節(jié)能技術。其研發(fā)的變頻激光電源,能源轉換效率達到 92%,較傳統(tǒng)設備降低 30% 的能耗;同時采用水循環(huán)冷卻系統(tǒng),水資源回收率達 95% 以上,幫助客戶實現(xiàn)環(huán)保指標與生產(chǎn)成本的雙重優(yōu)化。切割冷卻液在線凈化裝置中清航科研發(fā),雜質濃度自動控制<1ppm。嘉興碳化硅...
隨著 Chiplet 技術的興起,晶圓切割需要更高的位置精度以保證后續(xù)的異構集成。中清航科開發(fā)的納米級定位切割系統(tǒng),采用氣浮導軌與光柵尺閉環(huán)控制,定位精度達到 ±0.1μm,配合雙頻激光干涉儀進行實時校準,確保切割道位置與設計圖紙的偏差不超過 0.5μm,為 Chiplet 的高精度互聯(lián)奠定基礎。中清航科深諳半導體設備的定制化需求,可為客戶提供從工藝驗證到設備交付的全流程服務。其技術團隊會深入了解客戶的晶圓規(guī)格、材料特性與產(chǎn)能要求,定制專屬切割方案,如針對特殊異形 Die 的切割路徑優(yōu)化、大尺寸晶圓的分片切割策略等,已成功為多家頭部半導體企業(yè)完成定制化項目交付。MEMS器件晶圓切割中清航科特殊...