RTTLIT P10 熱紅外顯微鏡在光學(xué)配置上的靈活性,可通過(guò)多種可選物鏡得以充分體現(xiàn),為不同尺度、不同場(chǎng)景的熱分析需求提供精細(xì)適配。 Micro 廣角鏡頭擅長(zhǎng)捕捉大視野范圍的整體熱分布,適合快速定位樣品宏觀熱異常區(qū)域,如整片晶圓的整體散熱趨勢(shì)觀測(cè);...
RTTLIT P10 熱紅外顯微鏡在光學(xué)配置上的靈活性,可通過(guò)多種可選物鏡得以充分體現(xiàn),為不同尺度、不同場(chǎng)景的熱分析需求提供精細(xì)適配。 Micro 廣角鏡頭擅長(zhǎng)捕捉大視野范圍的整體熱分布,適合快速定位樣品宏觀熱異常區(qū)域,如整片晶圓的整體散熱趨勢(shì)觀測(cè);...
半導(dǎo)體制程已逐步進(jìn)入 3 納米及更先進(jìn)階段,芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)日趨密集,供電電壓也持續(xù)降低,這使得微觀熱行為對(duì)器件性能的影響變得更為明顯。致晟光電熱紅外顯微鏡是在傳統(tǒng)熱發(fā)射顯微鏡基礎(chǔ)上,經(jīng)迭代進(jìn)化而成的精密工具。在先進(jìn)制程研發(fā)中,它在應(yīng)對(duì)熱難題方面能提供一定支持,在...
熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI) 也是科研與教學(xué)領(lǐng)域的利器,其設(shè)備能捕捉微觀世界的熱信號(hào)。它將紅外探測(cè)與顯微技術(shù)結(jié)合,呈現(xiàn)物體表面溫度分布,分辨率達(dá)微米級(jí),可觀察半導(dǎo)體芯片熱點(diǎn)、電子器件熱分布等。非接觸式測(cè)量是其一大優(yōu)勢(shì),無(wú)需與被測(cè)物體直接接觸,避...
熱紅外顯微鏡是一種融合紅外熱成像與顯微技術(shù)的精密檢測(cè)工具,通過(guò)捕捉物體表面及內(nèi)部的熱輻射信號(hào),實(shí)現(xiàn)微觀尺度下的溫度分布可視化分析。其**原理基于黑體輻射定律——任何溫度高于***零度的物體都會(huì)發(fā)射紅外電磁波,且溫度與輻射強(qiáng)度呈正相關(guān),而顯微鏡系統(tǒng)則賦予其微...
熱紅外顯微鏡是半導(dǎo)體失效分析與缺陷定位的三大主流手段之一(EMMI、THERMAL、OBIRCH),通過(guò)捕捉故障點(diǎn)產(chǎn)生的異常熱輻射,實(shí)現(xiàn)精細(xì)定位。存在缺陷或性能退化的器件通常表現(xiàn)為局部功耗異常,導(dǎo)致微區(qū)溫度升高。顯微熱分布測(cè)試系統(tǒng)結(jié)合熱點(diǎn)鎖定技術(shù),能夠高效...
在國(guó)內(nèi)失效分析設(shè)備領(lǐng)域,專注于原廠研發(fā)與生產(chǎn)的企業(yè)數(shù)量相對(duì)較少,尤其在熱紅外檢測(cè)這類高精度細(xì)分領(lǐng)域,具備自主技術(shù)積累的原廠更為稀缺。這一現(xiàn)狀既源于技術(shù)門檻 —— 需融合光學(xué)、紅外探測(cè)、信號(hào)處理等多學(xué)科技術(shù),也受限于市場(chǎng)需求的專業(yè)化程度,導(dǎo)致多數(shù)企業(yè)傾向于代...
非破壞性分析(NDA)以非侵入方式分析樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)和性能,無(wú)需切割、拆解或化學(xué)處理,能保留樣品完整性,為后續(xù)研究留有余地,在高精度、高成本的半導(dǎo)體領(lǐng)域作用突出。 無(wú)損分析,通過(guò)捕捉樣品自身紅外熱輻射成像,全程無(wú)接觸,無(wú)需對(duì)晶圓、芯片等進(jìn)行破壞性處理。...
熱點(diǎn)區(qū)域?qū)?yīng)高溫部位,可能是發(fā)熱源或故障點(diǎn);等溫線連接溫度相同點(diǎn),能直觀呈現(xiàn)溫度梯度與熱量傳導(dǎo)規(guī)律。目前市面上多數(shù)設(shè)備受紅外波長(zhǎng)及探測(cè)器性能限制,普遍存在熱點(diǎn)分散、噪點(diǎn)多的問(wèn)題,導(dǎo)致發(fā)熱區(qū)域定位不準(zhǔn),圖像對(duì)比度和清晰度下降,影響溫度分布判斷的準(zhǔn)確性。 ...
致晟光電熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI)系列中的 RTTLIT P20 實(shí)時(shí)瞬態(tài)鎖相熱分析系統(tǒng),采用鎖相熱成像(Lock-inThermography)技術(shù),通過(guò)調(diào)制電信號(hào)提升特征分辨率與靈敏度,并結(jié)合軟件算法優(yōu)化信噪比,實(shí)現(xiàn)顯微成像下超高靈敏度的熱信...
在產(chǎn)品全壽命周期中,失效分析以解決失效問(wèn)題、確定根本原因?yàn)槟繕?biāo)。通過(guò)對(duì)失效模式開展綜合性試驗(yàn)分析,它能定位失效部位,厘清失效機(jī)理 —— 無(wú)論是材料劣化、結(jié)構(gòu)缺陷還是工藝瑕疵引發(fā)的問(wèn)題,都能被系統(tǒng)拆解。在此基礎(chǔ)上,進(jìn)一步提出針對(duì)性糾正措施,從源頭阻斷失...
非制冷熱紅外顯微鏡基于微測(cè)輻射熱計(jì),無(wú)需低溫制冷裝置,具有功耗低、維護(hù)成本低等特點(diǎn),適合長(zhǎng)時(shí)間動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)。其通過(guò)鎖相熱成像等技術(shù)優(yōu)化后,雖靈敏度(通常 0.01-0.1℃)和分辨率(普遍 5-20μm)略遜于制冷型,但性價(jià)比更高,。與制冷型對(duì)比,非制冷型無(wú)需制冷...
無(wú)損熱紅外顯微鏡的非破壞性分析(NDA)技術(shù),為失效分析提供了 “保全樣品” 的重要手段。它在不損傷高價(jià)值樣品的前提下,捕捉隱性熱信號(hào)以定位內(nèi)部缺陷,既保障了分析的準(zhǔn)確性,又為后續(xù)驗(yàn)證、復(fù)盤保留了完整樣本,讓失效分析從 “找到問(wèn)題” 到 “解決問(wèn)題” 的閉...
制冷熱紅外顯微鏡因中樞部件精密(如深制冷探測(cè)器、鎖相熱成像模塊),故障維修對(duì)專業(yè)性要求極高,優(yōu)先建議聯(lián)系原廠。原廠掌握設(shè)備重要技術(shù)與專屬備件(如制冷型MCT探測(cè)器、高頻信號(hào)調(diào)制組件),能定位深制冷系統(tǒng)泄漏、鎖相算法異常等復(fù)雜問(wèn)題,且維修后可保障性能參數(shù)(如0....
EMMI 技術(shù)基于半導(dǎo)體器件在工作時(shí)因電子 - 空穴復(fù)合產(chǎn)生的光子輻射現(xiàn)象,通過(guò)高靈敏度光學(xué)探測(cè)器捕捉微弱光子信號(hào),能夠以皮安級(jí)電流精度定位漏電、短路等微觀缺陷。這種技術(shù)尤其適用于檢測(cè)芯片內(nèi)部的柵極氧化層缺陷、金屬導(dǎo)線短路等肉眼難以察覺的故障,為工程師提供...
在失效分析中,零成本簡(jiǎn)單且常用的三個(gè)方法基于“觀察-驗(yàn)證-定位”的基本邏輯,無(wú)需復(fù)雜設(shè)備即可快速縮小失效原因范圍: 1.外觀檢查法(VisualInspection) 2.功能復(fù)現(xiàn)與對(duì)比法(FunctionReproduction&Compar...
從傳統(tǒng)熱發(fā)射顯微鏡到致晟光電熱紅外顯微鏡的技術(shù)進(jìn)化,不只是觀測(cè)精度與靈敏度的提升,更實(shí)現(xiàn)了對(duì)先進(jìn)制程研發(fā)需求的深度適配。它以微觀熱信號(hào)為紐帶,串聯(lián)起芯片設(shè)計(jì)、制造與可靠性評(píng)估全流程。在設(shè)計(jì)環(huán)節(jié)助力優(yōu)化熱布局,制造階段輔助排查熱相關(guān)缺陷,可靠性評(píng)估時(shí)提供精細(xì)熱數(shù)...
熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI)技術(shù),作為半導(dǎo)體失效分析領(lǐng)域的關(guān)鍵手段,通過(guò)捕捉器件內(nèi)部產(chǎn)生的熱輻射,實(shí)現(xiàn)失效點(diǎn)的精細(xì)定位。它憑借對(duì)微觀熱信號(hào)的高靈敏度探測(cè),成為解析半導(dǎo)體故障的 “火眼金睛”。然而,隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷升級(jí),器件正朝著超精細(xì)圖案制程與低...
熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI)技術(shù),作為半導(dǎo)體失效分析領(lǐng)域的關(guān)鍵手段,通過(guò)捕捉器件內(nèi)部產(chǎn)生的熱輻射,實(shí)現(xiàn)失效點(diǎn)的精細(xì)定位。它憑借對(duì)微觀熱信號(hào)的高靈敏度探測(cè),成為解析半導(dǎo)體故障的 “火眼金睛”。然而,隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷升級(jí),器件正朝著超精細(xì)圖案制程與低...
致晟光電——熱紅外顯微鏡在信號(hào)調(diào)制技術(shù)上的優(yōu)化升級(jí),以多頻率調(diào)制為突破點(diǎn),構(gòu)建了更精細(xì)的微觀熱信號(hào)解析體系。其通過(guò)精密算法控制電信號(hào)的頻率切換與幅度調(diào)節(jié),使不同深度、不同材質(zhì)的樣品區(qū)域產(chǎn)生差異化熱響應(yīng) —— 高頻信號(hào)可捕捉表層微米級(jí)熱點(diǎn),低頻信號(hào)則能穿透材...
致晟光電——熱紅外顯微鏡在信號(hào)調(diào)制技術(shù)上的優(yōu)化升級(jí),以多頻率調(diào)制為突破點(diǎn),構(gòu)建了更精細(xì)的微觀熱信號(hào)解析體系。其通過(guò)精密算法控制電信號(hào)的頻率切換與幅度調(diào)節(jié),使不同深度、不同材質(zhì)的樣品區(qū)域產(chǎn)生差異化熱響應(yīng) —— 高頻信號(hào)可捕捉表層微米級(jí)熱點(diǎn),低頻信號(hào)則能穿透材...
熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI)的突出優(yōu)勢(shì)二: 與傳統(tǒng)接觸式檢測(cè)方法相比,熱紅外顯微鏡的非接觸式檢測(cè)優(yōu)勢(shì)更勝——無(wú)需與被測(cè)設(shè)備直接物理接觸,從根本上規(guī)避了傳統(tǒng)檢測(cè)中因探針壓力、靜電放電等因素對(duì)設(shè)備造成的損傷風(fēng)險(xiǎn),這對(duì)精密電子元件與高精度設(shè)備的...
在國(guó)內(nèi)失效分析設(shè)備領(lǐng)域,專注于原廠研發(fā)與生產(chǎn)的企業(yè)數(shù)量相對(duì)較少,尤其在熱紅外檢測(cè)這類高精度細(xì)分領(lǐng)域,具備自主技術(shù)積累的原廠更為稀缺。這一現(xiàn)狀既源于技術(shù)門檻 —— 需融合光學(xué)、紅外探測(cè)、信號(hào)處理等多學(xué)科技術(shù),也受限于市場(chǎng)需求的專業(yè)化程度,導(dǎo)致多數(shù)企業(yè)傾向于代...
RTTLITP20 熱紅外顯微鏡憑借多元光學(xué)物鏡配置,構(gòu)建從宏觀到納米級(jí)的全尺度熱分析能力,靈活適配多樣檢測(cè)需求。Micro廣角鏡頭可快速覆蓋大尺寸樣品整體熱分布,如整塊電路板、大型模組的散熱趨勢(shì),高效完成初步篩查;0.13~0.3x變焦鏡頭通過(guò)連續(xù)倍率調(diào)...
相較于宏觀熱像儀(空間分辨率約50-100μm),熱紅外顯微鏡通過(guò)顯微光學(xué)系統(tǒng)將分辨率提升至1-10μm,且支持動(dòng)態(tài)電激勵(lì)與鎖相分析,能深入揭示微觀尺度的熱-電耦合失效機(jī)理。例如,傳統(tǒng)熱像儀能檢測(cè)PCB表面的整體熱分布,而熱紅外顯微鏡可定位某一焊點(diǎn)內(nèi)部的微裂紋...
在失效分析的有損分析中,打開封裝是常見操作,通常有三種方法。全剝離法會(huì)將集成電路完全損壞,留下完整的芯片內(nèi)部電路。但這種方法會(huì)破壞內(nèi)部電路和引線,導(dǎo)致無(wú)法進(jìn)行電動(dòng)態(tài)分析,適用于需觀察內(nèi)部電路靜態(tài)結(jié)構(gòu)的場(chǎng)景。局部去除法通過(guò)特定手段去除部分封裝,優(yōu)點(diǎn)是開封過(guò)程...
近年來(lái),非制冷熱紅外顯微鏡價(jià)格呈下行趨勢(shì)。在技術(shù)進(jìn)步層面,國(guó)內(nèi)紅外焦平面陣列芯片技術(shù)不斷突破,像元間距縮小、陣列規(guī)模擴(kuò)大,從早期的 17μm、384×288 發(fā)展到如今主流的 12μm 像元,1280 ×1 024、1920 × 1080 陣列規(guī)模實(shí)現(xiàn)量產(chǎn),如...
在失效分析中,零成本簡(jiǎn)單且常用的三個(gè)方法基于“觀察-驗(yàn)證-定位”的基本邏輯,無(wú)需復(fù)雜設(shè)備即可快速縮小失效原因范圍: 1.外觀檢查法(VisualInspection) 2.功能復(fù)現(xiàn)與對(duì)比法(FunctionReproduction&Compar...
熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI)的突出優(yōu)勢(shì)一: 熱紅外顯微鏡(Thermal emmi )能夠檢測(cè)到極其微弱的熱輻射和光發(fā)射信號(hào),其靈敏度通??梢赃_(dá)到微瓦甚至納瓦級(jí)別。同時(shí),它還具有高分辨率的特點(diǎn),能夠分辨出微小的熱點(diǎn)區(qū)域,分辨率可以達(dá)到微米...
致晟光電熱紅外顯微鏡采用高性能InSb(銦銻)探測(cè)器,用于中波紅外波段(3–5 μm)的熱輻射信號(hào)捕捉。InSb材料具有優(yōu)異的光電轉(zhuǎn)換效率和極低的本征噪聲,在制冷條件下可實(shí)現(xiàn)高達(dá)nW級(jí)的熱靈敏度和優(yōu)于20mK的溫度分辨率,適用于高精度、非接觸式熱成像分析。該探...