上海彌正推出行業(yè)的超高純氣體回收再利用系統(tǒng)，針對半導(dǎo)體、光伏等行業(yè)的工藝尾氣，實(shí)現(xiàn)高效回收、提純與循環(huán)利用，為客戶創(chuàng)造經(jīng)濟(jì)與環(huán)境雙重價(jià)值。該系統(tǒng)可適配三氟化氮、硅烷、氫氣等多種氣體，通過低溫冷凝、吸附分離與精密過濾等多級處理工藝，將原本直接排放的工藝尾氣提純至 5N-6N 級純度，回收利用率比較高可達(dá) 90%。以半導(dǎo)體刻蝕工藝中常用的三氟化氮為例，傳統(tǒng)使用模式下利用率不足 50%，大量尾氣被浪費(fèi)并污染環(huán)境，采用該回收系統(tǒng)后，客戶氣體采購成本降低 40%，同時(shí)大幅減少溫室氣體排放。提供 “定制化系統(tǒng) + 運(yùn)維服務(wù)” 的整體解決方案，根據(jù)客戶生產(chǎn)規(guī)模與氣體種類，設(shè)計(jì)專屬回收流程，配備專業(yè)團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)系...

上海彌正針對醫(yī)療診斷、細(xì)胞培養(yǎng)、冷凍保存等場景，提供包含超高純氧氣、氮?dú)狻⒍趸嫉尼t(yī)用氣體解決方案，嚴(yán)格遵循 GB 8982-2024 醫(yī)用氣體標(biāo)準(zhǔn)與 FDA 認(rèn)證要求。超高純氧氣純度達(dá) 99.999%，水分與二氧化碳雜質(zhì)含量≤0.1ppb，無異味、無有害污染物，可用于重癥患者呼吸與麻醉輔助；超高純氮?dú)獾陀?- 70℃，可作為細(xì)胞冷凍保存的保護(hù)氣體，避免細(xì)胞結(jié)冰損傷；醫(yī)用二氧化碳純度達(dá) 99.995%，可準(zhǔn)確調(diào)控細(xì)胞培養(yǎng)環(huán)境的 pH 值，助力細(xì)胞增殖與分化。所有氣體均采用特用醫(yī)用氣瓶包裝，瓶身經(jīng)無菌處理，配備防交叉污染閥門，每批次產(chǎn)品均提供完整的質(zhì)量檢測報(bào)告與追溯記錄。某生物制藥企業(yè)應(yīng)用后，...

上海彌正防爆型超高純氣體供應(yīng)方案，針對化工、油氣等易燃易爆危險(xiǎn)環(huán)境，以 “本質(zhì)安全 + 全流程防護(hù)” 確保氣體使用安全，適配高危場景的生產(chǎn)需求。方案涵蓋防爆型氣瓶、防爆輸送管路、防爆閥門及在線監(jiān)測系統(tǒng)，所有設(shè)備均通過國家防爆電氣產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心認(rèn)證，防爆等級達(dá) Ex d IIB T4 Ga，可在性氣體環(huán)境中安全運(yùn)行。提供的超高純氣體（如氧氣、氫氣、乙炔等）均采用特制防爆氣瓶包裝，瓶體配備壓力過高自動(dòng)泄放裝置與防靜電接地端子，防止靜電積聚引發(fā)危險(xiǎn)。在油氣開采領(lǐng)域，防爆型超高純氮?dú)庥糜谟蜌饩牡獨(dú)怛?qū)油與井控作業(yè)；在化工領(lǐng)域，防爆型超高純氧氣用于氧化反應(yīng)工藝。配備專業(yè)的安全評估與現(xiàn)場服務(wù)團(tuán)隊(duì)，為...

上海彌正率先采用 100% 綠電（光伏與風(fēng)電）驅(qū)動(dòng)的電解水制氫工藝，生產(chǎn)超高純氫氣（6N 級純度），實(shí)現(xiàn)從生產(chǎn)源頭的低碳化，助力客戶達(dá)成 “雙碳” 目標(biāo)。該工藝以純水為原料，通過可再生能源發(fā)電進(jìn)行電解，全程無化石燃料消耗，每立方米氫氣的碳足跡較傳統(tǒng)工藝降低 95% 以上，完全符合清潔能源發(fā)展趨勢。經(jīng)膜分離與催化脫氧組合提純后，氫氣純度穩(wěn)定在 99.9999%，雜質(zhì)含量≤1ppb，不僅可作為燃料電池汽車的重心燃料，為氫能交通提供動(dòng)力，也可廣泛應(yīng)用于光伏、半導(dǎo)體等行業(yè)的綠色制造流程。建立 “生產(chǎn) - 使用 - 回收” 的閉環(huán)體系，為使用客戶配套氫氣回收與純化裝置，回收率可達(dá) 85%，回收后的氣體經(jīng)...

上海彌正超高純?nèi)?N 級純度），是半導(dǎo)體等離子體刻蝕工藝的關(guān)鍵清洗氣體，以 “高純度 + 低污染” 助力芯片制程精細(xì)化。采用低溫吸附與精餾提純工藝，將雜質(zhì)含量控制在 1ppb 以內(nèi)，其中金屬雜質(zhì)與顆粒物雜質(zhì)均≤0.1ppb，能準(zhǔn)確匹配 7nm 及以下先進(jìn)制程的刻蝕需求。其強(qiáng)氧化性可高效去除晶圓表面的硅化物、金屬氧化物等殘留沉積物，且反應(yīng)產(chǎn)物易揮發(fā)，無需額外復(fù)雜清洗步驟，有效提升刻蝕工藝效率。配備特用環(huán)保處理系統(tǒng)，氣體使用后可通過回收裝置實(shí)現(xiàn) 67% 的再利用率，降低環(huán)境排放與使用成本，符合亞洲芯片代工廠的生態(tài)合規(guī)要求。某半導(dǎo)體代工廠應(yīng)用后，晶圓刻蝕殘留率從 0.8% 降至 0.05%，...

上海彌正針對不同芯片制程需求，提供電子級超高純氣體定制服務(wù)，從純度等級、雜質(zhì)控制到供應(yīng)方式均實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確適配?？筛鶕?jù)客戶工藝要求，定制 5N-9N 級不同純度的氣體產(chǎn)品，其中 7N 級以上超高純氣體金屬雜質(zhì)含量可控制在 0.001ppb 以下，完全滿足 7nm 及以下先進(jìn)制程的嚴(yán)苛要求。針對特定工藝環(huán)節(jié)，準(zhǔn)確控制目標(biāo)雜質(zhì)含量，如光刻工藝用氣體可將碳?xì)浠衔镫s質(zhì)控制在 0.05ppb 以下，避免影響光刻精度；摻雜工藝用氣體可準(zhǔn)確調(diào)控?fù)诫s元素濃度，確保芯片電性能穩(wěn)定。提供 “瓶裝 + 管道” 雙供應(yīng)模式，小批量生產(chǎn)采用高壓氣瓶供應(yīng)，大批量連續(xù)生產(chǎn)采用管道輸送，輸送系統(tǒng)可與客戶生產(chǎn)設(shè)備無縫對接。配備專業(yè)...

上海彌正高壓環(huán)境用超高純氣體，以 “耐壓穩(wěn)定 + 高純度保持” 適配深海探測、高壓化學(xué)反應(yīng)等特殊場景，解決高壓下氣體純度衰減與容器泄漏難題。該系列氣體可定制適配 5MPa 至 30MPa 的不同高壓工況，純度達(dá) 5N-6N 級，采用高壓無縫鍛造氣瓶包裝，瓶體材質(zhì)為超高強(qiáng)度合金鋼，經(jīng) 1.5 倍工作壓力的水壓試驗(yàn)與氣密性測試，確保在高壓環(huán)境下無泄漏風(fēng)險(xiǎn)。在深海探測領(lǐng)域，超高純氬氣作為深海探測器耐壓殼的壓力平衡氣體，其穩(wěn)定性可保障探測器在數(shù)千米深海的正常運(yùn)行；在高壓化學(xué)反應(yīng)領(lǐng)域，超高純氫氣與氮?dú)獾幕旌蠚庾鳛榉磻?yīng)介質(zhì)，能在高壓下保持組分穩(wěn)定，確保反應(yīng)充分且產(chǎn)物純凈。配備高精度高壓減壓閥與流量控制器，...

上海彌正為高校、科研機(jī)構(gòu)提供科研級超高純氣體供應(yīng)服務(wù)，涵蓋物理、化學(xué)、材料科學(xué)等多個(gè)研究領(lǐng)域，以 “高純度 + 高穩(wěn)定性” 助力前沿研究開展。可提供 5N-9N 級多種超高純氣體，包括稀有氣體、活性氣體、特種氣體等，部分氣體純度可達(dá) 99.9999999%（9N 級），雜質(zhì)含量控制在 ppt 級別，滿足精密實(shí)驗(yàn)要求。提供小批量、多品種的靈活供應(yīng)模式，小包裝規(guī)格為 1L，支持單一氣體與混合氣體定制，混合氣體配比精度達(dá) ±0.01%。配備專業(yè)科研服務(wù)團(tuán)隊(duì)，可根據(jù)實(shí)驗(yàn)方案提供氣體選擇建議與使用指導(dǎo)，協(xié)助客戶解決實(shí)驗(yàn)過程中的氣體相關(guān)問題；同時(shí)提供快速配送服務(wù)，科研急需氣體可實(shí)現(xiàn) 24 小時(shí)內(nèi)送達(dá)。某高...

上海彌正多款超高純氣體產(chǎn)品通過 SEMI（國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)）認(rèn)證，包括 SEMI S6 安全標(biāo)準(zhǔn)與 SEMI C12 氣體純度標(biāo)準(zhǔn)，成功打入全球半導(dǎo)體供應(yīng)鏈，成為國際客戶的供應(yīng)商。公司建立了與國際接軌的質(zhì)量管理體系，從原料采購、生產(chǎn)制造到檢測放行，每一個(gè)環(huán)節(jié)都嚴(yán)格遵循 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)要求，配備 GD-MS（輝光放電質(zhì)譜儀）、CRDS（腔衰蕩光譜法）等國際先進(jìn)檢測設(shè)備，確保產(chǎn)品質(zhì)量與國際標(biāo)準(zhǔn)一致。通過認(rèn)證的產(chǎn)品涵蓋電子級氮?dú)?、氬氣、氨氣、三氟化氮?15 個(gè)品類，純度覆蓋 5N-7N 級，可適配全球不同地區(qū)晶圓廠的生產(chǎn)需求。憑借 SEMI 認(rèn)證資質(zhì)，公司已成功與多家國際半導(dǎo)體設(shè)備商及代工廠建立...

上海彌正創(chuàng)新推出 “現(xiàn)場制氣 + 純化” 一體化服務(wù)模式，為半導(dǎo)體、光伏等大規(guī)模連續(xù)生產(chǎn)企業(yè)提供高效、節(jié)能、穩(wěn)定的超高純氣體供應(yīng)，顛覆傳統(tǒng)瓶裝運(yùn)輸模式。根據(jù)客戶的氣體需求量與純度要求，在客戶廠區(qū)內(nèi)搭建小型化、模塊化的制氣與純化裝置，可現(xiàn)場生產(chǎn)氮?dú)?、氬氣、氫氣等基礎(chǔ)氣體，并通過集成的提純系統(tǒng)將其升級至 5N-7N 級超高純標(biāo)準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)氣體的 “即產(chǎn)即用”。該模式省去了氣瓶運(yùn)輸、存儲(chǔ)與更換的繁瑣流程，不僅大幅降低了運(yùn)輸成本與碳排放，還徹底避免了長途運(yùn)輸可能導(dǎo)致的氣體污染與純度衰減風(fēng)險(xiǎn)。配備遠(yuǎn)程監(jiān)控與智能運(yùn)維系統(tǒng)，實(shí)時(shí)監(jiān)測設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)與氣體純度，確保 24 小時(shí)穩(wěn)定供應(yīng)，運(yùn)維響應(yīng)時(shí)間≤2 小時(shí)。某大型...

上海彌正針對光伏產(chǎn)業(yè)多晶硅生產(chǎn)、硅片切割、電池片制造等全流程，推出包含超高純氫氣、氮?dú)?、氬氣、硅烷等的氣體套裝解決方案，適配 N 型 TOPCon 與 HJT 高效電池技術(shù)需求。套裝內(nèi)所有氣體均通過光伏行業(yè)**提純工藝，其中超高純氫氣純度達(dá) 6N 級，硅烷純度達(dá) 5N 級，雜質(zhì)含量嚴(yán)格遵循《光伏制造用特種氣體發(fā)展白皮書》標(biāo)準(zhǔn)，確保不影響電池轉(zhuǎn)換效率。提供按需定制的混合氣體配比服務(wù)，可根據(jù)客戶工藝要求精細(xì)調(diào)配不同比例的保護(hù)氣與反應(yīng)氣，同時(shí)配備智能供氣系統(tǒng)，支持流量、壓力的實(shí)時(shí)監(jiān)測與自動(dòng)調(diào)節(jié)，流量控制精度達(dá) ±0.5%。某大型光伏企業(yè)應(yīng)用后，多晶硅生產(chǎn)能耗降低 12%，電池片轉(zhuǎn)換效率提升 0.8%...

上海彌正創(chuàng)新性地從發(fā)酵工業(yè)副產(chǎn)品中提純制備生物基超高純二氧化碳（5N 級純度），實(shí)現(xiàn)資源循環(huán)利用，為食品與醫(yī)藥行業(yè)提供更安全、更環(huán)保的綠色氣體選擇。該工藝以乙醇發(fā)酵、啤酒釀造等工業(yè)的副產(chǎn)品二氧化碳為原料，通過水洗、脫硫、精餾、吸附等多道提純工序，將硫化物、苯類、重金屬等有害雜質(zhì)含量控制在 0.1ppb 以下，純度達(dá) 99.999%，完全符合 GB 10621-2022 食品添加劑標(biāo)準(zhǔn)與藥典標(biāo)準(zhǔn)。相較于傳統(tǒng)化工合成法，該工藝每生產(chǎn)一噸氣體可減少約 3 噸的二氧化碳排放，兼具環(huán)保與經(jīng)濟(jì)價(jià)值。在食品領(lǐng)域，可用于碳酸飲料的充氣與果蔬的氣調(diào)保鮮，無化學(xué)殘留，口感更純凈；在醫(yī)藥領(lǐng)域，可用于腹腔鏡手術(shù)的 i...

上海彌正嚴(yán)格遵循歐盟 REACH 法規(guī)（《化學(xué)品注冊、評估、授權(quán)和限制法規(guī)》）要求，確保所有出口歐盟的超高純氣體產(chǎn)品完全合規(guī)，為客戶進(jìn)入歐盟市場掃清法規(guī)障礙。公司建立了完善的化學(xué)品安全信息管理體系，對每款出口產(chǎn)品進(jìn)行多面的物質(zhì)特性評估與注冊，完成了超過 20 種超高純氣體的 REACH 注冊，涵蓋氟化物、硅烷等關(guān)鍵品類，并編制符合要求的 SDS（安全技術(shù)說明書）與標(biāo)簽。在生產(chǎn)過程中，嚴(yán)格控制 REACH 法規(guī)限制的高關(guān)注度物質(zhì)（SVHC）含量，確保產(chǎn)品中 SVHC 含量遠(yuǎn)低于法規(guī)限值。配備專業(yè)的合規(guī)團(tuán)隊(duì)，實(shí)時(shí)跟蹤歐盟法規(guī)更新，為客戶提供法規(guī)咨詢與合規(guī)性證明文件，協(xié)助客戶順利通過歐盟海關(guān)檢驗(yàn)與市...

上海彌正超高純氙氣（6N 級純度），憑借 “優(yōu)越的 X 射線吸收能力 + 放射性雜質(zhì)”，成為醫(yī)療成像與前沿科學(xué)探測領(lǐng)域的不可替代材料。通過多級精餾與精密提純工藝，將總雜質(zhì)含量控制在 0.1ppm 以下，其中對成像質(zhì)量影響重大的總烴雜質(zhì)≤10ppb，具有放射性的氡雜質(zhì)更是被控制在 1ppb 以下，達(dá)到暗物質(zhì)探測的嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)。在醫(yī)療領(lǐng)域，作為 CT 機(jī)的氙氣探測器填充氣體，其強(qiáng)大的 X 射線吸收能力能明顯提升影像的清晰度與對比度，幫助醫(yī)生精細(xì)識(shí)別微小病灶，減少誤診率；在高能物理領(lǐng)域，是大型暗物質(zhì)探測器的重心工作介質(zhì)，其超高純度可比較大限度降低背景干擾，確保探測數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。采用特制的高壓無縫氣瓶包裝...

上海彌正創(chuàng)新推出 “現(xiàn)場制氣 + 純化” 一體化服務(wù)模式，為半導(dǎo)體、光伏等大規(guī)模連續(xù)生產(chǎn)企業(yè)提供高效、節(jié)能、穩(wěn)定的超高純氣體供應(yīng)，顛覆傳統(tǒng)瓶裝運(yùn)輸模式。根據(jù)客戶的氣體需求量與純度要求，在客戶廠區(qū)內(nèi)搭建小型化、模塊化的制氣與純化裝置，可現(xiàn)場生產(chǎn)氮?dú)狻鍤?、氫氣等基礎(chǔ)氣體，并通過集成的提純系統(tǒng)將其升級至 5N-7N 級超高純標(biāo)準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)氣體的 “即產(chǎn)即用”。該模式省去了氣瓶運(yùn)輸、存儲(chǔ)與更換的繁瑣流程，不僅大幅降低了運(yùn)輸成本與碳排放，還徹底避免了長途運(yùn)輸可能導(dǎo)致的氣體污染與純度衰減風(fēng)險(xiǎn)。配備遠(yuǎn)程監(jiān)控與智能運(yùn)維系統(tǒng)，實(shí)時(shí)監(jiān)測設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)與氣體純度，確保 24 小時(shí)穩(wěn)定供應(yīng)，運(yùn)維響應(yīng)時(shí)間≤2 小時(shí)。某大型...

上海彌正專為極端低溫環(huán)境打造的超高純氣體系列，以 “低溫穩(wěn)定性 + 防冷凝設(shè)計(jì)” 滿足航天、冷鏈物流等特殊場景需求。該系列氣體（涵蓋氮?dú)狻⒑?、氬氣等）純度均達(dá) 6N 級以上，在 - 196℃至 - 50℃的極端低溫環(huán)境下，仍能保持穩(wěn)定的物理性質(zhì)，無組分分離或純度衰減現(xiàn)象，低于 - 90℃，避免在低溫下形成冷凝水造成設(shè)備損壞。針對航天領(lǐng)域，開發(fā)了火箭燃料系統(tǒng)用超高純氦氣，在 - 253℃的液氫燃料環(huán)境中仍能保持氣態(tài)，用于系統(tǒng)加壓與檢漏，檢漏靈敏度達(dá) 1×10?12Pa?m3/s；針對冷鏈物流，提供超高純氮?dú)馀c二氧化碳的混合氣，用于生鮮食品的低溫氣調(diào)保鮮，可將保鮮期延長 2-3 倍。采用特制的絕...

上海彌正超高純六氟化鎢（6N 級純度），是半導(dǎo)體先進(jìn)制程中鎢金屬層沉積的重心前驅(qū)體，以 “高純度 + 低金屬雜質(zhì)” 助力芯片性能升級。采用化學(xué)合成與多級精餾提純工藝，將雜質(zhì)總量控制在 1ppm 以下，其中銅、鐵、鋁等金屬雜質(zhì)含量均≤0.1ppb，完全滿足 14nm 及以下邏輯芯片、3D NAND 閃存制造的工藝要求。在化學(xué)氣相沉積（CVD）工藝中，它能精細(xì)地在晶圓表面沉積出均勻、致密的鎢金屬層，用于芯片的柵極、互連線及接觸孔填充，其純度直接決定了鎢層的導(dǎo)電性與可靠性，進(jìn)而影響芯片的運(yùn)行速度與壽命。配備耐腐蝕的特用包裝與輸送系統(tǒng)，采用內(nèi)壁經(jīng)特殊鈍化處理的鎳合金氣瓶，防止氣體與容器發(fā)生反應(yīng)導(dǎo)致污染...

上海彌正超高純氧氣（5N 級純度），兼具醫(yī)療與電子制造雙重適配性，以 “高純度 + 低雜質(zhì)” 滿足多元場景需求。采用深度冷凍與吸附提純工藝，將水分、二氧化碳、一氧化碳等雜質(zhì)含量控制在 0.5ppb 以下，無異味、無有害污染物，符合醫(yī)用氣體 GB 8982-2024 標(biāo)準(zhǔn)與電子行業(yè) SEMI 標(biāo)準(zhǔn)。在醫(yī)療領(lǐng)域，可用于重癥患者呼吸療愈、麻醉輔助與高壓氧艙療愈，提高血氧飽和度，促進(jìn)患者康復(fù)；在電子制造領(lǐng)域，用于 ITO 薄膜濺射沉積，提升顯示面板與觸摸屏的導(dǎo)電性能與透光率。采用醫(yī)用與工業(yè)特用氣瓶分類包裝，醫(yī)用氣瓶經(jīng)無菌處理，工業(yè)氣瓶配備高精度流量控制裝置，支持連續(xù)穩(wěn)定輸送。某綜合醫(yī)院應(yīng)用后，重癥患者...

上海彌正防爆型超高純氣體供應(yīng)方案，針對化工、油氣等易燃易爆危險(xiǎn)環(huán)境，以 “本質(zhì)安全 + 全流程防護(hù)” 確保氣體使用安全，適配高危場景的生產(chǎn)需求。方案涵蓋防爆型氣瓶、防爆輸送管路、防爆閥門及在線監(jiān)測系統(tǒng)，所有設(shè)備均通過國家防爆電氣產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心認(rèn)證，防爆等級達(dá) Ex d IIB T4 Ga，可在性氣體環(huán)境中安全運(yùn)行。提供的超高純氣體（如氧氣、氫氣、乙炔等）均采用特制防爆氣瓶包裝，瓶體配備壓力過高自動(dòng)泄放裝置與防靜電接地端子，防止靜電積聚引發(fā)危險(xiǎn)。在油氣開采領(lǐng)域，防爆型超高純氮?dú)庥糜谟蜌饩牡獨(dú)怛?qū)油與井控作業(yè)；在化工領(lǐng)域，防爆型超高純氧氣用于氧化反應(yīng)工藝。配備專業(yè)的安全評估與現(xiàn)場服務(wù)團(tuán)隊(duì)，為...

上海彌正深耕國產(chǎn)超高純氣體研發(fā)與生產(chǎn)，打破國際巨頭在品類的壟斷，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控提供關(guān)鍵材料支撐。針對國內(nèi)高度依賴進(jìn)口的 7N 級電子級氟化物、硅烷等品類，公司通過自主研發(fā)攻克重心提純技術(shù)，實(shí)現(xiàn)規(guī)模化量產(chǎn)，產(chǎn)品純度達(dá)到國際先進(jìn)水平，雜質(zhì)控制精度進(jìn)入 ppt 級別，并成功通過中芯國際、長江存儲(chǔ)等頭部晶圓廠的驗(yàn)證認(rèn)證。相較于進(jìn)口產(chǎn)品，公司產(chǎn)品在供應(yīng)響應(yīng)速度、成本控制及技術(shù)服務(wù)方面更具優(yōu)勢，可實(shí)現(xiàn)訂單 48 小時(shí)內(nèi)快速響應(yīng)，交貨周期縮短 50%，成本降低 20-30%。積極參與國家 “十四五” 新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃重點(diǎn)項(xiàng)目，推動(dòng)超高純氣體國家標(biāo)準(zhǔn)的修訂與完善，目前已主導(dǎo)或參與 3 項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的制...

上海彌正推出超高純氣體租賃服務(wù)，為中小批量生產(chǎn)企業(yè)與科研機(jī)構(gòu)提供靈活的氣體供應(yīng)方案，有效降低前期投入成本。租賃服務(wù)涵蓋氣瓶、減壓閥、流量控制器等全套設(shè)備，客戶無需購買昂貴的儲(chǔ)存與輸送設(shè)備，需根據(jù)實(shí)際使用量支付氣體費(fèi)用，設(shè)備維護(hù)與保養(yǎng)由上海彌正全程負(fù)責(zé)?？商峁┒唐谧赓U（1-3 個(gè)月）與長期租賃（1 年以上）兩種模式，租賃期間支持氣體品種與純度的靈活調(diào)整，滿足客戶不同階段的使用需求。配備專業(yè)團(tuán)隊(duì)定期檢查租賃設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)，確保氣體供應(yīng)穩(wěn)定與使用安全，同時(shí)提供的設(shè)備操作培訓(xùn)服務(wù)。某中小型電子企業(yè)應(yīng)用租賃服務(wù)后，前期設(shè)備投入成本降低 80%，氣體使用成本節(jié)約 30%，同時(shí)避免了設(shè)備閑置浪費(fèi)，根據(jù)生產(chǎn)需求...

上海彌正構(gòu)建從生產(chǎn)到終端使用的全鏈條超潔凈保障體系，通過包裝與輸送系統(tǒng)，確保超高純氣體全程無二次污染。氣瓶選用 316L 不銹鋼材質(zhì)，經(jīng)一體鍛造與電解拋光處理，內(nèi)壁粗糙度≤0.1μm，無衛(wèi)生死角，避免雜質(zhì)吸附與氣體污染；閥門采用進(jìn)口超潔凈隔膜閥，密封性能優(yōu)異，泄漏率≤1×10??Pa?m3/s，確保氣體儲(chǔ)存過程中無泄漏與純度衰減。輸送管道采用 316L 不銹鋼無縫管，經(jīng)鈍化與脫脂處理，管道連接采用卡套式接頭，無螺紋污染風(fēng)險(xiǎn)，輸送過程中氣體顆粒雜質(zhì)含量≤1 顆 /μm。提供定制化的管道鋪設(shè)與系統(tǒng)集成服務(wù)，根據(jù)客戶車間布局與設(shè)備需求，設(shè)計(jì)比較好輸送路徑，減少管道阻力與氣體滯留；配備在線純度監(jiān)測裝置...

上海彌正針對 Chiplet（芯粒）先進(jìn)封裝技術(shù)，推出全流程超高純氣體解決方案，以 “低顆粒 + 高穩(wěn)定性” 支撐芯片異構(gòu)集成的精密工藝需求。方案覆蓋倒裝焊、鍵合、再分布層（RDL）制備等重心環(huán)節(jié)，提供的超高純氮?dú)狻鍤?、氫氣等氣體，顆粒物（≥0.1μm）含量≤10 個(gè) /m3，純度達(dá) 6N 級以上，完全滿足封裝工藝對微污染控制的嚴(yán)苛要求。在倒裝焊工藝中，超高純氮?dú)庾鳛楸Ｗo(hù)氣，能有效防止焊料氧化，提升焊接良率；在 RDL 制備的電鍍與蝕刻環(huán)節(jié)，高純度氣體確保金屬布線的精細(xì)度與導(dǎo)電性，助力實(shí)現(xiàn)高密度互聯(lián)。提供 “瓶裝 + 管道” 結(jié)合的靈活供應(yīng)模式，適配 Chiplet 封裝多批次、高精度的生產(chǎn)...

上海彌正超高純?nèi)?N 級純度），是半導(dǎo)體等離子體刻蝕工藝的關(guān)鍵清洗氣體，以 “高純度 + 低污染” 助力芯片制程精細(xì)化。采用低溫吸附與精餾提純工藝，將雜質(zhì)含量控制在 1ppb 以內(nèi)，其中金屬雜質(zhì)與顆粒物雜質(zhì)均≤0.1ppb，能準(zhǔn)確匹配 7nm 及以下先進(jìn)制程的刻蝕需求。其強(qiáng)氧化性可高效去除晶圓表面的硅化物、金屬氧化物等殘留沉積物，且反應(yīng)產(chǎn)物易揮發(fā)，無需額外復(fù)雜清洗步驟，有效提升刻蝕工藝效率。配備特用環(huán)保處理系統(tǒng)，氣體使用后可通過回收裝置實(shí)現(xiàn) 67% 的再利用率，降低環(huán)境排放與使用成本，符合亞洲芯片代工廠的生態(tài)合規(guī)要求。某半導(dǎo)體代工廠應(yīng)用后，晶圓刻蝕殘留率從 0.8% 降至 0.05%，...

上海彌正超高純?nèi)?N 級純度），是半導(dǎo)體等離子體刻蝕工藝的關(guān)鍵清洗氣體，以 “高純度 + 低污染” 助力芯片制程精細(xì)化。采用低溫吸附與精餾提純工藝，將雜質(zhì)含量控制在 1ppb 以內(nèi)，其中金屬雜質(zhì)與顆粒物雜質(zhì)均≤0.1ppb，能準(zhǔn)確匹配 7nm 及以下先進(jìn)制程的刻蝕需求。其強(qiáng)氧化性可高效去除晶圓表面的硅化物、金屬氧化物等殘留沉積物，且反應(yīng)產(chǎn)物易揮發(fā)，無需額外復(fù)雜清洗步驟，有效提升刻蝕工藝效率。配備特用環(huán)保處理系統(tǒng)，氣體使用后可通過回收裝置實(shí)現(xiàn) 67% 的再利用率，降低環(huán)境排放與使用成本，符合亞洲芯片代工廠的生態(tài)合規(guī)要求。某半導(dǎo)體代工廠應(yīng)用后，晶圓刻蝕殘留率從 0.8% 降至 0.05%，...

上海彌正率先采用 100% 綠電（光伏與風(fēng)電）驅(qū)動(dòng)的電解水制氫工藝，生產(chǎn)超高純氫氣（6N 級純度），實(shí)現(xiàn)從生產(chǎn)源頭的低碳化，助力客戶達(dá)成 “雙碳” 目標(biāo)。該工藝以純水為原料，通過可再生能源發(fā)電進(jìn)行電解，全程無化石燃料消耗，每立方米氫氣的碳足跡較傳統(tǒng)工藝降低 95% 以上，完全符合清潔能源發(fā)展趨勢。經(jīng)膜分離與催化脫氧組合提純后，氫氣純度穩(wěn)定在 99.9999%，雜質(zhì)含量≤1ppb，不僅可作為燃料電池汽車的重心燃料，為氫能交通提供動(dòng)力，也可廣泛應(yīng)用于光伏、半導(dǎo)體等行業(yè)的綠色制造流程。建立 “生產(chǎn) - 使用 - 回收” 的閉環(huán)體系，為使用客戶配套氫氣回收與純化裝置，回收率可達(dá) 85%，回收后的氣體經(jīng)...

上海彌正專為 Micro LED 顯示技術(shù)打造超高純氣體解決方案，以 “高純度 + 準(zhǔn)確配比” 助力實(shí)現(xiàn)更高亮度、更高對比度的顯示畫質(zhì)。方案重心氣體包括用于 LED 外延生長的超高純氨氣、硅烷、三甲基鎵，以及用于轉(zhuǎn)移與封裝的超高純氮?dú)?、氬氣，其中外延用氣體純度均達(dá) 6N 級以上，金屬雜質(zhì)含量≤0.05ppb，確保 Micro LED 芯片的發(fā)光效率與波長一致性。在藍(lán)寶石襯底的氮化鎵（GaN）外延層生長中，超高純氨氣作為氮源，其純度直接影響外延層的晶體質(zhì)量，進(jìn)而決定 LED 芯片的亮度與壽命；在巨量轉(zhuǎn)移與封裝環(huán)節(jié)，惰性保護(hù)氣可防止芯片氧化與污染，保障顯示面板的可靠性。提供定制化的混合氣調(diào)配服務(wù)，...

上海彌正超高純氦氣（6N 級純度），是檢漏、低溫超導(dǎo)、氣相色譜分析等場景的關(guān)鍵氣體，以 “高純度 + 低沸點(diǎn)” 發(fā)揮獨(dú)特作用。采用低溫吸附與精餾提純工藝，將氮?dú)?、氧氣、氫氣等雜質(zhì)含量控制在 0.2ppb 以下，低于 - 85℃，能在極低溫度下保持氣態(tài)，無凝固風(fēng)險(xiǎn)。在工業(yè)檢漏領(lǐng)域，用于精密設(shè)備、管道與容器的氣密性檢測，檢漏靈敏度達(dá) 1×10?12Pa?m3/s，確保檢測準(zhǔn)確性；在低溫超導(dǎo)領(lǐng)域，用于超導(dǎo)磁體冷卻，維持超導(dǎo)材料的超導(dǎo)狀態(tài)，支持核磁共振（NMR）與粒子加速器的正常運(yùn)行；在氣相色譜分析中，作為載氣可提升分析精度與分離效率。配備高壓氣瓶與減壓閥，氣體輸出壓力穩(wěn)定，流量控制精度達(dá) ±0.5%...

上海彌正氫能燃料電池全產(chǎn)業(yè)鏈超高純氣體解決方案，覆蓋燃料電池電堆、系統(tǒng)及整車制造全流程，以 “高純度 + 低有害雜質(zhì)” 保障燃料電池的性能與壽命。方案重心氣體包括燃料電池車動(dòng)力源 —— 超高純氫氣（純度 99.999%），以及用于電堆生產(chǎn)的超高純氮?dú)?、氬氣。其中，超高純氫氣中一氧化碳、硫化物等有害雜質(zhì)含量≤0.1ppb，可有效避免燃料電池催化劑中毒，延長電堆壽命；在電堆的膜電極制備與雙極板焊接環(huán)節(jié)，超高純惰性氣體作為保護(hù)氣，確保產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定。提供從車載儲(chǔ)氫瓶用氣體到生產(chǎn)工藝用氣體的一站式供應(yīng)，并配備氫氣純度在線監(jiān)測與純化設(shè)備，為加氫站提供純度保障。某頭部燃料電池企業(yè)應(yīng)用該方案后，其電堆的峰值功...

上海彌正針對半導(dǎo)體制造全流程，打造涵蓋超高純氮?dú)?、氫氣、氬氣、氟化物氣體等多品類的定制化氣體解決方案，覆蓋晶圓清洗、刻蝕、沉積、摻雜等**工藝。所有氣體純度均達(dá)到 5N-7N 級別，其中用于光刻工藝的特種氣體純度高達(dá) 9N 級，金屬雜質(zhì)含量控制在 0.01ppb 以下，完全滿足不同制程芯片的生產(chǎn)要求。提供從氣體提純、包裝、運(yùn)輸?shù)浇K端輸送的全鏈條服務(wù)，配備痕量雜質(zhì)檢測實(shí)驗(yàn)室，每批次產(chǎn)品均通過 GC-MS（氣相色譜 - 質(zhì)譜聯(lián)用儀）檢測，確保各項(xiàng)指標(biāo)達(dá)標(biāo)；輸送管道采用 316L 不銹鋼材質(zhì)，經(jīng)電解拋光與鈍化處理，內(nèi)壁粗糙度≤0.2μm，避免顆粒產(chǎn)生與氣體污染。某晶圓制造廠應(yīng)用該解決方案后，整體工藝...