為滿足半導(dǎo)體、電子工業(yè)等對(duì)無(wú)油清潔真空的需求,干式羅茨真空泵發(fā)展迅速,其中多級(jí)羅茨真空泵為主流,美日等國(guó)已開(kāi)發(fā)系列產(chǎn)品應(yīng)用于相關(guān)工業(yè)。“多級(jí)” 指在轉(zhuǎn)子軸上串聯(lián)多級(jí)羅茨型轉(zhuǎn)子,各級(jí)由中間壁隔離形成**泵腔,通過(guò)氣流通道連接,各級(jí)轉(zhuǎn)子直徑和形狀相同,寬度向高壓側(cè)可能變窄,常采用氣冷式三葉轉(zhuǎn)子增加壓縮比。被抽氣體從***級(jí)進(jìn)氣口進(jìn)入,經(jīng)逐級(jí)壓縮后從***一級(jí)排氣口排出,理論抽速取決于***級(jí),卻能實(shí)現(xiàn)高壓縮比,可直排大氣無(wú)需前級(jí)泵,避免油氣污染。3-6 級(jí)羅茨泵可從大氣壓抽到極限壓力 1Pa,高壓力差可能導(dǎo)致轉(zhuǎn)子過(guò)熱,需在高壓段氣冷控制溫度,冷卻氣體返流會(huì)損失抽速。為防止?jié)櫥头盗?,泵腔與齒輪箱需...
真空凝殼爐澆鑄需在精細(xì)控壓與快速抽氣中實(shí)現(xiàn),羅茨真空泵的動(dòng)態(tài)響應(yīng)能力提供了關(guān)鍵支撐。在 TA10 鈦合金轉(zhuǎn)熔澆鑄中,其可將爐內(nèi)真空度穩(wěn)定在 0.03Pa,抽除澆鑄過(guò)程中型腔內(nèi)釋放的氣體,配合可調(diào)節(jié)澆鑄角度(±5°)的機(jī)構(gòu),實(shí)現(xiàn)液態(tài)金屬平穩(wěn)充型,減少鑄件缺陷。對(duì)于大噸位鑄錠澆鑄,羅茨真空泵的抽速可根據(jù)澆鑄速度(0.1-1.5kg/s)動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié),在維持真空的同時(shí)避免熔體飛濺;其泄漏率≤5Pa?m3/s 的密封性能,保障澆鑄全程無(wú)空氣滲入,使鑄錠末端氧含量波動(dòng)控制在 0.03% 以內(nèi)。澆鑄結(jié)束后,該設(shè)備還能配合惰性氣體充入系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)鑄錠快速冷卻,縮短凝殼重復(fù)利用的處理周期。羅茨真空泵能在低入口壓強(qiáng)下...
在半導(dǎo)體行業(yè)中,羅茨真空泵是芯片制造和封裝測(cè)試環(huán)節(jié)的關(guān)鍵設(shè)備。該環(huán)節(jié)對(duì)真空度、穩(wěn)定性和潔凈度要求極高,羅茨泵無(wú)油污染的特點(diǎn)可避免芯片被油蒸汽污染,穩(wěn)定的抽速能保證工藝環(huán)境真空度恒定,通常需搭配高真空前級(jí)泵組成機(jī)組,用于薄膜沉積、離子注入等**工序。化工行業(yè)中,羅茨泵廣泛應(yīng)用于物料輸送、混合及干燥過(guò)程。針對(duì)化工生產(chǎn)中的腐蝕性氣體,可采用耐腐蝕材質(zhì)制造的泵體,其大抽速特性能快速建立反應(yīng)所需的真空環(huán)境,縮短反應(yīng)周期。在真空蒸餾工藝中,它能有效降低物料沸點(diǎn),避免熱敏性物質(zhì)分解,提升產(chǎn)品質(zhì)量和收率。羅茨真空泵能在低入口壓強(qiáng)下將氣體攜帶至排氣口,由前級(jí)泵排除。江西羅茨真空泵哪家好在日常運(yùn)行中,需確保羅茨真...
啟動(dòng)羅茨真空泵前,需先啟動(dòng)前級(jí)泵,打開(kāi)前級(jí)泵預(yù)抽管路上的閥門和羅茨泵進(jìn)氣口上的閥門。待系統(tǒng)內(nèi)的壓力達(dá)到羅茨真空泵的允許壓力后,關(guān)閉預(yù)抽閥門,起動(dòng)羅茨真空泵。如果是較大的真空系統(tǒng),為避免羅茨泵長(zhǎng)時(shí)間工作在高壓力下產(chǎn)生過(guò)熱卡死,應(yīng)待前級(jí)泵抽到一定壓力后再起動(dòng)羅茨泵。羅茨真空泵的停車程序:關(guān)閉羅茨真空泵進(jìn)氣閥,從上到下逐級(jí)停羅茨真空泵,***停前級(jí)泵,嚴(yán)禁搞錯(cuò)停車程序。前級(jí)泵停車后,立即向前級(jí)泵進(jìn)氣口放氣。停車程序的正確執(zhí)行對(duì)于保護(hù)設(shè)備和確保系統(tǒng)安全至關(guān)重要。運(yùn)行運(yùn)轉(zhuǎn)中必須按照羅茨真空泵的技術(shù)規(guī)格使用,入口壓力在1330pa以下,泵的最大壓差不得高于其最大允許壓差值。注意電動(dòng)機(jī)負(fù)荷和泵的各部位溫升,...
金屬粉末(如鈦合金、高溫合金粉末)的高溫?zé)Y(jié)需嚴(yán)格隔絕氧氣,羅茨真空泵憑借高效抽氣與惰性氣氛兼容特性,成為關(guān)鍵設(shè)備。在 1200-1400℃的燒結(jié)工藝中,其與螺桿泵組成的二級(jí)真空系統(tǒng),可在 30 分鐘內(nèi)將爐內(nèi)壓力從大氣壓降至 10?2Pa,快速抽除爐內(nèi)空氣后充入氬氣,維持氧含量≤5ppm,避免金屬粉末氧化。針對(duì)球形鈦合金粉末的致密化燒結(jié),羅茨泵的動(dòng)態(tài)壓力調(diào)節(jié)功能(通過(guò) PLC 智能反饋),能在燒結(jié)中期(溫度 1300℃左右)加大抽速,抽除粉末內(nèi)部擴(kuò)散的氫、氮?dú)怏w,使零件致密度從初始的 65% 提升至 98.5% 以上,滿足航空航天部件對(duì)抗拉強(qiáng)度的要求。其抗粉塵設(shè)計(jì)(內(nèi)置過(guò)濾精度 10μm 的金...
真空退火爐依賴惰性氣體保護(hù)或純真空環(huán)境實(shí)現(xiàn)金屬材料軟化與應(yīng)力消除,羅茨真空泵是構(gòu)建該環(huán)境的**設(shè)備。在鈦合金板材退火工藝中,其通過(guò) “機(jī)械泵 + 羅茨泵” 的二級(jí)配置,可將爐內(nèi)壓力從大氣壓快速降至 1Pa 以下,抽除空氣后再充入氬氣,避免鈦合金高溫氧化。對(duì)于精密軸承鋼退火,羅茨真空泵的無(wú)油污染特性可防止油蒸汽附著在工件表面,保障退火后材料表面光潔度與尺寸精度;其 3000-3600rpm 的高速轉(zhuǎn)子運(yùn)轉(zhuǎn)能實(shí)現(xiàn)秒級(jí)壓力響應(yīng),在升溫過(guò)程中動(dòng)態(tài)抽除材料釋放的內(nèi)應(yīng)力氣體,減少工件變形量。該設(shè)備還支持多批次連續(xù)作業(yè),通過(guò)智能變頻模塊匹配不同工件的抽氣需求,***降低單位能耗。羅茨真空泵適應(yīng)惡劣環(huán)境,保障...
陶瓷坯體成型階段的脫氣質(zhì)量直接影響成品性能,羅茨真空泵的高效抽氣能力有效提升成型質(zhì)量。在陶瓷泥漿真空處理中,其與水環(huán)真空泵配合使用,先由水環(huán)泵初步抽除大量水分,再通過(guò)羅茨泵將泥漿內(nèi)壓力降至 1Pa 以下,抽除細(xì)微氣泡,避免坯體燒結(jié)后出現(xiàn)氣孔。對(duì)于干壓成型的陶瓷濾波器坯體,羅茨真空泵能在加壓前快速抽除模具與粉末間的空氣,使壓力均勻傳遞至粉末顆粒,提升坯體致密度與尺寸精度;其無(wú)油污染特性避免了油蒸汽對(duì)陶瓷粉料的污染,保障后續(xù)燒結(jié)的穩(wěn)定性。該設(shè)備還支持注漿成型工藝,通過(guò)抽除模具內(nèi)空氣加速泥漿填充,縮短成型周期,提升坯體成型效率。羅茨真空泵在環(huán)保行業(yè),助力廢氣處理真空系統(tǒng)。云南低噪聲羅茨真空泵碳化硅單...
羅茨泵有效抽氣量 Qeff 是理論抽氣量 Qth 與間隙返流量 Qv 之差。理論抽氣量 Qth 與入口壓力 pA 和幾何抽速 Sth 相關(guān),返流量 Qv 由轉(zhuǎn)子與泵體間隙泄漏量 Qv1 和轉(zhuǎn)子返流速率相關(guān)的 Qv2 組成,間隙泄漏量與流導(dǎo) L、前級(jí)壓力 pV 有關(guān),轉(zhuǎn)子返流則因轉(zhuǎn)子吸附和解吸氣體、有害空間氣體攜帶等。零流量壓縮比 K0 是重要性能參數(shù),指泵口封閉時(shí)出口壓力與入口壓力比值,與氣體種類相關(guān),有最大值 Komax。其值受出口壓力影響,在較高出口壓力時(shí)因間隙流導(dǎo)處于黏滯流態(tài)而下降,低出口壓力時(shí)受轉(zhuǎn)子返流影響也下降,在約 10?Pa 附近達(dá)最大值,且大容量羅茨泵 K0 更高。羅茨泵機(jī)組極...
陶瓷燒結(jié)致密化需在精細(xì)控壓環(huán)境中實(shí)現(xiàn),羅茨真空泵的穩(wěn)定運(yùn)行推動(dòng)燒結(jié)工藝優(yōu)化。在氧化鋯陶瓷牙冠燒結(jié)中,其與旋片泵串聯(lián)使用,可將爐內(nèi)真空度控制在 5×10?2Pa,抽除燒結(jié)過(guò)程中陶瓷顆粒間的氣體與有機(jī)物殘留,促進(jìn)顆粒緊密結(jié)合,提升牙冠強(qiáng)度與耐磨性。對(duì)于氮化硅陶瓷軸承燒結(jié),羅茨真空泵能在 1800℃高溫下維持穩(wěn)定抽氣,配合分段控溫系統(tǒng),在不同溫度段動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)真空度,實(shí)現(xiàn)梯度燒結(jié),減少陶瓷開(kāi)裂風(fēng)險(xiǎn);其對(duì)水蒸氣的耐受性較強(qiáng)(抽除 10% 水蒸氣時(shí)仍保持 90% 抽速),無(wú)需復(fù)雜過(guò)濾即可處理燒結(jié)產(chǎn)生的水汽。燒結(jié)結(jié)束后,該設(shè)備還能配合快速冷卻系統(tǒng),在維持真空的同時(shí)實(shí)現(xiàn)降溫,縮短生產(chǎn)周期,提升產(chǎn)能。零流量壓縮比...
作為變?nèi)菡婵毡?,羅茨真空泵的抽氣原理**是通過(guò)轉(zhuǎn)子的周期性容積變化實(shí)現(xiàn)氣體輸送。轉(zhuǎn)子的共軛曲面設(shè)計(jì)確保旋轉(zhuǎn)時(shí)互不干涉,間隙的存在避免了摩擦磨損,同時(shí)為高轉(zhuǎn)速運(yùn)行提供可能。氣體在泵腔內(nèi)無(wú)壓縮和膨脹過(guò)程,*靠轉(zhuǎn)子推壓作用遷移,直至與排氣側(cè)連通后排出,該特性使其在寬壓力范圍內(nèi)保持穩(wěn)定抽速。羅茨真空泵的工作依賴轉(zhuǎn)子與齒輪的精細(xì)配合。同步齒輪保證兩個(gè)轉(zhuǎn)子反向同步轉(zhuǎn)動(dòng),避免碰撞,這是其實(shí)現(xiàn)抽氣功能的基礎(chǔ)。當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過(guò)排氣口邊緣時(shí),封閉空間內(nèi)的氣體因與排氣側(cè)相通而壓強(qiáng)驟升,隨后在轉(zhuǎn)子持續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)下被強(qiáng)制排出,這種結(jié)構(gòu)使設(shè)備啟動(dòng)后能快速達(dá)到工作真空狀態(tài)。羅茨真空泵適用領(lǐng)域廣,覆蓋化工、電子等行業(yè)。湖南ZJ/ZJ...
粉末冶金燒結(jié)脫氣是提升零件致密度的關(guān)鍵步驟,羅茨螺桿真空機(jī)組憑借干式無(wú)油特性成為主流配置。在不銹鋼粉末燒結(jié)過(guò)程中,該機(jī)組可將爐內(nèi)真空度控制在 0.1-0.03Pa,抽除粉末顆粒間的空氣與成型劑揮發(fā)物,避免燒結(jié)后零件出現(xiàn)內(nèi)部氣孔。對(duì)于含鋁、鈦等活潑元素的合金粉末,羅茨真空泵的快速抽氣能力(300-2500L/s)能在升溫至燒結(jié)溫度前去除爐內(nèi)氧氣,防止金屬元素氧化;保溫階段則動(dòng)態(tài)抽除合金內(nèi)部擴(kuò)散出的氫、氮?dú)怏w,使零件致密度提升至 98% 以上。其對(duì)粉塵與可凝性蒸汽的耐受性較強(qiáng),無(wú)需復(fù)雜預(yù)處理即可直接抽除燒結(jié)產(chǎn)生的雜質(zhì)氣體,***降低生產(chǎn)維護(hù)成本。氣冷羅茨泵機(jī)型無(wú)需水冷系統(tǒng),簡(jiǎn)化安裝流程,適配缺水或...
羅茨真空泵的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)主要由同步齒輪與軸承組成,齒輪采用高精度漸開(kāi)線齒輪,通過(guò)嚴(yán)格的齒側(cè)間隙控制實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)子同步運(yùn)轉(zhuǎn),誤差不超過(guò) 0.02mm。軸承作為支撐部件,需承受轉(zhuǎn)子重量與運(yùn)轉(zhuǎn)負(fù)荷,通常選用深溝球軸承或圓柱滾子軸承,部分**型號(hào)采用磁懸浮軸承,徹底消除機(jī)械摩擦,降低能耗與噪聲。傳動(dòng)系統(tǒng)的潤(rùn)滑依靠**油箱供給,標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)多使用礦物油 LVO 100,需定期監(jiān)測(cè)油位與污染狀況。其冷卻系統(tǒng)分為風(fēng)冷與水冷兩種類型,風(fēng)冷式通過(guò)法蘭安裝的散熱片與電機(jī)風(fēng)扇實(shí)現(xiàn)熱交換,無(wú)需冷卻水回路,能節(jié)省水資源與維護(hù)成本,適合中小型設(shè)備及缺水環(huán)境。水冷式則通過(guò)腔體夾套中的冷卻水帶走熱量,散熱效率更高,適用于大功率或連續(xù)運(yùn)行的...
真空回火爐對(duì)零件表面光潔度與應(yīng)力消除效果的嚴(yán)苛要求,使羅茨真空泵成為**真空組件。在合金鋼、軸承鋼的回火工藝中,其常與機(jī)械泵、擴(kuò)散泵組成三級(jí)真空系統(tǒng),將爐內(nèi)極限真空度穩(wěn)定控制在 6×10?3Pa,壓升率低至 0.5Pa/h。升溫至 200-800℃的過(guò)程中,羅茨泵的無(wú)油干運(yùn)轉(zhuǎn)特性可避免油蒸汽污染工件表面,確?;鼗鸷罅慵o(wú)氧化色,滿足精密模具對(duì)表面質(zhì)量的要求。對(duì)于裝爐量達(dá) 1000kg 的大型回火爐,其高抽速特性(適配 40-200kW 加熱功率設(shè)備)能快速抽除材料釋放的內(nèi)應(yīng)力氣體,配合氣冷壓強(qiáng) 2bar 的冷卻系統(tǒng),使工件變形量減少 30% 以上。智能變頻模塊還可根據(jù)不同回火階段調(diào)整抽速,在保...
羅茨真空泵具有抽速大、效率高、對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感等特點(diǎn),在100-1帕壓力范圍內(nèi)有較大抽氣速率,能迅速排除突然放出的氣體。它常被串聯(lián)在擴(kuò)散泵與油封式機(jī)械真空泵之間,作為機(jī)械增壓泵使用,以提高中間壓力范圍的抽氣量。在工業(yè)領(lǐng)域,羅茨真空泵廣泛應(yīng)用于真空冶金中的真空澆鑄、真空熔煉、真空脫氣等工藝,以及化工、食品、醫(yī)藥行業(yè)的真空蒸餾、真空濃縮和真空干燥等過(guò)程。在電子行業(yè),它用于半導(dǎo)體制造工藝,如薄膜沉積、光刻、蝕刻等環(huán)節(jié),確保反應(yīng)室的真空度,保證工藝的精確控制。此外,羅茨真空泵還在環(huán)保領(lǐng)域用于處理工業(yè)廢氣,通過(guò)抽真空有效去除有害氣體,保護(hù)環(huán)境。羅茨真空泵運(yùn)行可靠,降低生產(chǎn)過(guò)程中的風(fēng)險(xiǎn)。北...
氣冷羅茨泵及機(jī)組有多種組合方式,不同組合的壓力范圍與適用工況差異明顯。如一級(jí)氣冷泵搭配雙級(jí)水環(huán)泵適用于普通工況,一級(jí)氣冷泵搭配雙級(jí)液環(huán)泵適合防污染防腐場(chǎng)景,單級(jí)氣冷泵同樣具備防污染防腐性能,多級(jí)組合則可拓展壓力適用范圍。選型需圍繞節(jié)能、效率、環(huán)保等**需求展開(kāi)。節(jié)能選型中,單泵在1×10^5Pa至1.33×10^4Pa壓力區(qū)間工作,按“工作壓差=大氣壓-工作壓力”配電機(jī),比傳統(tǒng)泵節(jié)能***;機(jī)組需按最大壓差配電機(jī),在高低真空范圍均比普通機(jī)械泵或普通羅茨機(jī)組節(jié)能。效率選型方面,氣冷羅茨機(jī)組從大氣壓起就有大抽速,抽速曲線平穩(wěn),相比普通羅茨機(jī)組能大幅縮短抽氣時(shí)間,尤其適合大型容器抽氣與高效生產(chǎn)場(chǎng)景。...
鈦合金熔煉澆注對(duì)真空環(huán)境的純凈度與穩(wěn)定性要求極高,羅茨真空泵通過(guò)多級(jí)系統(tǒng)提供保障。在鈦合金鑄錠熔煉中,其與擴(kuò)散泵組合使用,可將爐內(nèi)真空度控制在 5×10?3Pa,抽除海綿鈦電極重熔時(shí)釋放的氫、氧等氣體,避免鑄錠出現(xiàn)夾雜缺陷。對(duì)于航空發(fā)動(dòng)機(jī)渦輪葉片等精密鑄件澆注,羅茨真空泵的快速響應(yīng)能力可在澆注瞬間實(shí)時(shí)抽除型腔內(nèi)的氣體,配合液壓傾鑄機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)澆注,減少鑄件內(nèi)部疏松;其無(wú)油污染特性保障鈦合金化學(xué)成分符合 ASTM B367 中 C3 指標(biāo)要求。熔煉結(jié)束后,該設(shè)備還能配合水冷系統(tǒng),在維持真空的同時(shí)實(shí)現(xiàn)鑄錠快速冷卻,縮短生產(chǎn)周期。羅茨真空泵安全防護(hù)完善,保障操作人員安全。浙江大氣噴射液環(huán)羅茨真空泵維...
轉(zhuǎn)子是羅茨真空泵的**部件,通常采用三葉型設(shè)計(jì),材質(zhì)多為**度合金或復(fù)合材料。其葉形曲線經(jīng)過(guò)精密計(jì)算,確保旋轉(zhuǎn)時(shí)與腔體及另一轉(zhuǎn)子的間隙控制在微米級(jí),既避免摩擦磨損,又能有效減少氣體返流。部分**型號(hào)采用新型復(fù)合材料轉(zhuǎn)子,可將磨損率降低80%,使設(shè)備維護(hù)周期從5000小時(shí)延長(zhǎng)至10000小時(shí)以上。轉(zhuǎn)子的平衡精度直接影響設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性,高精度動(dòng)平衡處理能***降低振動(dòng)與噪聲。密封系統(tǒng)對(duì)羅茨真空泵的性能至關(guān)重要,常見(jiàn)的徑向軸密封圈采用FPM(氟橡膠)材質(zhì),具有優(yōu)異的耐油、耐高溫特性,可有效延長(zhǎng)保養(yǎng)間隔。根據(jù)應(yīng)用場(chǎng)景不同,密封結(jié)構(gòu)分為接觸式與非接觸式兩類:接觸式密封成本較低,適合普通工況;非接觸式磁流...
作為變?nèi)菡婵毡?,羅茨真空泵的抽氣原理**是通過(guò)轉(zhuǎn)子的周期性容積變化實(shí)現(xiàn)氣體輸送。轉(zhuǎn)子的共軛曲面設(shè)計(jì)確保旋轉(zhuǎn)時(shí)互不干涉,間隙的存在避免了摩擦磨損,同時(shí)為高轉(zhuǎn)速運(yùn)行提供可能。氣體在泵腔內(nèi)無(wú)壓縮和膨脹過(guò)程,*靠轉(zhuǎn)子推壓作用遷移,直至與排氣側(cè)連通后排出,該特性使其在寬壓力范圍內(nèi)保持穩(wěn)定抽速。羅茨真空泵的工作依賴轉(zhuǎn)子與齒輪的精細(xì)配合。同步齒輪保證兩個(gè)轉(zhuǎn)子反向同步轉(zhuǎn)動(dòng),避免碰撞,這是其實(shí)現(xiàn)抽氣功能的基礎(chǔ)。當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過(guò)排氣口邊緣時(shí),封閉空間內(nèi)的氣體因與排氣側(cè)相通而壓強(qiáng)驟升,隨后在轉(zhuǎn)子持續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)下被強(qiáng)制排出,這種結(jié)構(gòu)使設(shè)備啟動(dòng)后能快速達(dá)到工作真空狀態(tài)。羅茨泵壓縮比較低,對(duì)氫氣等輕質(zhì)氣體抽氣效果差,需配合其他真...
金屬粉末(如鈦合金、高溫合金粉末)的高溫?zé)Y(jié)需嚴(yán)格隔絕氧氣,羅茨真空泵憑借高效抽氣與惰性氣氛兼容特性,成為關(guān)鍵設(shè)備。在 1200-1400℃的燒結(jié)工藝中,其與螺桿泵組成的二級(jí)真空系統(tǒng),可在 30 分鐘內(nèi)將爐內(nèi)壓力從大氣壓降至 10?2Pa,快速抽除爐內(nèi)空氣后充入氬氣,維持氧含量≤5ppm,避免金屬粉末氧化。針對(duì)球形鈦合金粉末的致密化燒結(jié),羅茨泵的動(dòng)態(tài)壓力調(diào)節(jié)功能(通過(guò) PLC 智能反饋),能在燒結(jié)中期(溫度 1300℃左右)加大抽速,抽除粉末內(nèi)部擴(kuò)散的氫、氮?dú)怏w,使零件致密度從初始的 65% 提升至 98.5% 以上,滿足航空航天部件對(duì)抗拉強(qiáng)度的要求。其抗粉塵設(shè)計(jì)(內(nèi)置過(guò)濾精度 10μm 的金...
羅茨真空泵在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速,啟動(dòng)快,能立即工作。對(duì)被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感,轉(zhuǎn)子不必潤(rùn)滑,泵腔內(nèi)無(wú)油,振動(dòng)小,驅(qū)動(dòng)功率小,結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積小,運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)費(fèi)用低。這些特點(diǎn)使其在冶金、石油化工、造紙、食品、電子工業(yè)等部門得到廣泛應(yīng)用。羅茨真空泵應(yīng)安裝在干燥、通風(fēng)良好和清潔的場(chǎng)所,環(huán)境溫度為5-40℃,需水平安裝,周圍應(yīng)留有充分的余地,便于日常檢查、維護(hù)保養(yǎng)和拆裝。接通電源后,電機(jī)轉(zhuǎn)向應(yīng)符合泵上轉(zhuǎn)向箭頭所示。連接被抽容器的管道應(yīng)清潔,無(wú)雜質(zhì)等異物,孔徑不應(yīng)小于泵口口徑,長(zhǎng)度宜短,以保證足夠的通導(dǎo)能力,管道連接應(yīng)密封不漏。羅茨泵腔內(nèi)無(wú)需用油密封潤(rùn)滑,減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染,...
碳化硅外延工藝需在超潔凈低壓環(huán)境中進(jìn)行,羅茨真空泵的無(wú)油污染與精細(xì)控壓特性使其成為**設(shè)備。在外延爐預(yù)處理階段,其與分子泵串聯(lián)使用,可將爐內(nèi)真空度提升至 10??Pa,抽除襯底表面吸附的氧、氮雜質(zhì),保障外延層質(zhì)量。外延生長(zhǎng)階段,羅茨真空泵能精確控制反應(yīng)室壓力在 1-10Pa,配合氣體流量控制系統(tǒng),實(shí)時(shí)抽除未反應(yīng)的硅烷、氫氣等原料氣體,避免多余氣體沉積影響外延層厚度均勻性。對(duì)于 6 英寸及以上大尺寸碳化硅外延,其 1200L/s 的超大抽速可實(shí)現(xiàn)反應(yīng)氣體快速置換,縮短工藝周期;其 IoT 傳感器還能實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)抽氣速率與壓力變化,實(shí)現(xiàn)預(yù)測(cè)性維護(hù),減少設(shè)備停機(jī)時(shí)間。節(jié)能型羅茨真空泵,降低企業(yè)生產(chǎn)能耗與...
真空回火爐對(duì)零件表面光潔度與應(yīng)力消除效果的嚴(yán)苛要求,使羅茨真空泵成為**真空組件。在合金鋼、軸承鋼的回火工藝中,其常與機(jī)械泵、擴(kuò)散泵組成三級(jí)真空系統(tǒng),將爐內(nèi)極限真空度穩(wěn)定控制在 6×10?3Pa,壓升率低至 0.5Pa/h。升溫至 200-800℃的過(guò)程中,羅茨泵的無(wú)油干運(yùn)轉(zhuǎn)特性可避免油蒸汽污染工件表面,確保回火后零件無(wú)氧化色,滿足精密模具對(duì)表面質(zhì)量的要求。對(duì)于裝爐量達(dá) 1000kg 的大型回火爐,其高抽速特性(適配 40-200kW 加熱功率設(shè)備)能快速抽除材料釋放的內(nèi)應(yīng)力氣體,配合氣冷壓強(qiáng) 2bar 的冷卻系統(tǒng),使工件變形量減少 30% 以上。智能變頻模塊還可根據(jù)不同回火階段調(diào)整抽速,在保...
粉末冶金成型前的預(yù)抽真空可提升坯體密度與均勻性,羅茨真空泵的高效抽氣能力在此環(huán)節(jié)發(fā)揮重要作用。在磁場(chǎng)成型工藝中,其通過(guò)與密封壓機(jī) 聯(lián)動(dòng),可快速抽除模具模腔內(nèi)的空氣,使釹鐵硼粉末在加壓時(shí)更均勻填充模具,減少坯體密度差異。對(duì)于等靜壓成型,羅茨真空泵能在坯體裝入高壓腔體前抽除包裝內(nèi)的空氣,避免加壓時(shí)空氣膨脹導(dǎo)致坯體開(kāi)裂;其抽速可達(dá) 300L/s 以上,能在 1 分鐘內(nèi)將包裝內(nèi)壓力降至 1Pa 以下,保障等靜壓后坯體致密度均勻性。該設(shè)備還支持氮?dú)獗Wo(hù)下的預(yù)抽操作,在抽真空后充入氮?dú)夥乐狗勰┭趸?,兼顧成型質(zhì)量與材料性能。氣冷羅茨泵機(jī)型無(wú)需水冷系統(tǒng),簡(jiǎn)化安裝流程,適配缺水或移動(dòng)工況,直排大氣設(shè)計(jì)減少管路損...
某電力設(shè)備廠為優(yōu)化變壓器真空干燥工藝,采用羅茨泵與前級(jí)泵組合系統(tǒng)。原設(shè)備抽速不足導(dǎo)致干燥時(shí)間過(guò)長(zhǎng),新系統(tǒng)抽速達(dá) 1200m3/h,能快速將干燥罐內(nèi)壓力降至 1Pa 以下。通過(guò)定期維護(hù)潤(rùn)滑油與檢查密封件,設(shè)備連續(xù)運(yùn)行 12 個(gè)月無(wú)故障,變壓器絕緣電阻值提升 20%,干燥周期從 48 小時(shí)縮短至 24 小時(shí)。某食品凍干企業(yè)為擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模,引入多臺(tái)羅茨真空泵用于凍干生產(chǎn)線。設(shè)備針對(duì)食品加工需求,配備進(jìn)氣過(guò)濾與干燥裝置,防止雜質(zhì)與水分進(jìn)入泵腔。在果蔬凍干工藝中,可維持系統(tǒng) 0.05Pa 的穩(wěn)定真空,配合制冷設(shè)備實(shí)現(xiàn)水分快速升華,產(chǎn)品復(fù)水性提升 10%,生產(chǎn)線產(chǎn)能從每日 5 噸提升至 8 噸,且產(chǎn)品保質(zhì)...
陶瓷燒結(jié)致密化需在精細(xì)控壓環(huán)境中實(shí)現(xiàn),羅茨真空泵的穩(wěn)定運(yùn)行推動(dòng)燒結(jié)工藝優(yōu)化。在氧化鋯陶瓷牙冠燒結(jié)中,其與旋片泵串聯(lián)使用,可將爐內(nèi)真空度控制在 5×10?2Pa,抽除燒結(jié)過(guò)程中陶瓷顆粒間的氣體與有機(jī)物殘留,促進(jìn)顆粒緊密結(jié)合,提升牙冠強(qiáng)度與耐磨性。對(duì)于氮化硅陶瓷軸承燒結(jié),羅茨真空泵能在 1800℃高溫下維持穩(wěn)定抽氣,配合分段控溫系統(tǒng),在不同溫度段動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)真空度,實(shí)現(xiàn)梯度燒結(jié),減少陶瓷開(kāi)裂風(fēng)險(xiǎn);其對(duì)水蒸氣的耐受性較強(qiáng)(抽除 10% 水蒸氣時(shí)仍保持 90% 抽速),無(wú)需復(fù)雜過(guò)濾即可處理燒結(jié)產(chǎn)生的水汽。燒結(jié)結(jié)束后,該設(shè)備還能配合快速冷卻系統(tǒng),在維持真空的同時(shí)實(shí)現(xiàn)降溫,縮短生產(chǎn)周期,提升產(chǎn)能。羅茨真空泵操...
粉末冶金成型前的預(yù)抽真空可提升坯體密度與均勻性,羅茨真空泵的高效抽氣能力在此環(huán)節(jié)發(fā)揮重要作用。在磁場(chǎng)成型工藝中,其通過(guò)與密封壓機(jī) 聯(lián)動(dòng),可快速抽除模具模腔內(nèi)的空氣,使釹鐵硼粉末在加壓時(shí)更均勻填充模具,減少坯體密度差異。對(duì)于等靜壓成型,羅茨真空泵能在坯體裝入高壓腔體前抽除包裝內(nèi)的空氣,避免加壓時(shí)空氣膨脹導(dǎo)致坯體開(kāi)裂;其抽速可達(dá) 300L/s 以上,能在 1 分鐘內(nèi)將包裝內(nèi)壓力降至 1Pa 以下,保障等靜壓后坯體致密度均勻性。該設(shè)備還支持氮?dú)獗Wo(hù)下的預(yù)抽操作,在抽真空后充入氮?dú)夥乐狗勰┭趸?,兼顧成型質(zhì)量與材料性能。羅茨真空泵噪音控制佳,符合車間環(huán)保噪音標(biāo)準(zhǔn)。浙江老牌羅茨真空泵結(jié)構(gòu)圖某半導(dǎo)體芯片制造...
在 RH 真空精煉爐的機(jī)械真空泵系統(tǒng)中,羅茨真空泵承擔(dān)**抽氣功能,構(gòu)成系統(tǒng)**級(jí)**設(shè)備,其配置需結(jié)合多維度參數(shù)精細(xì)計(jì)算。設(shè)計(jì)階段需綜合 RH 真空精煉爐公稱容量、預(yù)抽真空腔體容積、提升氬氣耗量、冶煉反應(yīng)產(chǎn)氣量、保護(hù)氣體量及系統(tǒng)泄漏率等因素,確定抽真空時(shí)間與各級(jí)泵壓縮比,進(jìn)而明確抽氣能力。以河北某鋼廠 130t 公稱容量的 RH 爐為例,機(jī)械真空泵系統(tǒng)有效抽氣量需≥700000Nm3/h,**級(jí)均采用羅茨泵且型號(hào)與臺(tái)數(shù)差異化配置。從實(shí)際運(yùn)行參數(shù)看,一級(jí)羅茨泵有效抽速為單臺(tái) 15558m3/h 乘以 42 臺(tái),二級(jí)為單臺(tái) 15558m3/h 乘以 8 臺(tái),三級(jí)為單臺(tái) 7295m3/h 乘以 8...
電力設(shè)備制造領(lǐng)域,羅茨真空泵主要用于電力變壓器、電容器和互感器的真空干燥與浸漬處理。這些設(shè)備的絕緣性能直接影響運(yùn)行安全,真空干燥可徹底去除絕緣材料中的水分,浸漬處理則能增強(qiáng)絕緣強(qiáng)度,羅茨泵的高抽速可確保在規(guī)定時(shí)間內(nèi)達(dá)到工藝所需的低壓力環(huán)境,保障處理效果。在食品加工行業(yè),羅茨泵常用于真空包裝和凍干工藝。真空包裝中,它能快速抽除包裝內(nèi)空氣,延緩食品氧化變質(zhì),延長(zhǎng)保質(zhì)期;凍干工藝中,需在低溫真空環(huán)境下升華水分,羅茨泵可配合制冷設(shè)備,維持系統(tǒng)穩(wěn)定的低真空狀態(tài),保證食品形態(tài)和營(yíng)養(yǎng)成分不被破壞,適用于果蔬、肉類等產(chǎn)品加工。航空航天領(lǐng)域的空間模擬裝置離不開(kāi)羅茨真空泵的支撐。空間模擬艙需模擬太空中的高真空環(huán)境...
作為變?nèi)菡婵毡?,羅茨真空泵的抽氣原理**是通過(guò)轉(zhuǎn)子的周期性容積變化實(shí)現(xiàn)氣體輸送。轉(zhuǎn)子的共軛曲面設(shè)計(jì)確保旋轉(zhuǎn)時(shí)互不干涉,間隙的存在避免了摩擦磨損,同時(shí)為高轉(zhuǎn)速運(yùn)行提供可能。氣體在泵腔內(nèi)無(wú)壓縮和膨脹過(guò)程,*靠轉(zhuǎn)子推壓作用遷移,直至與排氣側(cè)連通后排出,該特性使其在寬壓力范圍內(nèi)保持穩(wěn)定抽速。羅茨真空泵的工作依賴轉(zhuǎn)子與齒輪的精細(xì)配合。同步齒輪保證兩個(gè)轉(zhuǎn)子反向同步轉(zhuǎn)動(dòng),避免碰撞,這是其實(shí)現(xiàn)抽氣功能的基礎(chǔ)。當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過(guò)排氣口邊緣時(shí),封閉空間內(nèi)的氣體因與排氣側(cè)相通而壓強(qiáng)驟升,隨后在轉(zhuǎn)子持續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)下被強(qiáng)制排出,這種結(jié)構(gòu)使設(shè)備啟動(dòng)后能快速達(dá)到工作真空狀態(tài)。羅茨真空泵啟動(dòng)迅速,快速響應(yīng)真空系統(tǒng)需求。氣冷羅茨真空泵采...
停車后啟動(dòng)困難多發(fā)生于濕式羅茨泵,常見(jiàn)原因包括水垢沉積、異物進(jìn)入、轉(zhuǎn)子串位及軸彎曲。硬水冷卻易在泵內(nèi)形成水垢堵塞間隙,可采用機(jī)械鏟除或 5%-10% 鹽酸清洗;異物進(jìn)入多因管道安裝前未清理,需拆解泵體取出異物;轉(zhuǎn)子串位或軸彎曲則需重新裝配轉(zhuǎn)子或矯直、更換轉(zhuǎn)軸,羅茨真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪聲增大不僅影響環(huán)境,更預(yù)示設(shè)備異常。轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子或殼體間隙不均勻引發(fā)摩擦,會(huì)產(chǎn)生劇烈噪聲,需按規(guī)范調(diào)節(jié)同步齒輪和端蓋位置,使間隙均勻;同步齒輪嚙合不良或缺油時(shí),齒輪箱內(nèi)噪聲明顯,可松開(kāi)齒輪輪轂螺釘調(diào)整嚙合狀態(tài)并加注潤(rùn)滑油;轉(zhuǎn)速過(guò)高導(dǎo)致流體碰撞噪聲,可更換皮帶輪降速或加裝消聲器。泵體發(fā)熱可能導(dǎo)致設(shè)備損壞,**原因是間隙過(guò)小或...