2024 年至今,鈦靶塊市場競爭格局進(jìn)入優(yōu)化與重構(gòu)階段,呈現(xiàn)出國際巨頭與本土企業(yè)差異化競爭的態(tài)勢。國際方面,美國霍尼韋爾、日本東曹等傳統(tǒng)巨頭仍占據(jù) 14nm 及以下先進(jìn)制程市場的主導(dǎo)地位,合計(jì)占據(jù)國內(nèi)約 70% 的市場份額,但市場增速放緩。國內(nèi)方面,以江豐電子、有研億金為的本土企業(yè)憑借技術(shù)突破和成本優(yōu)勢,在成熟制程領(lǐng)域快速擴(kuò)大市場份額,2024 年國產(chǎn)鈦靶在中國大陸市場的整體份額已提升至約 30%。競爭焦點(diǎn)從單純的技術(shù)比拼轉(zhuǎn)向 “技術(shù) + 服務(wù) + 成本” 的綜合實(shí)力競爭,本土企業(yè)依托快速的客戶響應(yīng)、定制化解決方案和性價(jià)比優(yōu)勢,贏得了中芯國際、華虹宏力等國內(nèi)主流客戶的認(rèn)可。市場結(jié)構(gòu)呈現(xiàn)出 “市...
致密度與晶粒結(jié)構(gòu)是鈦靶塊另外兩個(gè)關(guān)鍵的性能指標(biāo),它們直接關(guān)聯(lián)到鈦靶塊的濺射穩(wěn)定性、使用壽命以及沉積薄膜的均勻性。致密度指的是鈦靶塊的實(shí)際密度與鈦的理論密度(4.51g/cm3)的比值,通常以百分比表示。高致密度的鈦靶塊內(nèi)部孔隙少,結(jié)構(gòu)均勻,在濺射過程中能夠保證濺射速率的穩(wěn)定,避免因孔隙導(dǎo)致的濺射速率波動,同時(shí)還能減少靶材的“飛濺”現(xiàn)象。靶材飛濺是指在濺射過程中,靶材表面的顆粒因內(nèi)部孔隙或結(jié)構(gòu)缺陷而脫落,進(jìn)入薄膜中形成雜質(zhì)點(diǎn),影響薄膜質(zhì)量。一般來說,工業(yè)純鈦靶塊的致密度需達(dá)到95%以上,而高純鈦靶塊及用于領(lǐng)域的鈦靶塊,致密度需達(dá)到98%以上,部分產(chǎn)品甚至可達(dá)99.5%以上。晶粒結(jié)構(gòu)對鈦靶塊性能的...
20 世紀(jì) 80 年代,鈦靶塊行業(yè)進(jìn)入快速成長期,市場需求的持續(xù)增長與技術(shù)體系的逐步完善形成雙向驅(qū)動。全球經(jīng)濟(jì)的復(fù)蘇帶動電子信息、航空航天等產(chǎn)業(yè)加速發(fā)展,半導(dǎo)體芯片集成度的提升對靶材純度和精度提出更高要求,鈦靶塊的純度標(biāo)準(zhǔn)提升至 99.99%(4N)級別,氧含量控制技術(shù)取得重要突破。制備工藝方面,熱等靜壓(HIP)技術(shù)開始應(yīng)用于靶坯成型,有效降低了內(nèi)部孔隙率,提升了靶材的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性;精密機(jī)械加工技術(shù)的進(jìn)步則實(shí)現(xiàn)了靶塊尺寸精度的精細(xì)化控制,適配不同型號的濺射設(shè)備。這一時(shí)期,鈦靶塊的應(yīng)用領(lǐng)域進(jìn)一步拓寬,在平板顯示、太陽能電池等新興產(chǎn)業(yè)中獲得初步應(yīng)用,市場規(guī)模持續(xù)擴(kuò)大。行業(yè)格局上,國際巨頭開始布局規(guī)...
致密度與晶粒結(jié)構(gòu)是鈦靶塊另外兩個(gè)關(guān)鍵的性能指標(biāo),它們直接關(guān)聯(lián)到鈦靶塊的濺射穩(wěn)定性、使用壽命以及沉積薄膜的均勻性。致密度指的是鈦靶塊的實(shí)際密度與鈦的理論密度(4.51g/cm3)的比值,通常以百分比表示。高致密度的鈦靶塊內(nèi)部孔隙少,結(jié)構(gòu)均勻,在濺射過程中能夠保證濺射速率的穩(wěn)定,避免因孔隙導(dǎo)致的濺射速率波動,同時(shí)還能減少靶材的“飛濺”現(xiàn)象。靶材飛濺是指在濺射過程中,靶材表面的顆粒因內(nèi)部孔隙或結(jié)構(gòu)缺陷而脫落,進(jìn)入薄膜中形成雜質(zhì)點(diǎn),影響薄膜質(zhì)量。一般來說,工業(yè)純鈦靶塊的致密度需達(dá)到95%以上,而高純鈦靶塊及用于領(lǐng)域的鈦靶塊,致密度需達(dá)到98%以上,部分產(chǎn)品甚至可達(dá)99.5%以上。晶粒結(jié)構(gòu)對鈦靶塊性能的...
從材料屬性來看,鈦靶塊繼承了金屬鈦的優(yōu)勢,同時(shí)因加工工藝的優(yōu)化呈現(xiàn)出更適配鍍膜需求的特性:其一,高純度是其指標(biāo),工業(yè)級應(yīng)用中鈦靶塊純度通常需達(dá)到 99.9%(3N)以上,而半導(dǎo)體、光學(xué)等領(lǐng)域則要求 99.99%(4N)甚至 99.999%(5N)級別,雜質(zhì)含量的嚴(yán)格控制直接決定了沉積膜層的電學(xué)、光學(xué)及力學(xué)性能穩(wěn)定性;其二,致密的微觀結(jié)構(gòu)是關(guān)鍵,通過熱壓、鍛造、軋制等工藝處理,鈦靶塊內(nèi)部晶粒均勻細(xì)化,孔隙率極低(通常低于 0.5%),可避免濺射過程中因氣孔導(dǎo)致的膜層缺陷(如、顆粒);其三,的尺寸與表面精度,不同鍍膜設(shè)備對靶塊的直徑、厚度、平面度及表面粗糙度有嚴(yán)格要求,例如半導(dǎo)體濺射設(shè)備用鈦靶塊平...
2016-2020 年,鈦靶塊行業(yè)進(jìn)入應(yīng)用領(lǐng)域多元化拓展的關(guān)鍵階段,從傳統(tǒng)領(lǐng)域向新興產(chǎn)業(yè)延伸。在鞏固半導(dǎo)體、顯示面板、航空航天等傳統(tǒng)市場的基礎(chǔ)上,鈦靶塊憑借其優(yōu)異的綜合性能,在新能源、醫(yī)療健康、環(huán)保等領(lǐng)域開辟了新的應(yīng)用場景。新能源領(lǐng)域,鈦靶塊用于太陽能電池電極薄膜和新能源汽車電池正極涂層制備,提升電池的導(dǎo)電性和使用壽命;醫(yī)療領(lǐng)域,依托生物相容性優(yōu)勢,用于人工關(guān)節(jié)、心臟支架等植入器械的表面鍍膜,降低排異反應(yīng)風(fēng)險(xiǎn);環(huán)保領(lǐng)域,用于污水處理設(shè)備的防腐涂層,提升設(shè)備耐腐蝕性和使用壽命。技術(shù)層面,復(fù)合鈦靶材成為研發(fā)熱點(diǎn),鈦鋁、鈦鉬等合金靶材因適配柔性顯示、高折射率薄膜等新需求,應(yīng)用占比逐年提升。市場規(guī)模持...
智能化與數(shù)字化轉(zhuǎn)型將重塑鈦靶塊行業(yè)的生產(chǎn)與服務(wù)模式。生產(chǎn)端,數(shù)字孿生技術(shù)將實(shí)現(xiàn)鈦靶制造全流程虛擬仿真,中科院沈陽科學(xué)儀器研發(fā)的MCVD軟件已能模擬濺射粒子分布,減少試錯(cuò)成本60%,未來將構(gòu)建涵蓋原料提純、熔煉、鍛造、濺射全環(huán)節(jié)的數(shù)字孿生系統(tǒng),工藝研發(fā)周期縮短70%。設(shè)備智能化方面,熔煉爐、軋制機(jī)等關(guān)鍵設(shè)備將配備智能傳感器和AI控制系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)工藝參數(shù)實(shí)時(shí)優(yōu)化,產(chǎn)品合格率從當(dāng)前的85%提升至95%以上。服務(wù)端,將形成“制造+服務(wù)”的新業(yè)態(tài),企業(yè)為客戶提供定制化鍍膜解決方案,包括靶材設(shè)計(jì)、工藝參數(shù)優(yōu)化、鍍膜效果檢測等一體化服務(wù)。遠(yuǎn)程運(yùn)維服務(wù)興起,通過設(shè)備聯(lián)網(wǎng)實(shí)現(xiàn)靶材生產(chǎn)設(shè)備的遠(yuǎn)程監(jiān)控和故障診斷,停機(jī)...
20 世紀(jì) 90 年代,鈦靶塊行業(yè)進(jìn)入成熟期,產(chǎn)業(yè)鏈的完善與全球化競爭格局的形成成為主要特征。隨著全球制造業(yè)向化轉(zhuǎn)型,半導(dǎo)體、顯示面板等產(chǎn)業(yè)的快速擴(kuò)張帶動鈦靶塊需求持續(xù)攀升,市場規(guī)模實(shí)現(xiàn)跨越式增長。技術(shù)層面,高純鈦提純技術(shù)取得重大突破,靶材純度達(dá)到 99.995%(4N5),滿足了先進(jìn)半導(dǎo)體制程的要求;焊接綁定工藝的成熟的解決了靶材與背板的連接難題,提升了濺射過程中的熱傳導(dǎo)效率和靶材利用率。產(chǎn)業(yè)鏈方面,形成了從海綿鈦生產(chǎn)、高純鈦提純、靶坯制造、精密加工到綁定封裝的完整產(chǎn)業(yè)體系,上下游協(xié)同效應(yīng)增強(qiáng)。全球市場呈現(xiàn)出寡頭競爭格局,美國霍尼韋爾、日本東曹、日礦金屬等國際企業(yè)憑借技術(shù)積累和,占據(jù)全球主要...
全球市場格局將呈現(xiàn)“中國主導(dǎo)、多極競爭”的重構(gòu)態(tài)勢。當(dāng)前中國鈦靶產(chǎn)能占全球50%以上,2025年市場規(guī)模預(yù)計(jì)突破50億美元,年均增長率達(dá)12%,陜西、四川、江蘇形成三大產(chǎn)業(yè)集群,其中陜西產(chǎn)能占比35%,寶鈦股份、西部材料等企業(yè)發(fā)展。未來五年,中國將在市場實(shí)現(xiàn)突破,高純度鈦靶國產(chǎn)化率從30%提升至50%,大尺寸顯示面板用靶材實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代。國際競爭方面,美國仍主導(dǎo)航空航天和用鈦靶,2025年市場規(guī)模達(dá)15億美元;日本在高純度鈦靶技術(shù)上保持優(yōu)勢,出口額預(yù)計(jì)突破8億美元;歐洲聚焦醫(yī)療和新能源領(lǐng)域,市場規(guī)模達(dá)10億美元。全球鈦靶需求量將從2025年的30萬噸增長至2030年的50萬噸,中國需求占比始終保...