河北激光制造精密溫控

這款高精密環(huán)控柜是我司單獨研發(fā)的精密環(huán)境控制設備，可達成ISOClass1-6級潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等多級溫度波動控制精度。依托全場景非標定制能力，能滿足用戶在溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等多方面的個性化需求。設備具備運行數(shù)據(jù)實時記錄與查詢功能，并配備自動安全防護系統(tǒng)，確保長期穩(wěn)定運行。其構成包括主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷（熱）系統(tǒng)、照明系統(tǒng)及局部氣浴等，專為光刻機、激光干涉儀等精密測量與制造設備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。該系統(tǒng)采用“外環(huán)境保障相對濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量”的邏輯，通過精zhun控溫實現(xiàn)倉內濕度達標。為滿足嚴苛要求，采用大風量小溫差設計，快速循環(huán)過濾空氣并帶走余熱，使關鍵區(qū)域溫度波動低至±0.002℃；同時通過多級控溫（表冷盤降溫+多級電加熱升溫），將精度從±0.1℃逐步提升至±0.002℃?？販鼐龋禾峁I(yè)界前列的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，溫度水平均勻性嚴格控制在 <16mK/m 范圍內。河北激光制造精密溫控

干涉儀對精密微環(huán)境的嚴苛需求：干涉儀的納米級測量精度極易受環(huán)境干擾。其基于光的干涉原理工作，通過測量干涉條紋變化精確測定物體長度、角度、表面平整度等參數(shù)，精度可達納米級別。溫度波動引致光學元件熱變形，改變光路并偏移干涉條紋；塵埃與濕度波動則加速設備損耗，干涉儀精密微環(huán)境的穩(wěn)定性直接決定測量成敗。前列的精密溫控能力：干涉儀微環(huán)境穩(wěn)定關鍵極測精密溫控技術可實現(xiàn)內部溫度穩(wěn)定性關鍵區(qū)域可達 +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。這一精度確保了在立式干涉儀運行時，光學元件與機械結構不受溫度波動干擾，始終維持在蕞佳工作狀態(tài)，為精Zhun測量提供穩(wěn)定基礎。百級潔凈+濕度協(xié)同打造干涉儀長效微環(huán)境系統(tǒng)通過極測精密微環(huán)境控制系統(tǒng)，實現(xiàn)濕度控制與百級以上潔凈，同步解決光學件霉變、金屬銹蝕及塵埃光路干擾問題，為干涉儀構建多參數(shù)協(xié)同精密微環(huán)境。智能精密溫控：干涉儀微環(huán)境運維閉環(huán)實時監(jiān)控干涉儀微環(huán)境溫濕度等數(shù)據(jù)，自動生成運行趨勢曲線，支持故障追溯與質量分析。智能防護模塊保障精密溫控設備24小時連續(xù)運行，避免測量中斷。江西極測（南京）精密溫控穩(wěn)定電子元件內部結構，應用于超聲波清洗、真空鍍膜等場景，防止清洗劑揮發(fā)并保障鍍膜質量。

控溫精度：提供業(yè)界前列的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，溫度水平均勻性嚴格控制在 <16mK/m 范圍內，確保測量過程的穩(wěn)定性和 0.1% 的控制輸出精度。

濕度與潔凈協(xié)同保障：設備同時實現(xiàn) ±0.5%@8h 的高濕度穩(wěn)定性，杜絕因濕度問題導致的零部件腐蝕和鏡片結霧風險。潔凈度控制可達百級以上，關鍵工作區(qū)蕞高優(yōu)于 ISO class3 標準，嚴防塵埃顆粒干擾精密光路。
全方wei環(huán)境定制：極測具備強大的全場景非標定制能力，不僅能滿足嚴苛的溫濕度穩(wěn)定性需求，還能根據(jù)用戶具體場景定制抗微振、防磁、隔音等綜合環(huán)境參數(shù)，為干涉儀量身打造理想的工作空間。

晶圓制造是一項對環(huán)境極為敏感的工藝。無論是光刻、刻蝕，還是封裝環(huán)節(jié)，溫度的細微波動和空氣中的微小顆粒都可能帶來災難性后果，影響芯片的功能或造成短路或斷路，導致整片晶圓報廢。南京拓展科技旗下企業(yè)，極測（南京）技術有限公司推出的超精密恒溫潔凈棚，憑借突破性的環(huán)境控制技術，為晶圓構建起無可比擬的操作空間，可實現(xiàn)±0.002℃，±0.005℃，±0.05℃，±0.01℃，±0.1℃等不同等級精度的溫度控制，及ISO class1-ISO class6不同等級的潔凈度，相比晶圓操作臺通過被動抵御環(huán)境溫度變化，極測精密恒溫潔凈棚通過其在溫度控制和潔凈度管理上的雙重突破，主動調控外部溫度，形成超精密恒溫潔凈間的 “黃金環(huán)境”，成為推動半導體產(chǎn)業(yè)向更高精度邁進的關鍵力量。一般來說，溫度要求在20~25℃之間，但某些精密的光學儀器可能要求更嚴格的溫度穩(wěn)定性要求，比如±0.005℃。

在高duan制造與科研領域，溫度控制的微小偏差正在扼殺技術突破：半導體光刻環(huán)節(jié)：極紫外（EUV）光刻機要求冷卻水溫度波動≤±0.001℃。傳統(tǒng)機組溫度控制±0.5℃的精度會導致光刻膠形變，造成納米級線寬偏差，單次工藝損失超$50萬。冷凍電鏡（Cryo-EM）成像：生物樣本溫度控制需在-180℃下維持±0.1℃穩(wěn)定性。溫度波動超過閾值會使冰晶破壞蛋白質結構，3D重建分辨率從3?劣化至8?，研究成果價值歸零。高功率激光加工：光纖激光器溫度控制漂移＞±0.02℃時，熱透鏡效應導致光束焦點偏移20μm，碳鋼切割斷面粗糙度增加300%，廢品率飆升。技術本質：傳統(tǒng)水冷機組受限于PID控制滯后性、換熱器結垢衰減、單點故障風險，無法滿足超精密場景的溫度控制“零容忍”需求。系統(tǒng)采用高精密控溫算法，能將設備工作區(qū)域的溫度波動控制在±0.002℃范圍內（靜態(tài)工況下可達±2mK）。遼寧激光精密溫控

堅固美觀：鈑金箱體堅固耐用，外觀顏色可按需定制，完美融入現(xiàn)代化實驗室環(huán)境。河北激光制造精密溫控

極測精密恒溫潔凈棚還配備了智能運維系統(tǒng)。運行中的溫度、濕度等關鍵數(shù)據(jù)自動生成曲線，操作人員可以直觀地掌握環(huán)境變化情況；數(shù)據(jù)自動保存且可隨時導出，運行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄，方便進行數(shù)據(jù)分析、質量追溯與故障排查。自動安全保護系統(tǒng)更是為設備的穩(wěn)定運行提供了全天候保障，一旦出現(xiàn)異常，系統(tǒng)將立即啟動保護機制，減少因故障導致的測量中斷和晶圓報廢。 極測先進的環(huán)境控制技術，為晶圓操作空間樹立了新的行業(yè)標準。精密恒溫潔凈棚不僅解決了半導體制造中環(huán)境控制的難題，更為芯片的高精度制造和研發(fā)提供了堅實的保障。隨著半導體技術的不斷發(fā)展，對晶圓操作環(huán)境的要求也將越來越高，而極測精密恒溫潔凈棚，必將在未來的產(chǎn)業(yè)發(fā)展中發(fā)揮更加重要的作用，助力我國半導體產(chǎn)業(yè)邁向新的高度。河北激光制造精密溫控