天津精密溫控棚

極測（南京）專注精密環(huán)境控制解決方案，現(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板企業(yè)與國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場景。目前，高精密環(huán)境控制設(shè)備已實(shí)現(xiàn)蕞高溫控精度±0.002℃，潔凈度十級以上。擁有結(jié)合全場景非標(biāo)定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，比如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，抗微振、防磁、隔音等，持續(xù)領(lǐng)跑超高精密環(huán)控技術(shù)革新。當(dāng)前半導(dǎo)體行業(yè)處于快速發(fā)展與技術(shù)迭代的關(guān)鍵期，本土供應(yīng)鏈的完善與升級至關(guān)重要。極測（南京）技術(shù)此次業(yè)績表現(xiàn)，不僅標(biāo)志著公司在市場拓展與業(yè)務(wù)運(yùn)營上實(shí)現(xiàn)突破，展現(xiàn)出強(qiáng)勁的增長態(tài)勢，更體現(xiàn)了其在半導(dǎo)體精密環(huán)控領(lǐng)域的核心競爭力持續(xù)提升，為后續(xù)發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。極測（南京）技術(shù)有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在實(shí)驗(yàn)室專業(yè)領(lǐng)域的沉淀不斷壯大。天津精密溫控棚

極測（南京）技術(shù)有限公司的精密水冷冷凍水機(jī)組憑借毫 K 級控溫精度（±0.001℃）、快速響應(yīng)能力及高穩(wěn)定性設(shè)計(jì)，成為半導(dǎo)體制造中蝕刻與沉積設(shè)備、晶圓制造、芯片測試等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的標(biāo)配溫控設(shè)備。本文結(jié)合半導(dǎo)體工藝對溫度的嚴(yán)苛需求，解析該機(jī)組如何通過專li技術(shù)實(shí)現(xiàn)全流程溫度精zhun控制，助力提升芯片良率與生產(chǎn)效率，為半導(dǎo)體行業(yè)用戶提供溫控設(shè)備選型與應(yīng)用參考。
在半導(dǎo)體制造向 3nm 甚至更小制程突破的today，精密水冷冷凍水機(jī)組已從 “輔助設(shè)備” 升級為 “關(guān)鍵工藝設(shè)備”。極測（南京）技術(shù)有限公司的產(chǎn)品憑借毫 K 級控溫、全流程適配及高可靠性，正在助力國內(nèi)晶圓廠、封測廠及研發(fā)機(jī)構(gòu)攻克溫度敏感型工藝難題。對于半導(dǎo)體行業(yè)而言，選擇一款能夠精zhun匹配蝕刻、沉積、晶圓生長、芯片測試等全場景需求的溫控設(shè)備，不僅是提升良率的關(guān)鍵，更是在全球半導(dǎo)體競爭中構(gòu)建技術(shù)壁壘的重要一環(huán)。
遼寧精密溫控設(shè)計(jì)極測（南京）專注于研發(fā)、生產(chǎn)和銷售高端定制化精密環(huán)控系統(tǒng)，目前已擁有結(jié)合全場景非標(biāo)定制能力。

在高duan制造與科研領(lǐng)域，溫度控制的微小偏差正在扼殺技術(shù)突破：半導(dǎo)體光刻環(huán)節(jié)：極紫外（EUV）光刻機(jī)要求冷卻水溫度波動≤±0.001℃。傳統(tǒng)機(jī)組溫度控制±0.5℃的精度會導(dǎo)致光刻膠形變，造成納米級線寬偏差，單次工藝損失超$50萬。冷凍電鏡（Cryo-EM）成像：生物樣本溫度控制需在-180℃下維持±0.1℃穩(wěn)定性。溫度波動超過閾值會使冰晶破壞蛋白質(zhì)結(jié)構(gòu)，3D重建分辨率從3?劣化至8?，研究成果價值歸零。高功率激光加工：光纖激光器溫度控制漂移＞±0.02℃時，熱透鏡效應(yīng)導(dǎo)致光束焦點(diǎn)偏移20μm，碳鋼切割斷面粗糙度增加300%，廢品率飆升。技術(shù)本質(zhì)：傳統(tǒng)水冷機(jī)組受限于PID控制滯后性、換熱器結(jié)垢衰減、單點(diǎn)故障風(fēng)險，無法滿足超精密場景的溫度控制“零容忍”需求。

極測（南京）致力于為全球高精密需求用戶打造超精密穩(wěn)定的研發(fā)與生產(chǎn)環(huán)境，專注于研發(fā)、生產(chǎn)和銷售高端定制化精密環(huán)控系統(tǒng)，目前已擁有結(jié)合全場景非標(biāo)定制能力，滿足用戶不同溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，氣壓穩(wěn)定性、抗微振、防磁、隔音等個性化需求?？茖W(xué)技術(shù)成果認(rèn)定為國際先進(jìn)水平。服務(wù)行業(yè)覆蓋：半導(dǎo)體芯片、精密光學(xué)、精密測量、新能源、航空航天、通信技術(shù)等行業(yè)。極測在新技術(shù)浪潮中奮力向前，攀登環(huán)境控制新高度！為用戶提供精zhun、穩(wěn)定、可靠的高精密環(huán)境！半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中使用的許多材料對濕度也非常敏感。例如，光刻膠在高濕環(huán)境下容易吸濕，影響其固化效果。

精密環(huán)境受到多種因素的影響。溫度波動會導(dǎo)致儀器設(shè)備、被測樣品等產(chǎn)生形變，影響空氣對光的折射波動；濕度波動會影響空氣折射率，濕度過高還易造成電器故障；二氧化碳濃度、壓力梯度波動會影響空氣折射率；微振動會造成儀器設(shè)備等抖動，影響光路；電磁干擾、接地電阻過大會影響儀器設(shè)備正常工作。
極測（南京）技術(shù)有限公司針對不同環(huán)境控制需求，提供了完善的解決方案。普通環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±2℃，濕度控制精度為 ±5~15%，潔凈度等級為十萬級到百級，采用恒溫恒濕超凈間；精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.5~1℃，濕度控制精度為 ±2~5%，潔凈度等級為萬級到百級，采用精密恒溫恒濕超凈間；高精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.1~0.3℃，濕度控制精度為 ±2~5%，潔凈度等級為千級到百級，采用高精密恒溫恒濕超凈間；超精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.002~0.1℃，濕度控制精度為 ±1~5%，潔凈度等級為百級到十級，在高精密恒溫恒濕超凈間中搭建精密環(huán)控系統(tǒng)，同時氣流 / 風(fēng)速 / 壓差控制、CO?濃度調(diào)節(jié)、噪音控制、環(huán)境參數(shù)閉環(huán)控制。
潔凈室內(nèi)需配置無塵空氣過濾與流通系統(tǒng)，保證氣流分布合理，無死角，使?jié)崈艨諝獬浞值竭_(dá)每個角落。安徽精密儀器精密溫控

極測（南京）致力于為全球企業(yè)提供定制化的環(huán)境控制解決方案，以嚴(yán)格的溫濕度與潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。天津精密溫控棚

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中，溫度波動是導(dǎo)致芯片缺陷的關(guān)鍵因素之一：

蝕刻與沉積環(huán)節(jié)：極紫外（EUV）光刻、等離子蝕刻等工藝需將溫度波動控制在±0.01℃以內(nèi)，若溫度漂移超過閾值，可能導(dǎo)致刻蝕深度不均、薄膜應(yīng)力開裂等問題；

晶圓生長與加工：硅單晶生長過程中，溫度梯度變化會引起晶格缺陷，影響晶圓電學(xué)性能；

芯片測試環(huán)節(jié)：環(huán)境溫度波動可能導(dǎo)致測試儀器誤差增大，造成芯片分選誤判。極測精密水冷冷凍水機(jī)組以±0.001℃控溫精度（遠(yuǎn)超行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）及動態(tài)負(fù)載適應(yīng)能力，精zhun解決上述痛點(diǎn)，成為半導(dǎo)體工藝的“溫度守護(hù)者”。 天津精密溫控棚