河北精密溫控

極測(cè)（南京）關(guān)鍵技術(shù)市如何適配半導(dǎo)體嚴(yán)苛需求的？毫 K 級(jí)控溫的技術(shù)密碼專(zhuān)li級(jí) PID + 逐級(jí)控溫：通過(guò) “超高精度工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)及其恒溫控制方法” 專(zhuān)li，結(jié)合自主研發(fā)溫度采集模塊與多級(jí)制冷回路設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)對(duì)蝕刻機(jī)腔體溫度的±0.001℃級(jí)控制，例如在 EUV 光刻機(jī)中，可確保光刻膠曝光時(shí)的熱形變小于 1 納米；板式換熱器強(qiáng)化傳熱：微通道結(jié)構(gòu)與不銹鋼材質(zhì)提升換熱效率 30% 以上，同時(shí)避免銅離子污染（半導(dǎo)體行業(yè)忌用材質(zhì)），滿足晶圓制造對(duì)水質(zhì)純凈度的要求。抗干擾與快速響應(yīng)能力雙壓縮機(jī)冗余設(shè)計(jì)：在晶圓廠 24 小時(shí)連續(xù)生產(chǎn)中，單壓縮機(jī)故障時(shí)備用模塊可在快速自動(dòng)切入，避免因停機(jī)導(dǎo)致的工藝中斷；變頻技術(shù)動(dòng)態(tài)調(diào)溫：通過(guò)壓縮機(jī)變頻調(diào)節(jié)制冷量，在芯片測(cè)試環(huán)節(jié)面對(duì)多工位負(fù)載切換時(shí)，溫度恢復(fù)時(shí)間很大縮短。例如，光刻工藝中，微小的溫度波動(dòng)會(huì)導(dǎo)致曝光位置的漂移，進(jìn)而影響線路的精確度。河北精密溫控

極測(cè)（南京）專(zhuān)注精密環(huán)境控制解決方案，現(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板企業(yè)與國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場(chǎng)景。目前，高精密環(huán)境控制設(shè)備已實(shí)現(xiàn)蕞高溫控精度±0.002℃，潔凈度十級(jí)以上。擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，比如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，抗微振、防磁、隔音等，持續(xù)領(lǐng)跑超高精密環(huán)控技術(shù)革新。當(dāng)前半導(dǎo)體行業(yè)處于快速發(fā)展與技術(shù)迭代的關(guān)鍵期，本土供應(yīng)鏈的完善與升級(jí)至關(guān)重要。極測(cè)（南京）技術(shù)此次業(yè)績(jī)表現(xiàn)，不僅標(biāo)志著公司在市場(chǎng)拓展與業(yè)務(wù)運(yùn)營(yíng)上實(shí)現(xiàn)突破，展現(xiàn)出強(qiáng)勁的增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)，更體現(xiàn)了其在半導(dǎo)體精密環(huán)控領(lǐng)域的核心競(jìng)爭(zhēng)力持續(xù)提升，為后續(xù)發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。OCD量測(cè)精密溫控報(bào)價(jià)極測(cè)（南京）致力于為芯片半導(dǎo)體、電子信息、光學(xué)儀器、精密制造、新能源等行業(yè)提供高精密環(huán)境解決方案。

南京拓展科技旗下企業(yè)，極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司憑借深厚的技術(shù)積淀，精心打造的精密溫控箱罩設(shè)備，以其蕞高±0.002℃高精密溫度控制及可實(shí)現(xiàn)潔凈度十級(jí)以上的能力，成為三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的蕞佳拍檔。目前精密溫控箱罩已擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，比如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，抗微振、防磁、隔音等不同個(gè)性化需求?，F(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板前列企業(yè)與國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場(chǎng)景。 在精密制造與檢測(cè)領(lǐng)域，三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x作為獲取高精度尺寸數(shù)據(jù)的關(guān)鍵設(shè)備，其測(cè)量精度直接關(guān)系到產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)效率。而要確保三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x穩(wěn)定、精密地運(yùn)行，精密溫控箱罩起著不可或缺的作用。

濕度穩(wěn)定性：濕度過(guò)高可能導(dǎo)致光學(xué)鏡片表面結(jié)露、金屬部件銹蝕、光刻膠特性改變；濕度過(guò)低則容易產(chǎn)生靜電，吸附塵埃污染晶圓和設(shè)備。精確的濕度控制對(duì)確保工藝穩(wěn)定性和材料性能至關(guān)重要。3、chao低振動(dòng)：光刻機(jī)在曝光時(shí)需要極高的穩(wěn)定性。任何來(lái)自地面（交通、施工、人員走動(dòng)）、設(shè)備自身（空調(diào)、泵）或建筑物（風(fēng)載荷）的振動(dòng)，都會(huì)直接導(dǎo)致光學(xué)系統(tǒng)抖動(dòng)，使投影到硅片上的圖形模糊或位置偏移。因此，光刻機(jī)通常安裝在深達(dá)地下的單獨(dú)地基或高性能主動(dòng)/被動(dòng)隔震平臺(tái)上，甚至采用磁懸浮等技術(shù)進(jìn)行主動(dòng)減振。 控溫精度：提供業(yè)界前列的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，溫度水平均勻性嚴(yán)格控制在 <16mK/m 范圍內(nèi)。

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，每一納米的變化都可能直接影響芯片的性能與良率。作為高精度檢測(cè)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備（如電子顯微鏡、膜厚測(cè)量?jī)x、OCD量測(cè)等）自身對(duì)運(yùn)行環(huán)境的要求也極為苛刻。環(huán)境的細(xì)微波動(dòng)，都會(huì)引入測(cè)量誤差。 除整體環(huán)境外，半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備通常配備高精度光學(xué)成像器件（廣義上的“照相機(jī)”），其中光源，電子控制單元，運(yùn)動(dòng)部件等都有可能產(chǎn)生局部發(fā)熱源，蕞終影響環(huán)境的穩(wěn)定性，以及晶圓表面溫度穩(wěn)定性。極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司深刻理解這一需求，憑借在微環(huán)境控制領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累，專(zhuān)為高duan半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備設(shè)計(jì)精密環(huán)控系統(tǒng)，做好設(shè)備配套。系統(tǒng)由設(shè)備主柜體（設(shè)備維護(hù)結(jié)構(gòu)模塊）、潔凈過(guò)濾系統(tǒng)、局部氣浴、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、制冷(熱)系統(tǒng)等組成。通過(guò)整體環(huán)境溫度的精密調(diào)控，以及針對(duì)局部發(fā)熱點(diǎn)進(jìn)行局部氣浴，配套控制潔凈度及減振處理等，為半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備打造精密穩(wěn)定，恒溫潔凈的運(yùn)行環(huán)境。極測(cè)（南京）精密環(huán)控柜滿足用戶不同溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，氣壓穩(wěn)定性、抗微振、防磁、隔音等個(gè)性化需求。精密溫控艙

擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，持續(xù)領(lǐng)跑超高精密環(huán)控技術(shù)革新。河北精密溫控

打造高“溫度精度”，避免熱致誤差溫度是影響測(cè)量精度的首要因素。極測(cè)精密環(huán)控柜采用自主研發(fā)的高精度制冷/加熱控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)高溫度精度和穩(wěn)定性。蕞高將內(nèi)部環(huán)境溫度波動(dòng)控制在極小的范圍內(nèi)（±2mK），確保每一次測(cè)量數(shù)據(jù)的重復(fù)性與可靠性。超凈空間，避免微粒污染除了溫控精度，潔凈度同樣至關(guān)重要。懸浮微粒一旦沉積在晶圓或設(shè)備光學(xué)鏡頭上，將造成缺陷或信號(hào)干擾。極測(cè)環(huán)控柜內(nèi)部可維持蕞高ISO1級(jí)的超高潔凈環(huán)境，有效隔絕灰塵、顆粒物等污染物，為半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備提供干凈的環(huán)境，保護(hù)昂貴的光學(xué)組件和敏感樣品。智能集成，一站式環(huán)境配套我們的解決方案集成了精密溫控、潔凈控制、濕度控制（蕞高±0.3%RH）、及抗微振功能的綜合環(huán)境配套系統(tǒng)。支持根據(jù)您設(shè)備的特定型號(hào)和工藝要求進(jìn)行非標(biāo)定制，匹配不同半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備的精密需求。設(shè)備智能管理系統(tǒng)提供7x24小時(shí)實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)監(jiān)控與記錄，所有環(huán)境參數(shù)一目了然，數(shù)據(jù)可追溯，為質(zhì)量分析和故障排查提供堅(jiān)實(shí)依據(jù)。河北精密溫控