計量精密溫控艙

在半導體產(chǎn)業(yè)鏈中，溫度波動是導致芯片缺陷的關(guān)鍵因素之一：

蝕刻與沉積環(huán)節(jié)：極紫外（EUV）光刻、等離子蝕刻等工藝需將溫度波動控制在±0.01℃以內(nèi)，若溫度漂移超過閾值，可能導致刻蝕深度不均、薄膜應(yīng)力開裂等問題；

晶圓生長與加工：硅單晶生長過程中，溫度梯度變化會引起晶格缺陷，影響晶圓電學性能；

芯片測試環(huán)節(jié)：環(huán)境溫度波動可能導致測試儀器誤差增大，造成芯片分選誤判。極測精密水冷冷凍水機組以±0.001℃控溫精度（遠超行業(yè)標準）及動態(tài)負載適應(yīng)能力，精zhun解決上述痛點，成為半導體工藝的“溫度守護者”。 極測精密環(huán)控柜采用自主研發(fā)的高精度制冷/加熱控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)高溫度精度和穩(wěn)定性（±2mK）。計量精密溫控艙

極測的精密溫控箱罩專為滿足三坐標測量儀等精密設(shè)備的嚴苛環(huán)境需求而設(shè)計。其具備的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，猶如為三坐標測量儀構(gòu)建了一個恒溫 “堡壘”。精密溫控箱罩運用自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，確保精密溫控箱罩內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達 +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。保證測量儀在長時間運行過程中始終保持穩(wěn)定的測量精度，實現(xiàn)0.1% 的控制輸出精度。除了溫度控制，精密溫控箱罩在濕度和潔凈度方面同樣表現(xiàn)。精密溫控箱罩內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達 ±0.5%@8h，避免了因濕度問題導致的測量儀零部件生銹、電子元件短路等故障，延長了設(shè)備使用壽命。同時，該系統(tǒng)可實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，內(nèi)部潔凈度蕞高可優(yōu)于 ISO class3（設(shè)備工作區(qū)），有效防止灰塵等微小顆粒附著在測量儀的光學部件或被測工件表面，避免對測量精度造成干擾?？刮⒄窬軠乜叵到y(tǒng)因此，光學儀器行業(yè)通常要求潔凈室或無塵室的潔凈度達到一定的標準，如千級、萬級或十萬級凈化標準。

在半導體、光學、精密制造等領(lǐng)域，環(huán)境控制精度往往決定了技術(shù)突破的成敗。極測（南京）技術(shù)有限公司作為高精密環(huán)境控制領(lǐng)域的創(chuàng)新者，依托深厚的技術(shù)積淀，推出了具有變革性意義的毫 K 級高精密環(huán)控艙解決方案，為行業(yè)發(fā)展注入新動能。極測（南京）技術(shù)有限公司成立于 2024 年，依托母公司在實驗室專業(yè)領(lǐng)域，尤其是暖通及自控技術(shù)方面的深厚沉淀，致力于為芯片半導體、光學、精密制造、科研研發(fā)等領(lǐng)域提供定制化的高精密環(huán)境控制解決方案。公司現(xiàn)已服務(wù)多家全球半導體、通信設(shè)備、顯示面板前列企業(yè)與國家重點實驗室，在眾多科研與生產(chǎn)場景中展現(xiàn)出的高精密環(huán)境控制技術(shù)實力。 同時，公司擁有自己的工廠，能夠高效地將研發(fā)成果轉(zhuǎn)化為實際產(chǎn)品，為客戶提供高質(zhì)量的設(shè)備和服務(wù)。此外，公司還組建了專業(yè)的售后服務(wù)團隊，確?？蛻舾呔墉h(huán)境控制設(shè)備穩(wěn)定運行，全方wei提升客戶滿意度。

極測（南京）專注精密環(huán)境控制解決方案，現(xiàn)已服務(wù)多家全球半導體、通信設(shè)備、顯示面板企業(yè)與國家重點實驗室，應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場景。目前，高精密環(huán)境控制設(shè)備已實現(xiàn)蕞高溫控精度±0.002℃，潔凈度十級以上。擁有結(jié)合全場景非標定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，比如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，抗微振、防磁、隔音等，持續(xù)領(lǐng)跑超高精密環(huán)控技術(shù)革新。當前半導體行業(yè)處于快速發(fā)展與技術(shù)迭代的關(guān)鍵期，本土供應(yīng)鏈的完善與升級至關(guān)重要。極測（南京）技術(shù)此次業(yè)績表現(xiàn)，不僅標志著公司在市場拓展與業(yè)務(wù)運營上實現(xiàn)突破，展現(xiàn)出強勁的增長態(tài)勢，更體現(xiàn)了其在半導體精密環(huán)控領(lǐng)域的核心競爭力持續(xù)提升，為后續(xù)發(fā)展奠定了堅實基礎(chǔ)。適用于醫(yī)療設(shè)備生產(chǎn)中的冷卻需求，如激光醫(yī)療設(shè)備、低溫生物樣本儲存等，同時低噪設(shè)計可滿足醫(yī)院環(huán)境要求。

高精密環(huán)境控制設(shè)備是一款自主研發(fā)的精密環(huán)境控制產(chǎn)品，主要由設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成，為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設(shè)備提供招高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設(shè)備內(nèi)部通過風機引導氣流以一定的方向循環(huán)，控制系統(tǒng)對循環(huán)氣流的每個環(huán)節(jié)進行處理，從而使柜內(nèi)的溫濕度達到超高的控制精度。溫度穩(wěn)定性蕞高可達±0.002°C，濕度穩(wěn)定性蕞高可達±0.3%RH，潔凈等級蕞高可實現(xiàn) ISO class 1級。靈活部署：采用可拆卸鋁合金框架結(jié)構(gòu)，大型設(shè)備現(xiàn)場輕松組裝，大幅節(jié)省安裝成本和時間。精密制造精密溫控穩(wěn)定性

極測（南京）專注于研發(fā)、生產(chǎn)和銷售高端定制化精密環(huán)控系統(tǒng)，目前已擁有結(jié)合全場景非標定制能力。計量精密溫控艙

極測（南京）微環(huán)境控制系統(tǒng)設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達 ±0.5%@8h，有效防止因濕度變化引發(fā)的光學元件發(fā)霉、機械部件生銹等問題，延長立式干涉儀使用壽命。同時，系統(tǒng)可實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，蕞高優(yōu)于 ISO class3（設(shè)備工作區(qū)），避免灰塵等污染物影響光線傳播與干涉條紋，為干涉儀營造超凈工作空間。 智能功能助力運維極測微環(huán)境控制系統(tǒng)具備強大的數(shù)據(jù)實時記錄查詢功能。運行中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動生成曲線，便于操作人員直觀掌握環(huán)境變化。微環(huán)境控制系統(tǒng)數(shù)據(jù)自動保存且可隨時導出，運行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄，方便進行數(shù)據(jù)分析、質(zhì)量追溯與故障排查。此外，自動安全保護系統(tǒng)可實現(xiàn)故障自動保護，確保設(shè)備全天候穩(wěn)定運行，減少因故障導致的測量中斷。計量精密溫控艙