青海精密溫控室

極測的精密溫控箱罩專為滿足三坐標測量儀等精密設備的嚴苛環(huán)境需求而設計。其具備的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，猶如為三坐標測量儀構(gòu)建了一個恒溫 “堡壘”。精密溫控箱罩運用自主研發(fā)的高精密控溫技術，確保精密溫控箱罩內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關鍵區(qū)域可達 +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。保證測量儀在長時間運行過程中始終保持穩(wěn)定的測量精度，實現(xiàn)0.1% 的控制輸出精度。除了溫度控制，精密溫控箱罩在濕度和潔凈度方面同樣表現(xiàn)。精密溫控箱罩內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達 ±0.5%@8h，避免了因濕度問題導致的測量儀零部件生銹、電子元件短路等故障，延長了設備使用壽命。同時，該系統(tǒng)可實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，內(nèi)部潔凈度蕞高可優(yōu)于 ISO class3（設備工作區(qū)），有效防止灰塵等微小顆粒附著在測量儀的光學部件或被測工件表面，避免對測量精度造成干擾。系統(tǒng)由設備主柜體、潔凈過濾系統(tǒng)、局部氣浴、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、制冷(熱)系統(tǒng)等組成。青海精密溫控室

在中國，隨著制造業(yè)的快速發(fā)展和產(chǎn)業(yè)升級，半導體、航空航天、生物醫(yī)藥等領域?qū)Ω呔墉h(huán)境控制設備的需求急劇增長。據(jù)市場研究機構(gòu)QYResearch預測，全球高精密環(huán)境控制設備市場規(guī)模預計在未來五年內(nèi)將以年均超過8%的復合增長率增長，到2028年將達到數(shù)十億美元規(guī)模。在半導體領域，隨著工藝向更高精度邁進，2nm工藝要求溫度控制精度從±0.1℃提升至±2mK，全球晶圓廠每年在溫度控制設備上的投入超過50億美元；光電光學領域，高duan光學顯微鏡、量子光學實驗等對溫度控制精度要求極高；量子計算領域，量子比特對溫度極為敏感，高精密環(huán)控艙是必需設備，未來5年需求可能呈指數(shù)級增長。同時，各國產(chǎn)業(yè)政策也推動了高精密環(huán)境控制設備市場的發(fā)展。美國《芯片與科學法案》、歐盟“歐洲量子旗艦計劃”、中國《十四五集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》等政策的出臺，為行業(yè)發(fā)展提供了良好的政策環(huán)境和資金支持。
極測（南京）精密溫控場景極測（南京）深憑借在微環(huán)境控制領域的深厚技術積累，為高duan半導體量測設備設計精密環(huán)控系統(tǒng)。

在高duan制造業(yè)的關鍵地帶，納米級芯片、微米級航空葉片、亞波長光學元件的精密制造，對生產(chǎn)環(huán)境提出了前所未有的嚴苛要求。其中，精密溫控扮演著決定性角色——一絲微小的溫度波動，都可能成為制約良率與性能的關鍵瓶頸。作為環(huán)境控制領域的關鍵要素，精密溫控設備已從幕后走向前臺，成為前列制造不可或缺的“精密制造基座”。南京拓展科技旗下企業(yè)極測（南京）技術有限公司，憑借二十六載在實驗室環(huán)境控制領域的技術積淀，推出顛覆行業(yè)的精密環(huán)控柜系列產(chǎn)品。其高達±0.002℃ 的溫控精度與ISO Class 3級潔凈度（每立方米≥0.1μm顆粒數(shù)≤1，000個），為半導體制造、航空航天、生物醫(yī)藥等戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)筑起了堅實的“科技堡壘”。

毫開爾文級控制：精密溫控設備采用閉環(huán)氣流循環(huán)系統(tǒng)，通過EC風機驅(qū)動氣流以精密算法規(guī)劃的路徑均勻覆蓋設備內(nèi)部，實現(xiàn)關鍵區(qū)域溫度波動控制在±2mK（靜態(tài)），溫度均勻性<16mK/m

動態(tài)響應機制：自主研發(fā)的高精密控溫技術實現(xiàn)0.1%的控制輸出精度，精密溫控設備對外界環(huán)境變化實現(xiàn)毫秒級響應

潔凈度標準：讓塵埃無處遁形超越傳統(tǒng)的潔凈標準：精密溫控設備通過多層高效粒子過濾器與動態(tài)氣流管理，工作區(qū)潔凈度達ISOClass3標準及以上，遠超傳統(tǒng)實驗室的ISOClass5標準

微粒攔截：精密溫控設備可攔截直徑0.3μm的塵埃顆粒，杜絕因微粒污染導致的集成電路短路或光學傳感器失效智能生態(tài)：看得見的穩(wěn)定，可追溯的精zhun

環(huán)境“心電圖”：精密溫控設備智能監(jiān)控系統(tǒng)自動生成帶時間戳的溫濕度曲線報告，支持一鍵導出，滿足ISO17025等國際標準對數(shù)據(jù)完整性的要求

靜音護航：精密溫控設備采用EC風機與高效隔音材質(zhì)，運行噪音<45dB，營造舒適工作環(huán)境

靈活架構(gòu)：按需定制的環(huán)境解決方案模塊化設計：精密溫控設備采用可拆卸鋁合金框架結(jié)構(gòu)，支持大型設備現(xiàn)場組裝，突破空間限制

按需定制：從溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度等級到抗微振、防磁、隔音性能，提供全場景非標定制服務 此外，晶圓在高溫環(huán)境下可能會因為熱膨脹而發(fā)生變形，影響成品率。

高精密環(huán)境控制設備是一款自主研發(fā)的精密環(huán)境控制產(chǎn)品，主要由設備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成，為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設備提供招高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設備內(nèi)部通過風機引導氣流以一定的方向循環(huán)，控制系統(tǒng)對循環(huán)氣流的每個環(huán)節(jié)進行處理，從而使柜內(nèi)的溫濕度達到超高的控制精度。溫度穩(wěn)定性蕞高可達±0.002°C，濕度穩(wěn)定性蕞高可達±0.3%RH，潔凈等級蕞高可實現(xiàn) ISO class 1級。智能閉環(huán)監(jiān)控：內(nèi)置自動安全保護系統(tǒng)，異常情況即時響應，故障自動處理機制確保設備 7x24 小時無憂運行。極測（南京）精密溫控場景

極測精密溫控設備已成為半導體企業(yè)、典型通信設備商、顯示面板前列品牌及眾多重量級實驗室的合作伙伴。青海精密溫控室

極測在溫度控制方面蕞高可實現(xiàn)令人驚嘆的 ±0.002℃溫度控制精度。這一精度意味著，在整個晶圓操作過程中，環(huán)境溫度幾乎保持絕dui穩(wěn)定，溫度水平均勻性小于 16mK/m，幾乎消除了因溫度變化對晶圓產(chǎn)生的熱應力和尺寸誤差。在潔凈度方面，精密恒溫潔凈棚通過空氣過濾系統(tǒng)和氣流組織設計，實現(xiàn)了蕞高優(yōu)于 ISO class1 的潔凈度等級，遠超普通潔凈室的標準。 除了高精度的溫度和潔凈度控制，極測精密恒溫潔凈棚還具備全場景非標定制能力。根據(jù)不同客戶的需求和晶圓操作工藝的特點，可以靈活調(diào)整溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，以及抗微振、防磁、隔音等個性化參數(shù)。無論是高duan芯片制造企業(yè)，還是科研機構(gòu)的晶圓研發(fā)項目，都能在這里找到蕞適合的環(huán)境解決方案。精密恒溫潔凈棚現(xiàn)已服務多家芯片半導體前列企業(yè)與國家重點實驗室。青海精密溫控室