0.02精密溫控方案

控制精度是衡量精密環(huán)控設(shè)備的關(guān)鍵指標(biāo)，通常以溫度和濕度的偏差值表示，如 ±0.1℃和 ±1% RH，偏差值越小，精密環(huán)控設(shè)備的控制能力越強。極測（南京）技術(shù)有限公司的精密環(huán)控設(shè)備運用自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，能達(dá)到 0.1% 的控制輸出精度。同時，精密環(huán)控設(shè)備內(nèi)部的溫濕度均勻性也很重要，能確保各個位置的物品處于相同環(huán)境條件；而且在長時間運行中，精密環(huán)控設(shè)備的溫濕度控制需保持穩(wěn)定，波動范圍越小越好，像極測的設(shè)備內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。  極測（南京）技術(shù)有限公司，作為成熟的高精密環(huán)境控制設(shè)備制造商，專注于高精密事業(yè)創(chuàng)新與發(fā)展。0.02精密溫控方案

通過查閱資料、咨詢專業(yè)人士或參考其他用戶評價，了解精密環(huán)控設(shè)備供應(yīng)商的信譽和口碑。極測（南京）技術(shù)有限公司已在眾多相關(guān)領(lǐng)域成功應(yīng)用其產(chǎn)品，為客戶提供了穩(wěn)定可靠的研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境，贏得了贊譽。同時，要清楚精密環(huán)控設(shè)備供應(yīng)商的售后服務(wù)政策，包括保修期限、售后響應(yīng)時間等，良好的售后能在設(shè)備出現(xiàn)故障時及時維修，減少停機時間。極測在售后方面也有相應(yīng)的保障措施，為客戶解決后顧之憂。如需了解，歡迎瀏覽極測（南京）技術(shù)有限公司官網(wǎng)了解。廣東精密溫控設(shè)計精密測量要求環(huán)境高度潔凈，以防止微粒、塵埃和顆粒物影響測量精度。可以使用HEPA過濾器、潔凈工作臺等。

在半導(dǎo)體制造、精密光學(xué)檢測等領(lǐng)域，環(huán)境參數(shù)的微小偏差都可能導(dǎo)致產(chǎn)品性能大幅下降。想要實現(xiàn)波動 ±0.005℃的精密溫度控制與 ISO Class 3 的潔凈度，需要突破傳統(tǒng)環(huán)境控制的技術(shù)瓶頸。 南京拓展科技旗下企業(yè)，極測（南京）作為專業(yè)的精密溫控設(shè)備供應(yīng)商，其對環(huán)境溫度控制精度可達(dá) ±0.002℃，潔凈度可達(dá)一級（優(yōu)于ISO class1），這一數(shù)據(jù)在行業(yè)內(nèi)處于前列水平。為精密制造和精密儀器的運行提供了可靠的環(huán)境保障。精密溫控設(shè)備現(xiàn)已服務(wù)多家芯片半導(dǎo)體令頁軍企業(yè)，以及國家重點實驗室。精密溫控通過以下方式根據(jù)用戶的不同需求進(jìn)行設(shè)備的非標(biāo)定制。

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，每一納米的變化都可能直接影響芯片的性能與良率。作為高精度檢測的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，半導(dǎo)體量測設(shè)備（如電子顯微鏡、膜厚測量儀、OCD量測等）自身對運行環(huán)境的要求也極為苛刻。環(huán)境的細(xì)微波動，都會引入測量誤差。 除整體環(huán)境外，半導(dǎo)體量測設(shè)備通常配備高精度光學(xué)成像器件（廣義上的“照相機”），其中光源，電子控制單元，運動部件等都有可能產(chǎn)生局部發(fā)熱源，蕞終影響環(huán)境的穩(wěn)定性，以及晶圓表面溫度穩(wěn)定性。極測（南京）技術(shù)有限公司深刻理解這一需求，憑借在微環(huán)境控制領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累，專為高duan半導(dǎo)體量測設(shè)備設(shè)計精密環(huán)控系統(tǒng)，做好設(shè)備配套。系統(tǒng)由設(shè)備主柜體（設(shè)備維護(hù)結(jié)構(gòu)模塊）、潔凈過濾系統(tǒng)、局部氣浴、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、制冷(熱)系統(tǒng)等組成。通過整體環(huán)境溫度的精密調(diào)控，以及針對局部發(fā)熱點進(jìn)行局部氣浴，配套控制潔凈度及減振處理等，為半導(dǎo)體檢測設(shè)備打造精密穩(wěn)定，恒溫潔凈的運行環(huán)境。系統(tǒng)由設(shè)備主柜體、潔凈過濾系統(tǒng)、局部氣浴、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、制冷(熱)系統(tǒng)等組成。

極測（南京）技術(shù)有限公司采用相對濕度由外環(huán)境保證，大環(huán)境控制空氣中的絕dui含濕量保持穩(wěn)定，以實現(xiàn)環(huán)境倉內(nèi)部濕度穩(wěn)定性。其超精密環(huán)控艙內(nèi)部構(gòu)造先進(jìn)，包括分區(qū)送風(fēng)靜壓腔、分區(qū)回風(fēng)流道、毫 K 級測溫采集模組 + 1/10Bpt100 矩陣式分布、中低頻吸 / 阻靜音設(shè)計方案等。自研高精密溫控技術(shù)，冷凍水的出水溫度蕞高精度可達(dá) ±0.002℃。
在溫度控制方面，采用大風(fēng)量小溫差的設(shè)計思想，通過快速循環(huán)空氣過濾并帶走熱量，使溫度波動處于極低數(shù)值，關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) ±0.002℃。同時采用多級控溫，將溫度精度逐步提升。針對光路部分設(shè)計密閉防護(hù)罩，表面開孔可有效降低發(fā)熱區(qū)域溫度，控制風(fēng)速。對于局部發(fā)熱區(qū)域，采用局部氣浴進(jìn)行溫度控制，確保該區(qū)域溫度在一定范圍內(nèi)，且 30s 內(nèi)的溫度變化率不超過 0.03℃。
精密環(huán)控系統(tǒng)安裝后，精度顯著提高。溫度穩(wěn)定性從 ±2℃提升至 ±0.004℃，濕度穩(wěn)定性從 ±10% RH 提升至 ±0.8% RH，潔凈度從 100 級提升至 10 級，噪音值從 70dB 降低至 55dB，測量誤差從 400 降低至 4。
潔凈室內(nèi)的溫度波動可能會導(dǎo)致晶圓材料的物理性質(zhì)發(fā)生變化，影響生產(chǎn)精度。半導(dǎo)體精密溫控柜

靈活部署：采用可拆卸鋁合金框架結(jié)構(gòu)，大型設(shè)備現(xiàn)場輕松組裝，大幅節(jié)省安裝成本和時間。0.02精密溫控方案

光刻機是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵設(shè)備，其功能是通過光學(xué)投影方式，將掩模版上的集成電路圖形精確轉(zhuǎn)移到涂有光刻膠的晶圓表面，實現(xiàn)電路圖形的圖形化轉(zhuǎn)移工序。在芯片制造流程中，光刻環(huán)節(jié)是蕞為復(fù)雜且成本高昂的工藝步驟，其成本占晶圓制造總成本的三分之一，耗時占比達(dá)到 40%-60%，直接決定了芯片的制程精度與生產(chǎn)良率。其關(guān)鍵原理是利用高能激光作為光源，光束穿透掩模版后，經(jīng)過聚光鏡系統(tǒng)進(jìn)行 1/16 比例的縮小，隨后精zhun聚焦于晶圓表面，使光刻膠發(fā)生感光反應(yīng)，從而完成電路圖形的高精度復(fù)制。相當(dāng)于在頭發(fā)絲上刻出一座城市的地圖，其復(fù)雜程度和技術(shù)挑戰(zhàn)可想而知，也對運行使用環(huán)境有極高的要求。0.02精密溫控方案