四川高精密溫控

極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司的精密水冷冷凍水機(jī)組融合多項(xiàng)專(zhuān)li技術(shù)，打造超精密溫控關(guān)鍵能力：高精密控溫技術(shù)：動(dòng)態(tài)平衡的 “神經(jīng)中樞”機(jī)組搭載自主研發(fā)高精度溫度采集模塊，實(shí)時(shí)捕捉供水溫度數(shù)據(jù)并傳輸至控制器，通過(guò)冷凍水閥無(wú)級(jí)調(diào)節(jié)與電加熱器協(xié)同工作，結(jié)合PID 算法及逐級(jí)控溫專(zhuān)li技術(shù)實(shí)現(xiàn)溫度偏差的精zhun計(jì)算與動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)。例如，在半導(dǎo)體極紫外光刻工藝中，該技術(shù)可將精密水冷冷凍水機(jī)組的出水溫度波動(dòng)控制在±0.001℃，滿(mǎn)足納米級(jí)制造對(duì)溫度穩(wěn)定性的嚴(yán)苛要求。極測(cè)（南京）高精密環(huán)境控制設(shè)備已實(shí)現(xiàn)蕞高溫控精度±0.002℃，潔凈度十級(jí)以上。四川高精密溫控

極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司的精密水冷冷凍水機(jī)組憑借毫 K 級(jí)控溫精度（±0.001℃）、快速響應(yīng)能力及高穩(wěn)定性設(shè)計(jì)，成為半導(dǎo)體制造中蝕刻與沉積設(shè)備、晶圓制造、芯片測(cè)試等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的標(biāo)配溫控設(shè)備。本文結(jié)合半導(dǎo)體工藝對(duì)溫度的嚴(yán)苛需求，解析該機(jī)組如何通過(guò)專(zhuān)li技術(shù)實(shí)現(xiàn)全流程溫度精zhun控制，助力提升芯片良率與生產(chǎn)效率，為半導(dǎo)體行業(yè)用戶(hù)提供溫控設(shè)備選型與應(yīng)用參考。
在半導(dǎo)體制造向 3nm 甚至更小制程突破的today，精密水冷冷凍水機(jī)組已從 “輔助設(shè)備” 升級(jí)為 “關(guān)鍵工藝設(shè)備”。極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司的產(chǎn)品憑借毫 K 級(jí)控溫、全流程適配及高可靠性，正在助力國(guó)內(nèi)晶圓廠、封測(cè)廠及研發(fā)機(jī)構(gòu)攻克溫度敏感型工藝難題。對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)而言，選擇一款能夠精zhun匹配蝕刻、沉積、晶圓生長(zhǎng)、芯片測(cè)試等全場(chǎng)景需求的溫控設(shè)備，不僅是提升良率的關(guān)鍵，更是在全球半導(dǎo)體競(jìng)爭(zhēng)中構(gòu)建技術(shù)壁壘的重要一環(huán)。
重慶拓展科技精密溫控極測(cè)（南京）冷水機(jī)組冷凍水的出水溫度蕞高精度可達(dá)±0.002℃，配置過(guò)載保護(hù)、液位監(jiān)測(cè)、漏液檢測(cè)等功能。

極測(cè)（南京）高精密水冷冷凍水機(jī)組的 “數(shù)字引擎”P(pán)T100 溫度傳感器與PID 控制算法形成基礎(chǔ)控溫鏈路，控溫精度達(dá) ±0.1℃~±0.01℃；高精密逐級(jí)控溫專(zhuān)利設(shè)計(jì)（如分級(jí)制冷回路）進(jìn)一步細(xì)化控制層級(jí)，部分機(jī)型引入自適應(yīng)模糊控制算法，在激光加工、醫(yī)療設(shè)備等復(fù)雜場(chǎng)景中，將精密水冷冷凍水機(jī)組的控溫精度提升至±0.001℃（毫 K 級(jí)）。
精密水冷冷凍水機(jī)組采用板式換熱器，其微通道結(jié)構(gòu)與波紋板片設(shè)計(jì)使傳熱系數(shù)提升 20%~40%，同時(shí)具備體積緊湊、易維護(hù)等優(yōu)勢(shì)；不銹鋼 / 銅材質(zhì)增強(qiáng)耐腐蝕性，適配半導(dǎo)體、醫(yī)療等行業(yè)對(duì)水質(zhì)與潔凈度的高要求；環(huán)保冷媒 R410A 的應(yīng)用，更契合全球綠色制造趨勢(shì)。

若需要對(duì)溫濕度數(shù)據(jù)進(jìn)行長(zhǎng)期監(jiān)測(cè)和分析，選擇具有數(shù)據(jù)記錄與存儲(chǔ)功能的精密環(huán)控設(shè)備很有必要，部分設(shè)備還可通過(guò) USB、以太網(wǎng)等接口將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)或云端。極測(cè)精密溫控設(shè)備具備強(qiáng)大的數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢(xún)功能，實(shí)驗(yàn)過(guò)程中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動(dòng)生成曲線(xiàn)，數(shù)據(jù)自動(dòng)保存并支持隨時(shí)以表格形式導(dǎo)出，設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)、故障狀態(tài)等信息也同步記錄，方便人員進(jìn)行全mian的數(shù)據(jù)追溯和深入分析。遠(yuǎn)程監(jiān)控與報(bào)警功能也很實(shí)用，通過(guò)手機(jī)、電腦等設(shè)備可隨時(shí)隨地監(jiān)控精密環(huán)控設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)，當(dāng)溫濕度超出設(shè)定范圍或設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí)，報(bào)警功能能及時(shí)通知用戶(hù)，便于及時(shí)處理。極測(cè)的設(shè)備一旦出現(xiàn)故障，實(shí)時(shí)聲光報(bào)警提醒并支持遠(yuǎn)程協(xié)助故障處理，蕞大程度減少設(shè)備故障對(duì)科研進(jìn)度或生產(chǎn)的影響。潔凈室內(nèi)需配置無(wú)塵空氣過(guò)濾與流通系統(tǒng)，保證氣流分布合理，無(wú)死角，使?jié)崈艨諝獬浞值竭_(dá)每個(gè)角落。

這款高精密環(huán)控柜是我司單獨(dú)研發(fā)的精密環(huán)境控制設(shè)備，可達(dá)成ISOClass1-6級(jí)潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等多級(jí)溫度波動(dòng)控制精度。依托全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，能滿(mǎn)足用戶(hù)在溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等多方面的個(gè)性化需求。設(shè)備具備運(yùn)行數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄與查詢(xún)功能，并配備自動(dòng)安全防護(hù)系統(tǒng)，確保長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。其構(gòu)成包括主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過(guò)濾器、制冷（熱）系統(tǒng)、照明系統(tǒng)及局部氣浴等，專(zhuān)為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測(cè)量與制造設(shè)備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。該系統(tǒng)采用“外環(huán)境保障相對(duì)濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量”的邏輯，通過(guò)精zhun控溫實(shí)現(xiàn)倉(cāng)內(nèi)濕度達(dá)標(biāo)。為滿(mǎn)足嚴(yán)苛要求，采用大風(fēng)量小溫差設(shè)計(jì)，快速循環(huán)過(guò)濾空氣并帶走余熱，使關(guān)鍵區(qū)域溫度波動(dòng)低至±0.002℃；同時(shí)通過(guò)多級(jí)控溫（表冷盤(pán)降溫+多級(jí)電加熱升溫），將精度從±0.1℃逐步提升至±0.002℃。極測(cè)（南京）高精密環(huán)境控制設(shè)備確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性，滿(mǎn)足光刻機(jī)、加速器等設(shè)備的恒溫需求。防磁精密溫控平臺(tái)

精密測(cè)量要求環(huán)境高度潔凈，以防止微粒、塵埃和顆粒物影響測(cè)量精度。可以使用HEPA過(guò)濾器、潔凈工作臺(tái)等。四川高精密溫控

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中，溫度波動(dòng)是導(dǎo)致芯片缺陷的關(guān)鍵因素之一：

蝕刻與沉積環(huán)節(jié)：極紫外（EUV）光刻、等離子蝕刻等工藝需將溫度波動(dòng)控制在±0.01℃以?xún)?nèi)，若溫度漂移超過(guò)閾值，可能導(dǎo)致刻蝕深度不均、薄膜應(yīng)力開(kāi)裂等問(wèn)題；

晶圓生長(zhǎng)與加工：硅單晶生長(zhǎng)過(guò)程中，溫度梯度變化會(huì)引起晶格缺陷，影響晶圓電學(xué)性能；

芯片測(cè)試環(huán)節(jié)：環(huán)境溫度波動(dòng)可能導(dǎo)致測(cè)試儀器誤差增大，造成芯片分選誤判。極測(cè)精密水冷冷凍水機(jī)組以±0.001℃控溫精度（遠(yuǎn)超行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）及動(dòng)態(tài)負(fù)載適應(yīng)能力，精zhun解決上述痛點(diǎn)，成為半導(dǎo)體工藝的“溫度守護(hù)者”。 四川高精密溫控