青海光學(xué)檢測(cè)精密溫控

干涉儀對(duì)精密微環(huán)境的嚴(yán)苛需求：干涉儀的納米級(jí)測(cè)量精度極易受環(huán)境干擾。其基于光的干涉原理工作，通過(guò)測(cè)量干涉條紋變化精確測(cè)定物體長(zhǎng)度、角度、表面平整度等參數(shù)，精度可達(dá)納米級(jí)別。溫度波動(dòng)引致光學(xué)元件熱變形，改變光路并偏移干涉條紋；塵埃與濕度波動(dòng)則加速設(shè)備損耗，干涉儀精密微環(huán)境的穩(wěn)定性直接決定測(cè)量成敗。前列的精密溫控能力：干涉儀微環(huán)境穩(wěn)定關(guān)鍵極測(cè)精密溫控技術(shù)可實(shí)現(xiàn)內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。這一精度確保了在立式干涉儀運(yùn)行時(shí)，光學(xué)元件與機(jī)械結(jié)構(gòu)不受溫度波動(dòng)干擾，始終維持在蕞佳工作狀態(tài)，為精Zhun測(cè)量提供穩(wěn)定基礎(chǔ)。百級(jí)潔凈+濕度協(xié)同打造干涉儀長(zhǎng)效微環(huán)境系統(tǒng)通過(guò)極測(cè)精密微環(huán)境控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)濕度控制與百級(jí)以上潔凈，同步解決光學(xué)件霉變、金屬銹蝕及塵埃光路干擾問(wèn)題，為干涉儀構(gòu)建多參數(shù)協(xié)同精密微環(huán)境。智能精密溫控：干涉儀微環(huán)境運(yùn)維閉環(huán)實(shí)時(shí)監(jiān)控干涉儀微環(huán)境溫濕度等數(shù)據(jù)，自動(dòng)生成運(yùn)行趨勢(shì)曲線，支持故障追溯與質(zhì)量分析。智能防護(hù)模塊保障精密溫控設(shè)備24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行，避免測(cè)量中斷。極測(cè)（南京）高精密環(huán)控設(shè)備用于芯片加工、元器件組裝等場(chǎng)景，避免熱應(yīng)力對(duì)精密元件的影響，提升良品率。青海光學(xué)檢測(cè)精密溫控

光刻機(jī)是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵設(shè)備，其功能是通過(guò)光學(xué)投影方式，將掩模版上的集成電路圖形精確轉(zhuǎn)移到涂有光刻膠的晶圓表面，實(shí)現(xiàn)電路圖形的圖形化轉(zhuǎn)移工序。在芯片制造流程中，光刻環(huán)節(jié)是蕞為復(fù)雜且成本高昂的工藝步驟，其成本占晶圓制造總成本的三分之一，耗時(shí)占比達(dá)到 40%-60%，直接決定了芯片的制程精度與生產(chǎn)良率。其關(guān)鍵原理是利用高能激光作為光源，光束穿透掩模版后，經(jīng)過(guò)聚光鏡系統(tǒng)進(jìn)行 1/16 比例的縮小，隨后精zhun聚焦于晶圓表面，使光刻膠發(fā)生感光反應(yīng)，從而完成電路圖形的高精度復(fù)制。相當(dāng)于在頭發(fā)絲上刻出一座城市的地圖，其復(fù)雜程度和技術(shù)挑戰(zhàn)可想而知，也對(duì)運(yùn)行使用環(huán)境有極高的要求。抗微振精密溫控箱極測(cè)（南京）致力于為全球企業(yè)提供定制化的環(huán)境控制解決方案，以嚴(yán)格的溫濕度與潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。

極測(cè)（南京）微環(huán)境控制系統(tǒng)設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h，有效防止因濕度變化引發(fā)的光學(xué)元件發(fā)霉、機(jī)械部件生銹等問(wèn)題，延長(zhǎng)立式干涉儀使用壽命。同時(shí)，系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制，蕞高優(yōu)于 ISO class3（設(shè)備工作區(qū)），避免灰塵等污染物影響光線傳播與干涉條紋，為干涉儀營(yíng)造超凈工作空間。 智能功能助力運(yùn)維極測(cè)微環(huán)境控制系統(tǒng)具備強(qiáng)大的數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢(xún)功能。運(yùn)行中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動(dòng)生成曲線，便于操作人員直觀掌握環(huán)境變化。微環(huán)境控制系統(tǒng)數(shù)據(jù)自動(dòng)保存且可隨時(shí)導(dǎo)出，運(yùn)行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄，方便進(jìn)行數(shù)據(jù)分析、質(zhì)量追溯與故障排查。此外，自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)故障自動(dòng)保護(hù)，確保設(shè)備全天候穩(wěn)定運(yùn)行，減少因故障導(dǎo)致的測(cè)量中斷。

極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在實(shí)驗(yàn)室專(zhuān)業(yè)領(lǐng)域的沉淀，尤其是暖通及自控方面的專(zhuān)長(zhǎng)，同時(shí)匯聚了30多名擁有15年以上經(jīng)驗(yàn)的行業(yè)前列工程師，致力于為芯片半導(dǎo)體、精密光學(xué)、科研研發(fā)等領(lǐng)域提供定制化的高精密環(huán)境解決方案，現(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板企業(yè)與國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場(chǎng)景，科學(xué)技術(shù)成果認(rèn)定為國(guó)際先進(jìn)水平。目前，高精密環(huán)境控制設(shè)備已實(shí)現(xiàn)蕞高溫控精度±0.002℃，潔凈度十級(jí)以上。擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，可滿(mǎn)足用戶(hù)不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，持續(xù)領(lǐng)跑超高精密環(huán)控技術(shù)革新。極測(cè)（南京）擁有自己的工廠，能夠有效地將研發(fā)成果轉(zhuǎn)化為實(shí)際產(chǎn)品。

高精密環(huán)境控制設(shè)備是一款自主研發(fā)的精密環(huán)境控制產(chǎn)品，主要由設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過(guò)濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成，為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測(cè)量、精密制造設(shè)備提供招高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設(shè)備內(nèi)部通過(guò)風(fēng)機(jī)引導(dǎo)氣流以一定的方向循環(huán)，控制系統(tǒng)對(duì)循環(huán)氣流的每個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行處理，從而使柜內(nèi)的溫濕度達(dá)到超高的控制精度。溫度穩(wěn)定性蕞高可達(dá)±0.002°C，濕度穩(wěn)定性蕞高可達(dá)±0.3%RH，潔凈等級(jí)蕞高可實(shí)現(xiàn) ISO class 1級(jí)。極測(cè)（南京）高精密環(huán)境控制設(shè)備已實(shí)現(xiàn)蕞高溫控精度±0.002℃，潔凈度十級(jí)以上。高精密溫控室

潔凈室內(nèi)的溫度波動(dòng)可能會(huì)導(dǎo)致晶圓材料的物理性質(zhì)發(fā)生變化，影響生產(chǎn)精度。青海光學(xué)檢測(cè)精密溫控

在高duan制造業(yè)的關(guān)鍵地帶，納米級(jí)芯片、微米級(jí)航空葉片、亞波長(zhǎng)光學(xué)元件的精密制造，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境提出了前所未有的嚴(yán)苛要求。其中，精密溫控扮演著決定性角色——一絲微小的溫度波動(dòng)，都可能成為制約良率與性能的關(guān)鍵瓶頸。作為環(huán)境控制領(lǐng)域的關(guān)鍵要素，精密溫控設(shè)備已從幕后走向前臺(tái)，成為前列制造不可或缺的“精密制造基座”。南京拓展科技旗下企業(yè)極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司，憑借二十六載在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境控制領(lǐng)域的技術(shù)積淀，推出顛覆行業(yè)的精密環(huán)控柜系列產(chǎn)品。其高達(dá)±0.002℃ 的溫控精度與ISO Class 3級(jí)潔凈度（每立方米≥0.1μm顆粒數(shù)≤1，000個(gè)），為半導(dǎo)體制造、航空航天、生物醫(yī)藥等戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)筑起了堅(jiān)實(shí)的“科技堡壘”。青海光學(xué)檢測(cè)精密溫控