河南激光制造精密溫控

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-12-05

高精密環(huán)境控制設(shè)備是一款自主研發(fā)的精密環(huán)境控制產(chǎn)品,主要由設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成,為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測量、精密制造設(shè)備提供招高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設(shè)備內(nèi)部通過風(fēng)機(jī)引導(dǎo)氣流以一定的方向循環(huán),控制系統(tǒng)對(duì)循環(huán)氣流的每個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行處理,從而使柜內(nèi)的溫濕度達(dá)到超高的控制精度。溫度穩(wěn)定性蕞高可達(dá)±0.002°C,濕度穩(wěn)定性蕞高可達(dá)±0.3%RH,潔凈等級(jí)蕞高可實(shí)現(xiàn) ISO class 1級(jí)。極測(南京)高精密環(huán)境控制設(shè)備確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性,滿足光刻機(jī)、加速器等設(shè)備的恒溫需求。河南激光制造精密溫控

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在高精密實(shí)驗(yàn)中,環(huán)境波動(dòng)帶來的影響不容忽視。溫度波動(dòng)會(huì)導(dǎo)致實(shí)驗(yàn)區(qū)域內(nèi)溫度分布不均勻,影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和重復(fù)性;濕度變化會(huì)干擾生物實(shí)驗(yàn)、材料老化實(shí)驗(yàn)等的進(jìn)程;空氣擾動(dòng)會(huì)對(duì)微觀實(shí)驗(yàn)樣本造成物理性干擾,改變宏觀實(shí)驗(yàn)裝置或樣品的位置或姿態(tài);還會(huì)影響光學(xué)儀器、精密天平的精度,引入灰塵顆粒、有害氣體等雜質(zhì)和污染物。 而精密環(huán)控系統(tǒng)對(duì)空氣擾動(dòng)和漂移擾動(dòng)的抑制效果明顯。數(shù)據(jù)顯示,精密環(huán)控系統(tǒng)開啟后,0.05Hz、0.15Hz、1Hz 頻率點(diǎn)累計(jì)誤差幅值下降幅度分別降低 98.03%、86.07%、85.83%,漂移擾動(dòng)得到明顯抑制,波動(dòng)范圍下降約 50%、標(biāo)準(zhǔn)差減小 45%。同時(shí),溫度波動(dòng)對(duì)超快激光參數(shù)影響重大,當(dāng)環(huán)境溫度變化超過 0.8℃時(shí),脈寬會(huì)出現(xiàn)呼吸現(xiàn)象,影響超快激光器的性能,而溫度越穩(wěn)定激光的參數(shù)越好。上海恒溫恒濕精密溫控極測(南京)精密環(huán)控柜滿足用戶不同溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度,氣壓穩(wěn)定性、抗微振、防磁、隔音等個(gè)性化需求。

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極測方案:蕞高±0.002℃精密溫控,鑄就測量 “計(jì)量基準(zhǔn)”
極測專為干涉儀等高精密儀器研發(fā)的精密環(huán)境控制設(shè)備,其關(guān)鍵競爭力在于精密溫控技術(shù)的突破性表現(xiàn):

控溫精度:提供業(yè)界前列的 ±0.002℃高精密溫度控制能力,溫度水平均勻性嚴(yán)格控制在 <16mK/m 范圍內(nèi),確保測量過程的穩(wěn)定性和 0.1% 的控制輸出精度。

濕度與潔凈協(xié)同保障:設(shè)備同時(shí)實(shí)現(xiàn) ±0.5%@8h 的高濕度穩(wěn)定性,杜絕因濕度問題導(dǎo)致的零部件腐蝕和鏡片結(jié)霧風(fēng)險(xiǎn)。潔凈度控制可達(dá)百級(jí)以上,關(guān)鍵工作區(qū)蕞高優(yōu)于 ISO class3 標(biāo)準(zhǔn),嚴(yán)防塵埃顆粒干擾精密光路。
全方wei環(huán)境定制:極測具備強(qiáng)大的全場景非標(biāo)定制能力,不僅能滿足嚴(yán)苛的溫濕度穩(wěn)定性需求,還能根據(jù)用戶具體場景定制抗微振、防磁、隔音等綜合環(huán)境參數(shù),為干涉儀量身打造理想的工作空間。

若需要對(duì)溫濕度數(shù)據(jù)進(jìn)行長期監(jiān)測和分析,選擇具有數(shù)據(jù)記錄與存儲(chǔ)功能的精密環(huán)控設(shè)備很有必要,部分設(shè)備還可通過 USB、以太網(wǎng)等接口將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)或云端。極測精密溫控設(shè)備具備強(qiáng)大的數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢功能,實(shí)驗(yàn)過程中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動(dòng)生成曲線,數(shù)據(jù)自動(dòng)保存并支持隨時(shí)以表格形式導(dǎo)出,設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)、故障狀態(tài)等信息也同步記錄,方便人員進(jìn)行全mian的數(shù)據(jù)追溯和深入分析。遠(yuǎn)程監(jiān)控與報(bào)警功能也很實(shí)用,通過手機(jī)、電腦等設(shè)備可隨時(shí)隨地監(jiān)控精密環(huán)控設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài),當(dāng)溫濕度超出設(shè)定范圍或設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí),報(bào)警功能能及時(shí)通知用戶,便于及時(shí)處理。極測的設(shè)備一旦出現(xiàn)故障,實(shí)時(shí)聲光報(bào)警提醒并支持遠(yuǎn)程協(xié)助故障處理,蕞大程度減少設(shè)備故障對(duì)科研進(jìn)度或生產(chǎn)的影響。極測(南京)技術(shù)有限公司,作為成熟的高精密環(huán)境控制設(shè)備制造商,專注于高精密事業(yè)創(chuàng)新與發(fā)展。

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極測(南京)專注精密環(huán)境控制解決方案,現(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板企業(yè)與國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場景。目前,高精密環(huán)境控制設(shè)備已實(shí)現(xiàn)蕞高溫控精度±0.002℃,潔凈度十級(jí)以上。擁有結(jié)合全場景非標(biāo)定制能力,可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求,比如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度,抗微振、防磁、隔音等,持續(xù)領(lǐng)跑超高精密環(huán)控技術(shù)革新。當(dāng)前半導(dǎo)體行業(yè)處于快速發(fā)展與技術(shù)迭代的關(guān)鍵期,本土供應(yīng)鏈的完善與升級(jí)至關(guān)重要。極測(南京)技術(shù)此次業(yè)績表現(xiàn),不僅標(biāo)志著公司在市場拓展與業(yè)務(wù)運(yùn)營上實(shí)現(xiàn)突破,展現(xiàn)出強(qiáng)勁的增長態(tài)勢,更體現(xiàn)了其在半導(dǎo)體精密環(huán)控領(lǐng)域的核心競爭力持續(xù)提升,為后續(xù)發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。因此,光學(xué)儀器行業(yè)通常要求潔凈室或無塵室的潔凈度達(dá)到一定的標(biāo)準(zhǔn),如千級(jí)、萬級(jí)或十萬級(jí)凈化標(biāo)準(zhǔn)。天津精密溫控房

半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備精密且昂貴,因此應(yīng)采取相應(yīng)的抗振措施。例如,在設(shè)備底部設(shè)置減振支座或彈簧隔振器等。河南激光制造精密溫控

極測(南京)技術(shù)有限公司注重設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性。通過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測和優(yōu)化設(shè)計(jì),確保設(shè)備在長時(shí)間運(yùn)行過程中保持穩(wěn)定性能,減少故障發(fā)生的概率。同時(shí),極測還提供完善的售后服務(wù),及時(shí)響應(yīng)客戶的需求,為客戶解決設(shè)備使用過程中遇到的問題。 作為精密溫控設(shè)備供應(yīng)商,極測(南京)始終將守護(hù)半導(dǎo)體制造精度作為使命。憑借前列的技術(shù)、可靠的產(chǎn)品和高質(zhì)量的服務(wù),極測正在成為半導(dǎo)體制造企業(yè)信賴的合作伙伴,為推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)力量。河南激光制造精密溫控