電磁屏蔽精密溫控

在半導(dǎo)體制造、精密光學(xué)檢測等領(lǐng)域，環(huán)境參數(shù)的微小偏差都可能導(dǎo)致產(chǎn)品性能大幅下降。想要實現(xiàn)波動 ±0.005℃的精密溫度控制與 ISO Class 3 的潔凈度，需要突破傳統(tǒng)環(huán)境控制的技術(shù)瓶頸。 南京拓展科技旗下企業(yè)，極測（南京）作為專業(yè)的精密溫控設(shè)備供應(yīng)商，其對環(huán)境溫度控制精度可達 ±0.002℃，潔凈度可達一級（優(yōu)于ISO class1），這一數(shù)據(jù)在行業(yè)內(nèi)處于前列水平。為精密制造和精密儀器的運行提供了可靠的環(huán)境保障。精密溫控設(shè)備現(xiàn)已服務(wù)多家芯片半導(dǎo)體令頁軍企業(yè)，以及國家重點實驗室。精密溫控通過以下方式根據(jù)用戶的不同需求進行設(shè)備的非標定制。精密測量需要在恒溫條件下進行，因為各種工程材料都有熱膨脹性。標準測量溫度通常為20℃。電磁屏蔽精密溫控

半導(dǎo)體制造：光刻工藝的“守護神”在芯片光刻環(huán)節(jié)，溫度波動Jin0.1℃就足以導(dǎo)致光學(xué)元件熱變形，造成曝光位置漂移。極測精密溫控設(shè)備提供的±0.002℃恒溫環(huán)境，使光刻機光學(xué)系統(tǒng)保持穩(wěn)定，直接提升芯片良品率。在蝕刻工藝中，溫濕度波動可能引發(fā)刻蝕過度或不足。精密溫控設(shè)備提供的穩(wěn)定環(huán)境保障了刻蝕速率的均勻性，確保芯片電路完整性。航空航天：微米級精度的幕后功臣航空發(fā)動機渦輪葉片加工中，0.05℃的溫度波動可能導(dǎo)致機床熱變形，使葉片加工精度不達標。極測精密溫控設(shè)備維持的恒溫環(huán)境，保障了葉片曲面精度和表面質(zhì)量。在航空航天材料測試環(huán)節(jié)，設(shè)備將濕度波動精確控制在±2%RH內(nèi)，滿足極端嚴苛的測試要求。光學(xué)儀器：純凈與穩(wěn)定的雙重保障在光學(xué)鏡片研磨中，溫度波動會導(dǎo)致研磨盤與鏡片材料熱膨脹系數(shù)差異，影響鏡片曲率精度。恒溫環(huán)境確保研磨精度穩(wěn)定。同時，潔凈環(huán)境防止鏡片表面污染，避免后續(xù)鍍膜工序產(chǎn)生缺陷。新能源電池：水分與溫度的雙重管控在電極涂布工藝中，濕度變化會影響漿料水分含量，導(dǎo)致涂布不均勻。極測精密溫控設(shè)備提供的±0.5%RH濕度穩(wěn)定性，確保電極涂布一致性。在電池組裝環(huán)節(jié)，恒溫環(huán)境避免了不同材料熱脹冷縮差異導(dǎo)致的密封不良問題。極測（南京）精密溫控采購極測（南京）憑借其自主研發(fā)的精密環(huán)控系統(tǒng)，為鍵合設(shè)備提供了超穩(wěn)定的運行環(huán)境，成為突破工藝的關(guān)鍵支撐。

在實際應(yīng)用中，極測的溫控設(shè)備已經(jīng)在眾多半導(dǎo)體制造企業(yè)中發(fā)揮了重要作用。某有名芯片制造企業(yè)在引入極測的溫控設(shè)備后，光刻工藝的精度得到了明顯提升。由于溫度控制更加精zhun，芯片上的電路圖案更加清晰、準確，有效減少了因溫度問題導(dǎo)致的圖案偏差和缺陷，產(chǎn)品良率大幅提高。現(xiàn)已服務(wù)多家芯片半導(dǎo)體前列企業(yè)與國家重點實驗室。 同時極測（南京）具備全場景非標定制能力。可根據(jù)不同客戶的需求根據(jù)溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，以及抗微振、防磁、隔音等個性化參數(shù)，進行靈活定制。

高精密冷凍水機組是一種專為工業(yè)及特殊環(huán)境設(shè)計的制冷設(shè)備，通過精確的溫度控制和高效制冷循環(huán)，為高精度制造、數(shù)據(jù)中心、醫(yī)藥生產(chǎn)等領(lǐng)域提供穩(wěn)定可靠的冷卻解決方案。其關(guān)鍵特點在于高能效、低波動性及智能化控制，滿足嚴苛的溫控需求。極測（南京）技術(shù)有限公司采??研溫控技術(shù)，高精密冷凍水機組冷凍?的出?溫度蕞?精度可達±0.002℃。高精密冷凍水機組采用國際有名品牌壓縮機，配套高質(zhì)量高效能銅管制作的板式換熱器及有名品牌電氣元器件。使機組具有精度高、體積小、噪音低、壽命長、操作簡便、高效節(jié)能等優(yōu)點。高精密冷凍水機組采用自主研發(fā)高精度溫度采集模塊，準確測量實驗艙內(nèi)實時的溫濕度數(shù)值并傳輸給控制器，冷凍水閥無級調(diào)節(jié)、無級調(diào)節(jié)電加熱器、模擬量控制加濕器可根據(jù)實際實驗艙需求調(diào)節(jié)輸出功率。專為高精度恒溫恒濕控制設(shè)計的PID算法，在運行過程中進行比例、積分、微分的計算并輸出控制，使實驗室內(nèi)溫度濕度處于穩(wěn)定狀態(tài)，絕dui焓濕量的控制策略，使控制實驗艙內(nèi)濕度控制快速準確，沒有誤操作誤判斷。極測（南京）精密環(huán)控柜滿足用戶不同溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，氣壓穩(wěn)定性、抗微振、防磁、隔音等個性化需求。

作為南京拓展科技旗下專注于微環(huán)境控制技術(shù)的關(guān)鍵企業(yè)，極測（南京）技術(shù)有限公司打造的超精密儀器室，通過集成自主研發(fā)的高精密微環(huán)境控制系統(tǒng)，為光刻機、立式干涉儀等精密儀器構(gòu)建了溫度波動極小、潔凈度極高（潔凈恒溫）的理想工作環(huán)境，精密儀器室成為支撐高精度測量與科研生產(chǎn)的關(guān)鍵基礎(chǔ)設(shè)施。
納米級溫控，超高精度溫度波動極測運用自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，控制輸出精度達 0.1%，使得環(huán)境內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達 +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。實現(xiàn)±0.002℃，±0.005℃，±0.05℃，±0.01℃，±0.1℃等不同等級精度的溫度控制。為精密儀器打造高精密恒溫穩(wěn)定操作環(huán)境。 蕞高ISO class1級潔凈，打造無塵空間精密儀器室系統(tǒng)可實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，蕞高優(yōu)于 ISO class3（設(shè)備工作區(qū)），達到ISO class1，避免灰塵等污染物影響光線傳播。設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達 ±0.5%@8h，有效防止因濕度變化引發(fā)的光學(xué)元件發(fā)霉、機械部件生銹等問題，延長精密儀器使用壽命。 全場景非標定制，滿足多元化需求精密儀器室可根據(jù)用戶需求，滿足用戶不同的溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，以及抗微振、防磁、隔音等多樣化的個性要求，保證用戶的正常使用。
極測（南京）致力于為芯片半導(dǎo)體、電子信息、光學(xué)儀器、精密制造、新能源等行業(yè)提供高精密環(huán)境解決方案。電磁屏蔽精密溫控

晶圓需要經(jīng)歷一系列高精度的蝕刻、涂層、光刻等工藝，這些工藝都需要在特定的溫度范圍內(nèi)進行。電磁屏蔽精密溫控

高精密環(huán)控柜由我司自主研發(fā)，是一款精密環(huán)境控制產(chǎn)品，可實現(xiàn)ISOClass1-6級潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的溫度波動控制。擁有全場景非標定制能力，能針對用戶的個性化需求（如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等）提供解決方案。設(shè)備運行數(shù)據(jù)實時記錄查詢，且配備自動安全保護系統(tǒng)，確保長時間運行無憂。其構(gòu)成部分包括設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷（熱）系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等，主要為光刻機、激光干涉儀等精密測量與制造設(shè)備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。濕度控制采用 “外環(huán)境保證相對濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量” 的方式，通過精確控溫實現(xiàn)環(huán)境倉內(nèi)部濕度穩(wěn)定。為達成溫濕度及潔凈度要求，采用大風(fēng)量小溫差設(shè)計，通過空氣快速循環(huán)過濾帶走余熱，使溫度波動保持在極低數(shù)值（關(guān)鍵區(qū)域 ±0.002℃）；并通過多級控溫（先經(jīng)表冷盤降溫，再由多級電加熱逐步升溫），將溫度精度從 ±0.1℃升級至 ±0.002℃。電磁屏蔽精密溫控