北京羅茨真空泵在線選型

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-11-04

羅茨真空泵又稱機(jī)械增壓泵,屬旋轉(zhuǎn)式容積真空泵,**結(jié)構(gòu)包含泵殼與兩個(gè) 8 字型轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子平行安裝在一對(duì)軸上,通過(guò)傳動(dòng)比為 1 的同步齒輪驅(qū)動(dòng),實(shí)現(xiàn)等速反向旋轉(zhuǎn),且轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼間保持特定間隙不接觸,運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)摩擦損失小、功率消耗低,可高速運(yùn)轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子由泵殼兩側(cè)端蓋的滾動(dòng)軸承支承,借助可調(diào)同步齒輪確保高速旋轉(zhuǎn)時(shí)的相對(duì)位置,固定端特殊結(jié)構(gòu)保障轉(zhuǎn)子與端蓋的端面間隙,使泵受熱時(shí)*向齒輪箱一端膨脹。兩側(cè)端蓋內(nèi)的四組聚四氟乙烯活塞環(huán)密封裝置,能防止油箱潤(rùn)滑油進(jìn)入泵腔,出軸處的平衡式機(jī)械密封可避免大氣漏入。冷卻方式通常為風(fēng)冷,高壓力工況下推薦選用水冷結(jié)構(gòu),電動(dòng)機(jī)動(dòng)力經(jīng)聯(lián)軸器傳給主動(dòng)軸,再通過(guò)同步齒輪帶動(dòng)從動(dòng)軸旋轉(zhuǎn),ZJ 系列為臥式結(jié)構(gòu),多采用聯(lián)軸器與電機(jī)直聯(lián),特殊需求可選用三角帶傳動(dòng)。ZJP 型是 ZJ 型的派生產(chǎn)品,抽氣原理相同,但進(jìn)排氣口連通且通道上垂直安裝重力閥。當(dāng)進(jìn)排氣口壓力差與閥有效作用面積的乘積超閥頭自重時(shí),閥自動(dòng)開啟,此數(shù)值為泵可靠運(yùn)轉(zhuǎn)的比較高壓力差,使其具備過(guò)載自動(dòng)保護(hù)功能。理論上 ZJP 型可在大氣壓下與前級(jí)泵同步啟動(dòng),但系統(tǒng)容積大時(shí),旁通閥開啟時(shí)間長(zhǎng),有效抽速小,經(jīng)濟(jì)性差,建議前級(jí)泵抽到一定壓力后再啟動(dòng) ZJP 型。羅茨泵腔內(nèi)無(wú)需用油密封潤(rùn)滑,減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染,適配食品、醫(yī)藥等對(duì)潔凈度要求高的行業(yè)。北京羅茨真空泵在線選型

北京羅茨真空泵在線選型,羅茨真空泵

某半導(dǎo)體芯片制造企業(yè)為提升封裝測(cè)試環(huán)節(jié)的真空穩(wěn)定性,引入羅茨真空泵機(jī)組。該機(jī)組由羅茨泵與高真空前級(jí)泵組成,針對(duì)芯片封裝對(duì)潔凈度的要求,采用無(wú)油潤(rùn)滑結(jié)構(gòu)避免油污染,通過(guò)智能變頻系統(tǒng)實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)抽速,使真空度波動(dòng)控制在 ±0.1Pa 以內(nèi)。設(shè)備運(yùn)行后,封裝良率提升 3%,工藝周期縮短 15%,滿足了高密度芯片的生產(chǎn)需求。某大型化工企業(yè)在真空蒸餾生產(chǎn)線改造中,選用耐腐蝕材質(zhì)的羅茨真空泵。原設(shè)備因不耐腐蝕導(dǎo)致頻繁故障,新設(shè)備采用不銹鋼泵體與碳化硅密封環(huán),耐溫可達(dá) 600℃,壽命延長(zhǎng) 5 倍。搭配冷卻系統(tǒng)后,可處理含氯腐蝕性氣體,抽速穩(wěn)定在 500m3/h,蒸餾產(chǎn)品純度從 98% 提升至 99.5%,設(shè)備故障率下降 80%。淄博螺桿羅茨真空泵維修羅茨泵多為臥式,兩轉(zhuǎn)子靠高精度齒輪同步旋轉(zhuǎn),設(shè)旁路溢流閥防誤操作。

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精密陶瓷(如氧化鋁、氮化硅陶瓷)的燒結(jié)對(duì)真空環(huán)境潔凈度與穩(wěn)定性要求嚴(yán)苛,羅茨真空泵通過(guò)無(wú)油運(yùn)行設(shè)計(jì)與精細(xì)壓力控制滿足工藝需求。在醫(yī)療陶瓷植入體、5G 陶瓷濾波器的燒結(jié)過(guò)程中,其常與旋片泵串聯(lián)使用,先由前級(jí)泵建立初始真空,再通過(guò)羅茨泵接力將壓力降至 0.1Pa 以下,快速抽除燒結(jié)產(chǎn)生的 CO、CO?等氣體。爐腔內(nèi)壁噴涂耐高溫涂層減少粉料殘留后,羅茨真空泵可配合分段控溫系統(tǒng),在 1750℃高溫下維持穩(wěn)定真空環(huán)境,降低陶瓷開裂風(fēng)險(xiǎn),使良品率提升至 95% 以上。其寬壓力區(qū)間抽速穩(wěn)定性(波動(dòng)率<5%),還能適配梯度合金燒結(jié)等復(fù)雜工藝,精細(xì)調(diào)控陶瓷微觀結(jié)構(gòu)。

羅茨泵具有良好的適應(yīng)性,可通過(guò)材質(zhì)升級(jí)應(yīng)對(duì)特殊工況。例如采用不銹鋼材質(zhì)可增強(qiáng)耐腐蝕性,適配化工行業(yè)的腐蝕性氣體處理;搭配冷卻系統(tǒng)后,能在較高溫度環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行。其結(jié)構(gòu)形式靈活,有立式、臥式和豎軸式等多種布局,可根據(jù)安裝空間和工藝需求靈活選擇。該設(shè)備的運(yùn)行穩(wěn)定性較強(qiáng),關(guān)鍵部件磨損緩慢,使用壽命較長(zhǎng)。但對(duì)進(jìn)氣狀態(tài)較為敏感,若吸入固體雜質(zhì)易造成轉(zhuǎn)子卡滯,吸入水分則可能影響真空性能,因此需配備相應(yīng)的過(guò)濾和干燥裝置。同時(shí),其極限真空受前級(jí)泵制約,需合理匹配前級(jí)設(shè)備才能發(fā)揮比較好性能。羅茨真空泵在新能源行業(yè),推動(dòng)電池生產(chǎn)工藝優(yōu)化。

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金屬粉末燒結(jié)需嚴(yán)格控制真空度以避免氧化與成分偏析,羅茨真空泵的干式無(wú)油特性與動(dòng)態(tài)壓力調(diào)節(jié)能力完美契合這一需求。在不銹鋼、航天鈦合金粉末燒結(jié)中,其配套的實(shí)時(shí)漏率監(jiān)測(cè)系統(tǒng)可將漏率控制在 1×10?1?Pa?m3/s 以內(nèi),確保燒結(jié)全程真空環(huán)境穩(wěn)定。升溫速率 5-15℃/min 可調(diào)的工藝中,羅茨真空泵能同步適配不同階段的抽氣需求:低溫階段快速抽除水分與易揮發(fā)雜質(zhì),高溫階段則緩慢抽取合金內(nèi)部擴(kuò)散出的氫、氮?dú)怏w,防止粉末團(tuán)聚與成品疏松。燒結(jié)結(jié)束后,配合惰性氣體反充裝置,可實(shí)現(xiàn)快速冷卻,使零件致密度達(dá)到 98% 以上,滿足航天領(lǐng)域?qū)估瓘?qiáng)度的嚴(yán)苛要求。羅茨真空泵抽氣范圍廣,適配不同真空度要求。浙江液環(huán)羅茨真空泵使用

羅茨真空泵符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),確保安全合規(guī)運(yùn)行。北京羅茨真空泵在線選型

羅茨真空泵在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速,啟動(dòng)快,能立即工作。對(duì)被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感,轉(zhuǎn)子不必潤(rùn)滑,泵腔內(nèi)無(wú)油,振動(dòng)小,驅(qū)動(dòng)功率小,結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積小,運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)費(fèi)用低。這些特點(diǎn)使其在冶金、石油化工、造紙、食品、電子工業(yè)等部門得到廣泛應(yīng)用。羅茨真空泵應(yīng)安裝在干燥、通風(fēng)良好和清潔的場(chǎng)所,環(huán)境溫度為5-40℃,需水平安裝,周圍應(yīng)留有充分的余地,便于日常檢查、維護(hù)保養(yǎng)和拆裝。接通電源后,電機(jī)轉(zhuǎn)向應(yīng)符合泵上轉(zhuǎn)向箭頭所示。連接被抽容器的管道應(yīng)清潔,無(wú)雜質(zhì)等異物,孔徑不應(yīng)小于泵口口徑,長(zhǎng)度宜短,以保證足夠的通導(dǎo)能力,管道連接應(yīng)密封不漏。
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