江西螺桿真空泵廠

來源: 發(fā)布時間:2025-11-27

企業(yè)在選擇螺桿真空泵時,需根據自身生產工藝的需求,合理匹配抽氣速率和真空度范圍,以確保設備性能滿足生產要求且避免資源浪費。螺桿真空泵的抽氣速率通常以 “m3/h” 為單位,常見規(guī)格從 10m3/h 到 1000m3/h 不等,小型設備適用于實驗室、小型生產線(如電子元件封裝),大型設備則用于化工反應釜、光伏鍍膜等大規(guī)模生產場景。真空度范圍方面,普通螺桿真空泵的極限真空度可達到 10?2~10??Pa,能滿足大多數工業(yè)領域的需求;而針對半導體刻蝕、太空模擬等對真空度要求極高的場景,可選擇高真空級螺桿真空泵,其極限真空度能達到 10??~10??Pa。在實際選型時,還需考慮被抽氣體的成分(如是否含有粉塵、水汽)、溫度等因素,例如處理含粉塵氣體時,需在進氣口加裝粉塵過濾器,防止粉塵進入泵內磨損轉子;處理高溫氣體時,則需配備冷卻系統(tǒng),避免設備因高溫損壞。高溫環(huán)境下有耐高溫材質轉子可選。江西螺桿真空泵廠

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螺桿真空泵的安裝環(huán)境需滿足溫度 5-40℃、相對濕度≤85%、振動加速度≤0.1g,且遠離易燃易爆氣體;管道連接采用法蘭密封,進氣法蘭直徑需與泵進氣口徑一致(常見口徑 50-200mm),密封墊片選用全氟醚橡膠,避免氣體腐蝕;排氣管道需加裝消聲器(降噪量≥20dB)和止回閥,防止大氣回流。開機前需完成三項檢查:油位、電源電壓(380V±10%,三相平衡)、密封狀態(tài)(無泄漏痕跡)。開機流程為:空載運行 5-10 分鐘→確認轉速穩(wěn)定(3000-6000r/min)→緩慢開啟進氣閥→接入被抽系統(tǒng),停機時需先關閉進氣閥→空載運行 3 分鐘→切斷電源,確保泵內無殘留氣體。上海干式無油螺桿真空泵報價其極限真空度通??蛇_到 10??Pa 級別。

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干式螺桿真空泵與其他干式泵的性能差異。與爪式真空泵相比,干式螺桿真空泵的抽速范圍更廣(10-1000   vs 10-200  ),但極限壓力略高;與渦旋真空泵相比,干式螺桿真空泵的耐固體顆粒能力更強(可處理粒徑≤10μm 顆粒,渦旋泵*≤5μm),但噪音稍大(75dB vs 65dB);與多級羅茨泵相比,干式螺桿真空泵的壓縮比更高(1000:1 vs 100:1),但轉速更低(6000r/min vs 10000r/min)?;谶@些差異,在選型時需根據工況優(yōu)先級:大抽速選干式螺桿真空泵,高真空選渦旋泵,耐顆粒選干式螺桿泵,低噪音選渦旋泵。

螺桿真空泵的抽氣效率**取決于轉子型線設計,目前主流有雙圓弧型線、擺線型線及漸開線型線三類。雙圓弧型線通過轉子齒頂與齒根的圓弧過渡,減少氣體在腔室內的滯留死角,抽氣速率較傳統(tǒng)型線提升 15%-20%,適配半導體刻蝕等對抽速敏感的場景;擺線型線則憑借嚙合間隙小的優(yōu)勢,極限真空度可突破 10??Pa,多用于超高真空實驗裝置;漸開線型線因加工難度低、成本可控,廣泛應用于中小型工業(yè)級螺桿泵。采用 “雙圓弧 - 漸開線復合型線” 設計的設備,在 1200m3/h 抽速下,容積效率仍能保持 92% 以上,既滿足大抽量需求,又兼顧真空度穩(wěn)定性,可適配 14nm 制程的半導體生產環(huán)節(jié)。干式螺桿真空泵傳動系統(tǒng)多為 “電機 - 聯(lián)軸器 - 轉子” 直聯(lián),效率≥95%。

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在化工領域,馬德寶干式螺桿真空泵可直接抽吸腐蝕性氣體,助力真空蒸餾、脫水結晶工藝高效運行;醫(yī)藥行業(yè)中,無油設計避免藥品污染,適配真空干燥、無菌生產環(huán)節(jié);電子與半導體行業(yè)里,1Pa 的高真空度滿足真空鍍膜、芯片制造的嚴苛要求;食品工業(yè)方面,低噪、無油煙特性符合食品衛(wèi)生標準,支撐冷凍干燥、真空包裝工藝;同時,在電力行業(yè)真空浸漬、航空航天模擬試驗中,其穩(wěn)定的抽氣速率與智能化控制,也成為保障工藝精度的關鍵裝備。干式螺桿真空泵適配含腐蝕性蒸氣、可凝性溶劑及少量固體顆粒的工況。湖南螺桿真空泵維護保養(yǎng)

干式螺桿真空泵的節(jié)能改造可采用變頻電機,根據壓力需求調節(jié)轉速,節(jié)能 15%-20%。江西螺桿真空泵廠

螺桿真空泵出現真空度下降時,需按 “系統(tǒng)泄漏→泵體故障→輔助部件異常” 的流程排查。首先排查系統(tǒng)泄漏,采用氦質譜檢漏儀對真空系統(tǒng)的管道接口、閥門、密封面進行檢漏,若漏率超過 1×10??Pa?m3/s,需更換密封墊片或緊固接口;其次檢查泵體故障,拆解泵體查看轉子是否磨損(磨損量超過 0.1mm 需更換)、轉子間隙是否增大(正常間隙 0.05-0.1mm,超差需調整)、泵體內腔是否有雜質堆積(需清潔內腔);***檢查輔助部件,如進氣過濾器是否堵塞(需清理或更換濾芯)、止回閥是否失效(需修復或更換)、壓力傳感器是否校準(需重新校準)。某工廠通過該排查流程,在 2 小時內定位到真空度下降的原因是轉子磨損,更換轉子后設備真空度恢復至額定值,避免了長時間停機影響生產。江西螺桿真空泵廠

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