氦氣真空漏孔的溯源國內(nèi)開展的比較早也相對(duì)成熟一些，各級(jí)標(biāo)準(zhǔn)已經(jīng)建立，檢定規(guī)程或校準(zhǔn)規(guī)范也早已頒布。但對(duì)其他氣體的校準(zhǔn)還需要完善，并需要對(duì)不帶氦氣室漏孔校準(zhǔn)方法和規(guī)范內(nèi)容需要增加氣源方式和要求。該部分標(biāo)準(zhǔn)漏孔量值溯源標(biāo)準(zhǔn)包括相對(duì)比較法漏率校準(zhǔn)裝置。應(yīng)為裝置成本和操作性的要求，在計(jì)量院和從事真空檢漏量值溯源研究的院所可以采用，對(duì)于以開展量值溯源為主要任務(wù)，技術(shù)能級(jí)有所欠缺的省市和企業(yè)級(jí)別的校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室建議以相對(duì)比較法漏率校準(zhǔn)裝置為主。特別建議采用檢漏儀比對(duì)裝置，該裝置操作簡(jiǎn)單，成本低等特點(diǎn)，對(duì)實(shí)驗(yàn)室應(yīng)該避免采用殘余氣體四極質(zhì)譜分析儀（RGA），因?yàn)樵搩x器悟操作容易造成儀器的損壞，影響工作效率和增加維修成本。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的材質(zhì)選擇影響其使用壽命長(zhǎng)短 。河南可調(diào)標(biāo)準(zhǔn)漏孔參數(shù)
JJF1946-2022《鹵素檢漏儀校準(zhǔn)規(guī)范》,規(guī)范條文解釋：本規(guī)范適用于可檢漏率為（1.0×10-6~1.0×10-4）Pa.m3/s的鹵素檢漏儀的校準(zhǔn)，其他制冷劑的檢漏儀也可以參考本規(guī)范執(zhí)行。解釋：與目前鹵素檢漏儀校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器（鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔）的可溯源范圍相適應(yīng)，待發(fā)布的正壓漏孔校準(zhǔn)規(guī)范使用范圍（10-6~10-4）Pa.m3/s，與檢漏儀的實(shí)際測(cè)量范圍（1-10）g/a對(duì)應(yīng)。測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)：測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)為提供某種特定鹵素氣體的已知漏率的鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔，如表所示，鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔應(yīng)具有定位槽以便于檢漏儀定位。解釋：通常配備多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)漏孔，一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)應(yīng)一種示漏氣體，根據(jù)被校檢漏儀選擇相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。昆明滲氦標(biāo)準(zhǔn)漏孔的價(jià)格標(biāo)準(zhǔn)漏孔存放需保持干燥潔凈的環(huán)境條件 。
可調(diào)通道型漏孔還可以支持定制多種樣式的規(guī)格型號(hào)，?如指定壓力還有漏率，?具有量程范圍廣、?真空響應(yīng)快、?溫度補(bǔ)償系數(shù)低、?穩(wěn)定性非常好、?抗震、?抗摔、?防堵塞性能良好等優(yōu)點(diǎn)，?適合用于各種檢漏設(shè)備和泄漏檢測(cè)儀的校準(zhǔn)使用，?提高檢漏效率和準(zhǔn)確性?？烧{(diào)漏率標(biāo)準(zhǔn)漏孔為通道型漏孔，可以跨越3個(gè)漏率量級(jí)，既可以作為真空漏孔，也可以作為正壓漏孔，實(shí)現(xiàn)了一個(gè)漏孔同3個(gè)校準(zhǔn)量級(jí)的優(yōu)越性能，極大的方便了客戶的使用。
蘭州510所建立了國內(nèi)測(cè)量范圍較寬，不確定度較小的正壓漏率校準(zhǔn)裝置。計(jì)量院在2010年前后也搭建了一套試驗(yàn)用正壓漏孔校準(zhǔn)裝置。并與今年正式立項(xiàng)建立正壓漏孔校準(zhǔn)裝置，涵蓋了專題中第二，三種正壓漏孔的校準(zhǔn)。上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院在2004年建立國內(nèi)一套正常開展量值溯源的正壓漏率校準(zhǔn)校準(zhǔn)裝置，并通過CNAC實(shí)驗(yàn)室認(rèn)證。近幾年來該裝置每年完成超過500件標(biāo)準(zhǔn)漏孔的校準(zhǔn)服務(wù)，在長(zhǎng)期的校準(zhǔn)過程中驗(yàn)證了裝置和校準(zhǔn)規(guī)范在量值的不確定度、長(zhǎng)期穩(wěn)定性方面的成熟。為國內(nèi)起草該范圍的正壓漏孔的校準(zhǔn)規(guī)范做好了技術(shù)準(zhǔn)備。標(biāo)準(zhǔn)漏孔是真空技術(shù)領(lǐng)域重要的基礎(chǔ)工具。
氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是對(duì)離子源電離的氦氣分子數(shù)量進(jìn)行量化，而到達(dá)質(zhì)譜室離子源的氦氣分子數(shù)量只是泄漏的分子總量的一部分，這就是分流比。在環(huán)境參數(shù)變化時(shí)，這個(gè)分流比會(huì)有變化，檢漏儀根據(jù)內(nèi)置漏孔1個(gè)點(diǎn)做出的擬合曲線很難做到符合全量程：例如一臺(tái)檢漏儀的內(nèi)置漏孔是E-7mbarL/s，說明這臺(tái)檢漏儀在接近E-7mbarL/s的漏率區(qū)間如[E-6,E-8]是可能準(zhǔn)確的，可能到E-9就很不準(zhǔn)確。建議用2個(gè)標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。事實(shí)上，包括很多主流檢漏儀廠家Z初都是不提供內(nèi)置漏孔自檢的，而是用戶購置接近自己工件要求漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行標(biāo)定。如待測(cè)工件合格漏率要求為2.50x10-8mbar.L/s,Z好是購置一個(gè)接近該漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔如3.00x10-8mbar.L/s，經(jīng)過校準(zhǔn)的檢漏儀不需要自檢通過也能準(zhǔn)確的判斷產(chǎn)品是否合格。建議用戶在選購?fù)庵脴?biāo)準(zhǔn)漏孔，盡量接近產(chǎn)品合格要求漏率，東貝真空可以提供從E-2到E-12mbarL/s的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。用戶可選用帶氣室的標(biāo)準(zhǔn)漏孔或開放式漏孔。標(biāo)準(zhǔn)漏孔使用前需檢查接口及外觀完好性。福建鹵素漏孔接口多大
標(biāo)準(zhǔn)漏孔在制冷設(shè)備檢漏工作中很關(guān)鍵 。河南可調(diào)標(biāo)準(zhǔn)漏孔參數(shù)
不同的氣體對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)漏孔的泄漏率有著一定影響，通常校準(zhǔn)以氮?dú)饣蚝鉃榻橘|(zhì)，實(shí)際使用時(shí)需要根據(jù)檢測(cè)氣體的性質(zhì)來進(jìn)行修正，提高檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的安裝方式應(yīng)該符合操作規(guī)程，以確保連接緊密、無額外的泄漏，避免因安裝不當(dāng)影響校準(zhǔn)或者檢測(cè)結(jié)果。部分漏孔的設(shè)計(jì)有專屬接口，方便與不同設(shè)備對(duì)接。隨著檢漏技術(shù)的發(fā)展，標(biāo)準(zhǔn)漏孔的性能不斷提升，出現(xiàn)了可調(diào)節(jié)泄漏率、智能化監(jiān)控等新型產(chǎn)品，滿足了更復(fù)雜場(chǎng)景下的計(jì)量需求。河南可調(diào)標(biāo)準(zhǔn)漏孔參數(shù)