氦質(zhì)譜檢漏法氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)出現(xiàn)在第二次世界大戰(zhàn)中，經(jīng)過不斷的改進(jìn)發(fā)展，氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)已經(jīng)成為迄今靈敏、方便的檢漏手段。我國質(zhì)譜檢漏儀的檢測精度已經(jīng)達(dá)到了10-14Pa·m3/s，國外質(zhì)譜檢漏儀檢測精度達(dá)到了10-16Pa·m3/s。質(zhì)譜檢漏法的原理是利用不同質(zhì)荷比（m/e）的離子在磁場中受洛倫茲力不同而做圓周運(yùn)動(dòng)半徑不同的原理，將不同質(zhì)荷比的離子分開，在相應(yīng)半徑上收集到示蹤氣體，如果被檢件出現(xiàn)泄漏，則會(huì)檢測到示蹤氣體離子，再通過相應(yīng)計(jì)算得出漏率大小。氦氣在空氣中的含量低，又是惰性氣體，使其成為了常用的示蹤氣體。利用氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行檢漏的方法很多，較早的是噴吹法，以后逐漸出現(xiàn)了氦罩法、真空室法、檢漏盒法、真空室累積法、背壓法及前級(jí)泵出口采樣法等多種氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)方法。檢測漏孔時(shí)可借助適用儀器，能更精確地找到滲漏位置。江蘇通道型標(biāo)準(zhǔn)漏孔應(yīng)用
壓差式標(biāo)準(zhǔn)漏孔在此是指壓差檢漏系統(tǒng)（泄漏儀）中用來模擬被檢產(chǎn)品泄漏的漏孔，它的使用方式和正壓漏孔相近，只是一般漏率比較大，在（0.1-1000）SCCM。漏率單位一般采用SCCM或SLM。介質(zhì)也一般為空氣或氮?dú)?。該類型的?biāo)準(zhǔn)漏孔主要配合檢漏儀使用，漏率值得大小主要由被檢產(chǎn)品的漏率指標(biāo)確定，是產(chǎn)品檢漏的定量標(biāo)準(zhǔn)和檢漏的保證。在國內(nèi)許多省市級(jí)計(jì)量院所和檢漏儀生產(chǎn)廠家已經(jīng)長期開展此項(xiàng)校準(zhǔn)活動(dòng)，但該產(chǎn)品的校準(zhǔn)需要考慮流量，大氣壓力，壓力，氣體特性和漏率綜合知識(shí)和標(biāo)準(zhǔn)，到目前為止還沒有一家能夠比較全，嚴(yán)謹(jǐn)?shù)亻_展過研究。對(duì)于許多企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和地方標(biāo)準(zhǔn)，錯(cuò)誤和疏漏的方面很多，需要大量的工作才能夠完成該項(xiàng)工作。廣州通道型標(biāo)準(zhǔn)漏孔型號(hào)標(biāo)準(zhǔn)漏孔使用時(shí)需緩慢調(diào)節(jié)壓力避免沖擊 。
檢漏儀內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔的優(yōu)點(diǎn)是漏率穩(wěn)定：檢漏儀自帶的滲氦漏孔，溫度系數(shù)一般為3.0%~4.0%/℃，由于天氣原因不同的溫差，以及檢漏儀內(nèi)部開機(jī)前后內(nèi)部相對(duì)封閉環(huán)境的溫度變化等，均會(huì)對(duì)漏孔的漏率影響相對(duì)較大，而且滲氦漏孔的穩(wěn)定時(shí)間非常長，通常來說是需要幾個(gè)小時(shí)的，這必然會(huì)造成檢漏儀上的偏差；上海東貝真空采用的是微通道毛細(xì)管技術(shù)它的溫度補(bǔ)償小于0.3%/℃，可以忽略溫度補(bǔ)償（溫度變化10℃漏率變化相當(dāng)于滲氦漏孔變化1℃）。
10-7Pa·m3/s量級(jí)以下的漏孔，在正常情況下是不需要關(guān)閉出口閥門的，但是由于客戶不清楚漏孔的一些結(jié)構(gòu)，通常會(huì)關(guān)閉閥門。對(duì)于滲氦型漏孔，如果長時(shí)間關(guān)閉閥門會(huì)積攢一定的氦氣，使得滲透元件的邊界條件遭到破壞，使用時(shí)短時(shí)間內(nèi)漏率值便會(huì)偏大，打開閥門經(jīng)過一段時(shí)間(24小時(shí))平衡后,漏率值會(huì)還原。滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔的應(yīng)用包括氦質(zhì)譜檢漏儀校準(zhǔn)、作為氦質(zhì)譜檢漏儀內(nèi)部標(biāo)準(zhǔn)漏孔、氦質(zhì)譜檢漏儀小的可檢漏率校準(zhǔn)以及實(shí)際漏孔漏率的確定等。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的材質(zhì)選擇影響其使用壽命長短 。
正壓標(biāo)準(zhǔn)漏孔，在正壓檢漏中,要考慮通過漏孔的質(zhì)量泄漏,更要考慮與環(huán)境的熱能交換。換言之，就是正壓檢漏及正壓漏孔校準(zhǔn)受溫度的影響較為嚴(yán)重。而真空檢漏壓力一般在1Pa及以下,受溫度影響小。正壓檢漏往往需要在不同的壓力條件下進(jìn)行，所以也必須對(duì)正壓漏孔在該條件下進(jìn)行校準(zhǔn)。而真空漏孔一般的校準(zhǔn)條件是進(jìn)口壓力為一個(gè)大氣壓，出口壓力為真空，狀態(tài)較為簡單。和真空檢漏一般使用氦氣不同，正壓檢漏往往可以使用氦氣、空氣、氮?dú)獾葰怏w，所以需要用不同氣體對(duì)正壓漏孔進(jìn)行校準(zhǔn)。正是由于以上原因，對(duì)正壓漏孔的校準(zhǔn)技術(shù)提出了新的、更高的要求，需要進(jìn)一步開展研究工作，提出測量范圍寬，不確定度小的正壓漏孔校準(zhǔn)方法，研制校準(zhǔn)裝置。同時(shí)，真空漏孔和正壓漏孔的校準(zhǔn)是不同壓力條件下的漏率校準(zhǔn)，所以真空漏孔的校準(zhǔn)技術(shù)也很值得借鑒。標(biāo)準(zhǔn)漏孔在醫(yī)療設(shè)備檢漏中作用重要。杭州全系列漏孔偏差
標(biāo)準(zhǔn)漏孔性能受環(huán)境壓力因素直接影響。江蘇通道型標(biāo)準(zhǔn)漏孔應(yīng)用
檢漏方法：人們對(duì)于泄漏的檢測很早就已經(jīng)出現(xiàn)，檢漏方法也經(jīng)歷了從簡單的定性檢測到現(xiàn)代復(fù)雜的定量檢測過程。檢漏方法根據(jù)被檢設(shè)備所處的狀態(tài)又可分為加壓檢漏法和真空檢漏法。加壓檢漏法將被檢件內(nèi)部充以比外部壓力更高的示蹤氣體，在被檢件外面用適當(dāng)?shù)姆椒ㄅ袛嘤袩o示蹤氣體漏出、從哪兒漏出、漏出量多少等，進(jìn)而判斷被檢件有無泄漏點(diǎn)，泄漏點(diǎn)的位置和大小。屬于這種方法的有壓降法、氣泡法、鹵素檢漏儀外探頭法、鹵素噴燈法、加壓滲透法、聲波法、紅外線熱圖像法、稱質(zhì)量法、放射性同位素法。真空檢漏法被檢件內(nèi)部抽成真空后，將示蹤氣體施于被檢件外部，如果被檢件器壁上有漏，示蹤氣體通過泄漏點(diǎn)進(jìn)入被檢件內(nèi)部，利用某種方法將漏進(jìn)的示蹤氣體檢測出來，從而判斷出泄漏點(diǎn)的位置和漏率大小。屬于這種方法的有靜態(tài)升壓法、放電管法、鹵素檢漏儀內(nèi)探頭法、各類真空計(jì)法、離子泵檢漏法、氦質(zhì)譜噴吹和氦罩檢漏法等。江蘇通道型標(biāo)準(zhǔn)漏孔應(yīng)用