氦氣真空漏孔的溯源國內(nèi)開展的比較早也相對成熟一些,各級標(biāo)準(zhǔn)已經(jīng)建立,檢定規(guī)程或校準(zhǔn)規(guī)范也早已頒布。但對其他氣體的校準(zhǔn)還需要完善,并需要對不帶氦氣室漏孔校準(zhǔn)方法和規(guī)范內(nèi)容需要增加氣源方式和要求。該部分標(biāo)準(zhǔn)漏孔量值溯源標(biāo)準(zhǔn)包括相對比較法漏率校準(zhǔn)裝置。應(yīng)為裝置成本和操作性的要求,在計量院和從事真空檢漏量值溯源研究的院所可以采用,對于以開展量值溯源為主要任務(wù),技術(shù)能級有所欠缺的省市和企業(yè)級別的校準(zhǔn)實驗室建議以相對比較法漏率校準(zhǔn)裝置為主。特別建議采用檢漏儀比對裝置,該裝置操作簡單,成本低等特點(diǎn),對實驗室應(yīng)該避免采用殘余氣體四極質(zhì)譜分析儀(RGA),因為該儀器悟操作容易造成儀器的損壞,影響工作效率和增加維修成本。標(biāo)準(zhǔn)漏孔可檢測檢漏儀的靈敏度指標(biāo)。寧波漏孔多少錢
氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是對離子源電離的氦氣分子數(shù)量進(jìn)行量化,而到達(dá)質(zhì)譜室離子源的氦氣分子數(shù)量只是泄漏的分子總量的一部分,這就是分流比。在環(huán)境參數(shù)變化時,這個分流比會有變化,檢漏儀根據(jù)內(nèi)置漏孔1個點(diǎn)做出的擬合曲線很難做到符合全量程:例如一臺檢漏儀的內(nèi)置漏孔是E-7mbarL/s,說明這臺檢漏儀在接近E-7mbarL/s的漏率區(qū)間如[E-6,E-8]是可能準(zhǔn)確的,可能到E-9就很不準(zhǔn)確。建議用2個標(biāo)準(zhǔn)漏孔對氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。事實上,包括很多主流檢漏儀廠家Z初都是不提供內(nèi)置漏孔自檢的,而是用戶購置接近自己工件要求漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行標(biāo)定。如待測工件合格漏率要求為2.50x10-8mbar.L/s,Z好是購置一個接近該漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔如3.00x10-8mbar.L/s,經(jīng)過校準(zhǔn)的檢漏儀不需要自檢通過也能準(zhǔn)確的判斷產(chǎn)品是否合格。建議用戶在選購?fù)庵脴?biāo)準(zhǔn)漏孔,盡量接近產(chǎn)品合格要求漏率,東貝真空可以提供從E-2到E-12mbarL/s的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。用戶可選用帶氣室的標(biāo)準(zhǔn)漏孔或開放式漏孔。湖南冷媒標(biāo)準(zhǔn)漏孔應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)漏孔在航空航天檢漏中很關(guān)鍵。
標(biāo)準(zhǔn)漏孔的常見問題,外部標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn),檢漏儀的外部校準(zhǔn)是非常重要的??紤]到各個廠家對自己利益的保護(hù),目前對標(biāo)準(zhǔn)漏孔存在比較大的兩個誤區(qū):誤區(qū)1:多個檢漏儀廠家特別是國外廠家說只能用自己的漏孔,包括外置與內(nèi)置,這是一個典型性的謬誤說法。因為氦質(zhì)譜檢漏儀準(zhǔn)不準(zhǔn),應(yīng)符合標(biāo)準(zhǔn)漏孔。而標(biāo)準(zhǔn)漏孔準(zhǔn)不準(zhǔn),是國家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的檢測機(jī)構(gòu)而不是廠家。誤區(qū)2就是檢漏儀內(nèi)置漏孔檢測通過,檢漏儀就沒有問題。這也是一個認(rèn)識的誤區(qū),實際上每一臺檢漏儀要做到寬量程都精確是非常困難的。
正壓標(biāo)準(zhǔn)漏孔,在正壓檢漏中,要考慮通過漏孔的質(zhì)量泄漏,更要考慮與環(huán)境的熱能交換。換言之,就是正壓檢漏及正壓漏孔校準(zhǔn)受溫度的影響較為嚴(yán)重。而真空檢漏壓力一般在1Pa及以下,受溫度影響小。正壓檢漏往往需要在不同的壓力條件下進(jìn)行,所以也必須對正壓漏孔在該條件下進(jìn)行校準(zhǔn)。而真空漏孔一般的校準(zhǔn)條件是進(jìn)口壓力為一個大氣壓,出口壓力為真空,狀態(tài)較為簡單。和真空檢漏一般使用氦氣不同,正壓檢漏往往可以使用氦氣、空氣、氮?dú)獾葰怏w,所以需要用不同氣體對正壓漏孔進(jìn)行校準(zhǔn)。正是由于以上原因,對正壓漏孔的校準(zhǔn)技術(shù)提出了新的、更高的要求,需要進(jìn)一步開展研究工作,提出測量范圍寬,不確定度小的正壓漏孔校準(zhǔn)方法,研制校準(zhǔn)裝置。同時,真空漏孔和正壓漏孔的校準(zhǔn)是不同壓力條件下的漏率校準(zhǔn),所以真空漏孔的校準(zhǔn)技術(shù)也很值得借鑒。標(biāo)準(zhǔn)漏孔使用前需檢查外觀是否完好 。
標(biāo)準(zhǔn)漏孔用于來校準(zhǔn)腔體檢漏設(shè)備,以確保芯片生產(chǎn)環(huán)境的高真空度,避免微小的泄漏影響產(chǎn)品的質(zhì)量,是電子產(chǎn)業(yè)質(zhì)量控制的重要工具。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的使用壽命與使用頻率、于工作環(huán)境密切相關(guān),頻繁的在高溫、腐蝕性氣體中使用起來會縮短其壽命,只要定期維護(hù)和校準(zhǔn)可延長其有效的使用時間。正確使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔是保證檢漏工作質(zhì)量的前提,操作人員需經(jīng)過技術(shù)培訓(xùn),熟悉其性能、特點(diǎn)、流程和操作規(guī)范,避免因誤操作導(dǎo)致的計量誤差或設(shè)備損壞。標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率偏差需把控在允許范圍內(nèi) 。寧波漏孔多少錢
標(biāo)準(zhǔn)漏孔能輔助判斷檢漏儀的工作狀態(tài)。寧波漏孔多少錢
系列漏孔為通道型定值標(biāo)準(zhǔn)漏孔,漏孔元件為微通道毛細(xì)管,其漏率或校準(zhǔn)精度0.1g/a,支持客戶漏率或年泄漏量定制,如1g/a,2.5g/a,5g/a,…,也可以定制其他漏率單位,如Pa·m3/s(≥5x10-6Pa·m3/s),大漏率10~100g/a亦可定制。本產(chǎn)品結(jié)合了國內(nèi)外定值漏孔的特點(diǎn)專門研制的一套知識產(chǎn)權(quán)的標(biāo)準(zhǔn)儀器,該產(chǎn)品很好地適應(yīng)國內(nèi)外制冷等行業(yè)對產(chǎn)品檢漏過程嚴(yán)格把控的需求。冷媒標(biāo)準(zhǔn)漏孔(定值)特點(diǎn)是漏率穩(wěn)定、可重復(fù)充灌、使用成本較低等寧波漏孔多少錢