標(biāo)準(zhǔn)漏孔用于來校準(zhǔn)腔體檢漏設(shè)備，以確保芯片生產(chǎn)環(huán)境的高真空度，避免微小的泄漏影響產(chǎn)品的質(zhì)量，是電子產(chǎn)業(yè)質(zhì)量控制的重要工具。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的使用壽命與使用頻率、于工作環(huán)境密切相關(guān)，頻繁的在高溫、腐蝕性氣體中使用起來會(huì)縮短其壽命，只要定期維護(hù)和校準(zhǔn)可延長(zhǎng)其有效的使用時(shí)間。正確使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔是保證檢漏工作質(zhì)量的前提，操作人員需經(jīng)過技術(shù)培訓(xùn)，熟悉其性能、特點(diǎn)、流程和操作規(guī)范，避免因誤操作導(dǎo)致的計(jì)量誤差或設(shè)備損壞。標(biāo)準(zhǔn)漏孔能輔助判斷檢漏儀的工作狀態(tài)。福州鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔型號(hào)
檢漏儀內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔目前通常是廠家提供的鋁制滲氦標(biāo)準(zhǔn)漏孔， 漏率一般是10-8 Pa·m3/s量級(jí)， 東貝真空制作的內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔是采用微通道毛細(xì)管的通道型漏孔。檢漏儀內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔的特點(diǎn)是抗震抗摔，使用壽命較長(zhǎng)：檢漏儀自帶漏孔為滲氦漏孔，泄漏元件是玻璃滲透膜，非常容易破碎損壞，而且不能充氣重復(fù)使用，廠家建議一般2年更換一次漏孔，上海東貝真空采用的微通道毛細(xì)管通道型漏孔，抗震抗摔，使用壽命一般為滲透膜材質(zhì)漏孔幾倍甚至更長(zhǎng)。鹽城可調(diào)漏孔的漏率標(biāo)準(zhǔn)漏孔在壓力容器檢漏中應(yīng)用較多。
正壓標(biāo)準(zhǔn)漏孔，在正壓檢漏中,要考慮通過漏孔的質(zhì)量泄漏,更要考慮與環(huán)境的熱能交換。換言之，就是正壓檢漏及正壓漏孔校準(zhǔn)受溫度的影響較為嚴(yán)重。而真空檢漏壓力一般在1Pa及以下,受溫度影響小。正壓檢漏往往需要在不同的壓力條件下進(jìn)行，所以也必須對(duì)正壓漏孔在該條件下進(jìn)行校準(zhǔn)。而真空漏孔一般的校準(zhǔn)條件是進(jìn)口壓力為一個(gè)大氣壓，出口壓力為真空，狀態(tài)較為簡(jiǎn)單。和真空檢漏一般使用氦氣不同，正壓檢漏往往可以使用氦氣、空氣、氮?dú)獾葰怏w，所以需要用不同氣體對(duì)正壓漏孔進(jìn)行校準(zhǔn)。正是由于以上原因，對(duì)正壓漏孔的校準(zhǔn)技術(shù)提出了新的、更高的要求，需要進(jìn)一步開展研究工作，提出測(cè)量范圍寬，不確定度小的正壓漏孔校準(zhǔn)方法，研制校準(zhǔn)裝置。同時(shí)，真空漏孔和正壓漏孔的校準(zhǔn)是不同壓力條件下的漏率校準(zhǔn)，所以真空漏孔的校準(zhǔn)技術(shù)也很值得借鑒。
組成與工作原理：標(biāo)準(zhǔn)漏孔主要由漏孔元件、氣室、漏孔閥、充氣閥和連接件構(gòu)成。漏孔元件是允許氣體從壓力相對(duì)高的一側(cè)進(jìn)入壓力低的一側(cè)的重要元件，其要求包括與所連接的系統(tǒng)相容、安全可靠、可重復(fù)地將氣流限制在所要求的水平、具有剛性和耐久性、不怕堵塞和污染、只允許一種所要求的氣體通過。氣室是向漏孔進(jìn)氣端提供氣源的裝置，要求供氣充足以避免漏率隨時(shí)間而發(fā)生較大的變化。漏孔閥是把控漏孔與所連系統(tǒng)氣流的裝置，關(guān)閉時(shí)還可以保護(hù)漏孔元件免受來自所連系統(tǒng)或環(huán)境大氣的污染。標(biāo)準(zhǔn)漏孔在半導(dǎo)體制造檢漏中經(jīng)常使用。
標(biāo)準(zhǔn)漏孔是漏率溯源標(biāo)準(zhǔn)的總稱。根據(jù)不同應(yīng)用行業(yè)，不同檢漏儀器類型漏孔種類繁多，分類方式也多種多樣。漏率范圍也從微漏率10-13Pa.m3/s的氦標(biāo)準(zhǔn)漏孔到做泄漏標(biāo)準(zhǔn)用的10NL/min空氣壓差漏孔,范圍寬廣。標(biāo)準(zhǔn)漏孔按照對(duì)應(yīng)檢漏儀種類來分：真空氦漏孔，冷媒正壓漏孔，空氣壓差漏孔等，分別對(duì)應(yīng)氦質(zhì)譜檢漏儀，鹵素（冷媒）檢漏儀，壓差檢漏儀等。按照漏孔元件類型可以分為:滲(氦)透型漏孔,通道型漏孔.其中滲透型漏孔主要用于真空氦漏孔,有玻璃,四氟乙烯等材料.通道型漏孔如金屬毛細(xì)管、拉伸的玻璃毛細(xì)管、金屬壓扁管、粉末燒結(jié)和微孔板等.按照漏孔結(jié)構(gòu)和應(yīng)用又可以分為有源漏孔和無源漏孔.也可以分為定值漏孔和可調(diào)漏孔.所以標(biāo)準(zhǔn)漏孔種類繁多,針對(duì)每個(gè)產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域都要滿足具體的技術(shù)要求和應(yīng)用場(chǎng)景.本公司長(zhǎng)期致力于提供所有檢漏需要的溯源標(biāo)準(zhǔn)(標(biāo)準(zhǔn)漏孔)的解決方案和產(chǎn)品服務(wù).標(biāo)準(zhǔn)漏孔在電池密封檢漏中經(jīng)常使用。北京滲氦漏孔尺寸
檢測(cè)漏孔時(shí)可借助適用儀器，能更精確地找到滲漏位置。福州鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔型號(hào)
氦質(zhì)譜檢漏法氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)出現(xiàn)在第二次世界大戰(zhàn)中，經(jīng)過不斷的改進(jìn)發(fā)展，氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)已經(jīng)成為迄今靈敏、方便的檢漏手段。我國(guó)質(zhì)譜檢漏儀的檢測(cè)精度已經(jīng)達(dá)到了10-14Pa·m3/s，國(guó)外質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)精度達(dá)到了10-16Pa·m3/s。質(zhì)譜檢漏法的原理是利用不同質(zhì)荷比（m/e）的離子在磁場(chǎng)中受洛倫茲力不同而做圓周運(yùn)動(dòng)半徑不同的原理，將不同質(zhì)荷比的離子分開，在相應(yīng)半徑上收集到示蹤氣體，如果被檢件出現(xiàn)泄漏，則會(huì)檢測(cè)到示蹤氣體離子，再通過相應(yīng)計(jì)算得出漏率大小。氦氣在空氣中的含量低，又是惰性氣體，使其成為了常用的示蹤氣體。利用氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行檢漏的方法很多，較早的是噴吹法，以后逐漸出現(xiàn)了氦罩法、真空室法、檢漏盒法、真空室累積法、背壓法及前級(jí)泵出口采樣法等多種氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)方法。福州鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔型號(hào)