電鍍:
到這一步,晶圓基本上就完成了,現(xiàn)在要在晶圓上鍍一層硫酸銅,銅離子會(huì)從正極走向負(fù)極。
拋光:
然后將Wafer進(jìn)行打磨,到這一步晶圓就真正的完成了。
切割:
對(duì)晶圓進(jìn)行切割,值得一提的是晶圓十分易碎,因此對(duì)切割的工藝要求也是非常高的。
測(cè)試:
測(cè)試分為三大類:功能測(cè)試、性能測(cè)試、抗老化測(cè)試。大致測(cè)試模式如下:接觸測(cè)試、功耗測(cè)試、輸入漏電測(cè)試、輸出電平測(cè)試、動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試、模擬信號(hào)參數(shù)測(cè)試等等。全部測(cè)試都通過(guò)的,就是正片;部分測(cè)試未通過(guò),但正常使用無(wú)礙,這是白片;未開(kāi)始測(cè)試,就發(fā)現(xiàn)晶圓具有瑕疵的,這是黑片。
機(jī)械手要獲得較高的位置精度,除采用先進(jìn)的控制方法外,在結(jié)構(gòu)上還注意以下幾個(gè)問(wèn)題;南京原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂推廣

割拋光:
單晶棒將按適當(dāng)?shù)某叽邕M(jìn)行切割,然后進(jìn)行研磨,將凹凸的切痕磨掉,再用化學(xué)機(jī)械拋光工藝使其至少一面光滑如鏡,晶圓片制造就完成了。
二,晶圓制造步驟
晶圓鍍膜:
通過(guò)物理或其他方式(如高溫等)使晶圓上產(chǎn)生一層二氧化硅。二氧化硅為絕緣材料,但有雜質(zhì)和特殊處理的二氧化硅有一定的導(dǎo)電性。二氧化硅在這里的作用是為了傳導(dǎo)光。像是用二氧化硅做光導(dǎo)纖維是同一個(gè)道理。完成這步后就為后面光刻做好了準(zhǔn)備。
光刻膠涂抹:
顧名思義,就是在晶圓表面覆蓋上一層光刻膠,而對(duì)其技術(shù)要求是要做到平整和薄。 南京原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂推廣隨著宇航業(yè)及機(jī)器人業(yè)的飛速發(fā)展,越來(lái)越多地采用由若干個(gè)柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng)。

與剛性機(jī)械臂相比較,柔性機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)輕、載重/自重比高等特性,因而具有較低的能耗、較大的操作空間和很高的效率,其響應(yīng)快速而準(zhǔn)確,有著很多潛在的優(yōu)點(diǎn),在工業(yè)、**等應(yīng)用領(lǐng)域中占有十分重要的地位。隨著宇航業(yè)及機(jī)器人業(yè)的飛速發(fā)展,越來(lái)越多地采用由若干個(gè)柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng)。傳統(tǒng)的多剛體動(dòng)力學(xué)的分析方法及控制方法已不能滿足多柔體系統(tǒng)的動(dòng)力分析及控制的要求。柔性機(jī)械臂作為簡(jiǎn)單的非平凡多柔體系統(tǒng),被用作多柔體系統(tǒng)的研究模型。
環(huán)境決定”——技術(shù)發(fā)展導(dǎo)致其實(shí),除了晶圓的生長(zhǎng)方法決定的“晶圓”是圓形的這個(gè)原因之外,還有以下3條其他的決定因素:2??有人計(jì)算過(guò),比較直徑為L(zhǎng)毫米的圓和邊長(zhǎng)為L(zhǎng)毫米的正方形,考慮晶圓制造過(guò)程中邊緣5到8毫米是不可利用的,算算就知道正方形浪費(fèi)的使用面積比率是比圓型高的。所以,圓形是等周長(zhǎng)時(shí)表面積做大的二維圖形,加工時(shí)能夠充分利用原料,在一片晶圓上能分出**多的芯片。3??在實(shí)際的加工制成當(dāng)中,圓形的物體比較便于生產(chǎn)操作。圓型具有任意軸對(duì)稱性,這是晶圓制作工藝必然的要求,可以想象一下,在圓型晶圓表面可以通過(guò)旋轉(zhuǎn)涂布法(spincoating,事實(shí)上是目前均勻涂布光刻膠的***方法)獲得很均勻一致的光刻膠涂層,但其它形狀的晶圓呢?不可能或非常難,可以的話也是成本很高。 機(jī)器人機(jī)械臂結(jié)構(gòu)柔性特征必須予以考慮。

為圓柱的單晶硅晶錠更便于運(yùn)輸,有效的避免了在運(yùn)輸途中磕碰損壞,邊角碎掉什么的造成材料損耗。而且,請(qǐng)仔細(xì)回想一下,你看到的晶圓是完全的圓的嗎?非也!在硅棒做出來(lái)后,在200mm以下的硅棒上是切割一個(gè)平角,叫Flat。在200mm(含)以上硅棒上,為了減少浪費(fèi),只裁剪個(gè)圓形小口,叫做Notch。***再進(jìn)行切片,得到的晶圓如下。那么,這個(gè)小豁口是做什么用的呢?很容易想到——定位。這樣每片晶圓的晶向就能確定,在加工的時(shí)候也不容易出錯(cuò)了。所以,為什么“晶圓”沒(méi)有方的???答案很簡(jiǎn)單,是一個(gè)歷史遺留的問(wèn)題,也是一個(gè)技術(shù)限制的問(wèn)題。而且,真的沒(méi)有必要做出來(lái)正方的硅片呢~。 機(jī)械手的運(yùn)動(dòng)速度一般是根據(jù)產(chǎn)品的生產(chǎn)節(jié)拍要求來(lái)決定的,但不宜盲目追求高速度。南京原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂推廣
通用性強(qiáng),能適應(yīng)多種作業(yè);工藝性好,便于維修調(diào)整。南京原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂推廣
中國(guó)擁有龐大的制造業(yè),是世界弟一工業(yè)機(jī)器人市場(chǎng),有著1000多家與工業(yè)機(jī)器人相關(guān)的企業(yè)。但是現(xiàn)階段中國(guó)在機(jī)械臂制造領(lǐng)域處于大而不強(qiáng)的狀態(tài)。擁有自主品牌的工業(yè)機(jī)械臂的數(shù)量和市場(chǎng)占有份額偏低?,F(xiàn)在國(guó)內(nèi)很多機(jī)器人企業(yè)有很多都不是在真心實(shí)意地在做技術(shù),很多都是跟著國(guó)家提出的中國(guó)未來(lái)制造的政策與支持來(lái)進(jìn)行獲利的。而且很多符合精度要求的關(guān)鍵零部件很大程度上依賴于進(jìn)口。所以,中國(guó)的機(jī)械臂在技術(shù)方面遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于國(guó)外,占有的只是低端市場(chǎng)的份額。不過(guò),在非民用機(jī)器人與航天機(jī)械臂領(lǐng)域,中國(guó)的技術(shù)也不遜色于美國(guó)。所以說(shuō)只要經(jīng)過(guò)技術(shù)的積累,中國(guó)的機(jī)械臂技術(shù)也會(huì)不比國(guó)外的差多少。 南京原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂推廣
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