真空計是用于測量真空度的設(shè)備,其工作原理及測量范圍對于了解真空技術(shù)至關(guān)重要。在真空鍍膜機(jī)的腔體內(nèi),真空測量是指利用專門的儀器和裝置來測定某一封閉空間內(nèi)的真空度。這些儀器或裝置被稱為真空計(或規(guī)管),種類繁多,常見的分類方式是根據(jù)其測量原理。直接通過測定物理參數(shù)來獲取氣體壓強(qiáng)的真空計被稱為***真空計,例如U型壓力計和壓縮式真空計。***真空計測量氣體壓強(qiáng)較為準(zhǔn)確,不受氣體成分影響。而相對真空計則通過測量與壓強(qiáng)相關(guān)的物理量,再與***真空計對比來得出壓強(qiáng)值,例如放電真空計、熱傳導(dǎo)真空計和電離真空計。相對真空計的測量準(zhǔn)確度略遜于***真空計,且測量結(jié)果與氣體種類相關(guān)。在實際生產(chǎn)中,除了真空校準(zhǔn)外,相對真空計的應(yīng)用更為***。 真空計可分為真空計和相對真空計兩大類。艾科思 真空計售后服務(wù)

真空壓力計有多種類型,包括但不限于以下幾種:熱傳導(dǎo)真空壓力計:利用氣體熱傳導(dǎo)造成的某些結(jié)果(如熱絲溫度、電阻變化)來測量真空度。電離真空計:通過電子碰撞氣體分子使之電離,用測得的離子流來反應(yīng)壓力。壓縮式真空計:先將被測氣體壓縮以提高其壓力,然后測量增高后的壓力,再根據(jù)壓縮比計算出原來的壓力值。薄膜真空計:利用薄膜在真空壓力作用下的變形來測量真空度,如電容式薄膜真空計。U型管真空計:使用歷史**長、結(jié)構(gòu)**簡單的測量壓力的儀器,通過U型管兩端的液面差來指示真空度。數(shù)字式真空壓力計:能夠直接讀取數(shù)字顯示的壓力值,操作便捷,且具有高精度和穩(wěn)定性。AKS真空計試用復(fù)合真空計-倒磁控管和皮拉尼,從5X10-9 mbar 至大氣氣壓的寬廣測量范圍不會出現(xiàn)絲極燒毀的現(xiàn)象。

2025年關(guān)于《雙活塞式壓力真空計檢定規(guī)程》征求意見稿發(fā)布 真空計雙活塞式壓力真空計由簡單活塞系統(tǒng)、差動活塞系統(tǒng)、**砝碼、校驗器等組成。10月16日,全國壓力計量技術(shù)委員會發(fā)布了《雙活塞式壓力真空計檢定規(guī)程》征求意見稿,并面向全國的計量機(jī)構(gòu)、科研院所等相關(guān)單位征求意見。本規(guī)程的修訂引用了JJG99《砝碼》檢定規(guī)程文件,適用于測量范圍為(-0.1——1)MPa的雙活塞式壓力真空計的***檢定、后續(xù)檢定和使用中檢查。
真空計用于測量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓,是一種使用***的儀表。真空計的種類有很多,適用范圍也各有不同。掌握常見的真空計種類有利于正確選擇真空計類型。真空計可分為***真空計和相對真空計兩大類。一、***真空計能從液柱高度、比重等本身測得的物理量直接計算出氣體壓力的真空計。***真空計測量精度較高,主要用作基準(zhǔn)量具。原理:在U字形的玻璃管中充以工作液(低蒸氣壓的油、汞)。管的一端與待測壓力的真空容器相連,另一端是封死的或開口與大氣相通。根據(jù)兩邊管中的壓差所造成的液柱差可測出被測真空系統(tǒng)的壓力。測量范圍:粗真空(105~102帕)、低真空(102~10-1帕)2.壓縮式真空計(麥克勞真空計)原理:把待測壓強(qiáng)氣體的一部分進(jìn)行隔離并加以壓縮,直到壓強(qiáng)增大到可以直接測量的程度。 真空計利用氣體在低壓力下的熱傳導(dǎo)、電離、粘滯性和應(yīng)變等物理特性與壓力的關(guān)系間接測量氣體壓力。

NC610A真空計廣泛應(yīng)用于光伏、太陽能等行業(yè)的真空爐上。冷陰極型(如潘寧計):利用高壓電場和磁場使殘余氣體電離,無需加熱陰極。離子電流同樣與氣體分子密度相關(guān)。特點:量程:通常為10?9Torr至10?3Torr,適合高真空至超高真空。優(yōu)點:高真空下精度高(信號與氣體分子密度直接相關(guān))。對氣體種類不敏感(電離截面差異可忽略)。局限性:熱陰極型需加熱陰極,可能污染系統(tǒng)(蒸發(fā)材料)。冷陰極型在低真空下可能無法啟動(需足夠殘余氣體維持真空計電離)。相對真空計能直接讀出被測壓力,但是測量精度較低,測量結(jié)果與被測氣體種類和成分有關(guān)!本安型真空計使用方法
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這些真空泵按工作原理大致可以分為兩類。一類是真空計將氣體不斷吸入并排出體外的泵,例如機(jī)械泵、渦輪分子泵;一類是將氣體分子吸附在內(nèi)壁上的泵,例如鈦升華泵、低溫吸附泵、吸氫氣泵。不管工作原理如何,這些泵的**終目的都是減少腔體內(nèi)的氣體分子數(shù)。由于不同泵的構(gòu)造不同,每種泵都有自己的工作區(qū)間,只有在一定的壓強(qiáng)范圍內(nèi)才可以正常工作,否則就會損壞。不同泵的工作壓強(qiáng)區(qū)間如下圖所示。從上圖我們可以看出,要達(dá)到超高真空,只用一種泵是無法實現(xiàn)的,需要不同種類的泵接力,像極了我們做科研的過程,不是嗎?團(tuán)隊合作。在實驗室,我們先用機(jī)械泵抽到粗真空,再打開分子泵抽到高真空,**后用離子泵或者鈦升華泵抽到實驗所需的真空狀態(tài)。 艾科思 真空計售后服務(wù)