實(shí)驗室常用的真空泵有機(jī)械泵、渦輪分子泵、真空計,離子泵、鈦升華泵、低溫吸附泵、吸氫氣泵幾種,正是這些不同種類的泵一級級地抽,才能達(dá)到超高真空狀態(tài)。分子泵我們知道,空氣是由大量的氣體分子構(gòu)成的,含量比較高的是氮?dú)狻⒀鯕猓€有少量的二氧化碳、氫氣、水蒸氣、稀有氣體之類的。一個密閉容器中所含的氣體分子越少,它的真空度就越高,因此我們抽真空的目的就是盡可能地減少腔體中氣體分子的數(shù)目,這就是這些真空泵要做的事情。薄膜真空計原理根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成的真空計稱為電容式薄膜真空計。BW真空計維修電話

半導(dǎo)體管特性圖示儀校準(zhǔn)儀校準(zhǔn)規(guī)范》征求意見稿發(fā)布 半導(dǎo)體管特性圖示儀校準(zhǔn)儀是校準(zhǔn)半導(dǎo)體管特性圖示儀的**校準(zhǔn)儀器。目前主要有兩種類型:階梯歸一化圖示儀校準(zhǔn)儀和階梯采樣測量圖示儀校準(zhǔn)儀。9月29日,全國無線電計量技術(shù)委員會發(fā)布了《半導(dǎo)體管特性圖示儀校準(zhǔn)儀校準(zhǔn)規(guī)范》征求意見稿,并向全國的計量機(jī)構(gòu)、科研院所等單位征求意見。該規(guī)范根據(jù)一系列計量準(zhǔn)則制定,對儀器的術(shù)語、校準(zhǔn)規(guī)范、校準(zhǔn)方法等進(jìn)行規(guī)范,有助于該儀器測量過程中規(guī)范使用,真空計保證測量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。一體式真空計試用零位法是一種補(bǔ)償法,具有較高的測量精度。目前在計量部門作為低真空副標(biāo)準(zhǔn)真空計的就是采用零位法結(jié)構(gòu)。

復(fù)合真空計播報編輯討論上傳視頻由熱偶與熱陰極電離真空計組成的真空測量裝置復(fù)合真空計是將熱偶真空計和熱陰極電離真空計組合而成的寬量程真空測量設(shè)備,測量范圍覆蓋大氣壓至10??Pa [2]。熱偶真空計通過氣體熱傳導(dǎo)效應(yīng)測量102-10?1Pa區(qū)間的低真空,熱陰極電離真空計利用電子碰撞電離原理檢測10?1-10??Pa范圍的高真空。兩種真空計在10?1Pa量級通過自動切換機(jī)制銜接,有效避免電離規(guī)管在高壓強(qiáng)工況下?lián)p壞 [1] [4]。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、電子束焊接等工業(yè)場景,具備自動校準(zhǔn)與多通道控制功能
工作原理播報編輯兩種真空計在不同壓強(qiáng)區(qū)間發(fā)揮測量作用:1.熱偶真空計加熱電流恒定狀態(tài)下,熱電偶電勢與氣體熱傳導(dǎo)系數(shù)呈正相關(guān)。當(dāng)壓強(qiáng)低于10Pa時氣體導(dǎo)熱系數(shù)隨壓強(qiáng)降低而減小,通過熱電偶輸出電勢變化反映真空度。有效測量范圍為100-0.1Pa [4]。2.熱陰極電離真空計燈絲加熱至2200K發(fā)射熱電子,經(jīng)150V柵極電壓加速后與氣體分子碰撞產(chǎn)生正離子。收集極在-25V偏壓下捕獲離子形成電流,該電流與氣體壓強(qiáng)成線性關(guān)系 [4]。典型工作范圍為0.1-1×10??Pa。設(shè)備通過動態(tài)切換機(jī)制實(shí)現(xiàn)量程銜接:當(dāng)熱偶計檢測到壓強(qiáng)低于10?1Pa時,自動開啟電離計 [1] [4]。ZDF-1A/B型具備1-99分鐘可調(diào)延時切換功能,防止頻繁啟停損壞燈絲 [1]按照真空計測量原理所利用的不同的物理機(jī)制,可將主要的真空計分為三大類。

這些真空泵按工作原理大致可以分為兩類。一類是真空計將氣體不斷吸入并排出體外的泵,例如機(jī)械泵、渦輪分子泵;一類是將氣體分子吸附在內(nèi)壁上的泵,例如鈦升華泵、低溫吸附泵、吸氫氣泵。不管工作原理如何,這些泵的**終目的都是減少腔體內(nèi)的氣體分子數(shù)。由于不同泵的構(gòu)造不同,每種泵都有自己的工作區(qū)間,只有在一定的壓強(qiáng)范圍內(nèi)才可以正常工作,否則就會損壞。不同泵的工作壓強(qiáng)區(qū)間如下圖所示。從上圖我們可以看出,要達(dá)到超高真空,只用一種泵是無法實(shí)現(xiàn)的,需要不同種類的泵接力,像極了我們做科研的過程,不是嗎?團(tuán)隊合作。在實(shí)驗室,我們先用機(jī)械泵抽到粗真空,再打開分子泵抽到高真空,**后用離子泵或者鈦升華泵抽到實(shí)驗所需的真空狀態(tài)。 把待測壓強(qiáng)氣體的一部分進(jìn)行隔離并加以壓縮,直到壓強(qiáng)增大到可以直接測量真空計的程度。BW真空計維修電話
復(fù)合真空計-倒磁控管和皮拉尼,從5X10-9 mbar 至大氣氣壓的寬廣測量范圍不會出現(xiàn)絲極燒毀的現(xiàn)象。BW真空計維修電話
真空計用隔膜真空泵使用安裝步驟了解一下呢1、隔膜真空泵應(yīng)安裝在地面結(jié)實(shí)堅固的場所,周圍應(yīng)留有充分的余地,便于檢查、維護(hù)、保養(yǎng)。2、隔膜真空泵底座下應(yīng)保持地基水平,底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝,確保隔膜真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),振動小3、隔膜真空泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠,對小隔膜真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠,對小隔膜真空泵可采用真空膠管連接,管道管徑不得小于隔膜真空泵吸氣口徑,且要求管路短而少彎頭。(焊接管路時應(yīng)***管道中焊渣,嚴(yán)禁焊渣進(jìn)入隔膜真空泵腔。)BW真空計維修電話