該系統(tǒng)為電子探針分析提供具有足夠高的入射能量,足夠大的束流和在樣品表面轟擊殿處束斑直徑近可能小的電子束,作為X射線的激發(fā)源。為此,一般也采用鎢絲熱發(fā)射電子槍和2-3個(gè)聚光鏡的結(jié)構(gòu)。 為了提高X射線的信號強(qiáng)度,電子探針必須采用較掃描電鏡更高的入射電子束流(在10-9-10-7A范圍),常用的加速電壓為10-30 KV,束斑直徑約為0.5μm。電子探針在鏡筒部分與掃描電鏡明顯不同之處是由光學(xué)顯微鏡。它的作用是選擇和確定分析點(diǎn)。其方法是,先利用能發(fā)出熒光的材料(如ZrO2)置于電子束轟擊下,這是就能觀察到電子束轟擊點(diǎn)的位置,通過樣品移動(dòng)裝置把它調(diào)到光學(xué)顯微鏡目鏡十字線交叉點(diǎn)上,這樣就能保證電子束正好轟擊在分析點(diǎn)上,同時(shí)也保證了分析點(diǎn)處于X射線分光譜儀的正確位置上。在電子探針上大多使用的光學(xué)顯微鏡是同軸反射式物鏡,其優(yōu)點(diǎn)是光學(xué)觀察和X射線分析可同時(shí)進(jìn)行。放大倍數(shù)為100-500倍。電子探針和掃描電鏡在電子光學(xué)系統(tǒng)的構(gòu)造基本相同,它們常常組合成單一的儀器。閔行區(qū)特制探針品牌
在不損耗試樣的情況下,電子探針通常能分析直徑和深度不小于1微米范圍內(nèi)、原子序數(shù)4以上的所有元素;但是對原子序數(shù)小于12的元素,其靈敏度較差。常規(guī)分析的典型檢測相對靈敏度為萬分之一,在有些情況下可達(dá)十萬分之一。檢測的***靈敏度因元素而異,一般為10-14~10-16克。用這種方法可以方便地進(jìn)行點(diǎn)、線、面上的元素分析,并獲得元素分布的圖象。對原子序數(shù)高于10、濃度高于10%的元素,定量分析的相對精度優(yōu)于±2%。電子探針儀是 X射線光譜學(xué)與電子光學(xué)技術(shù)相結(jié)合而產(chǎn)生的。1948年法國的R.卡斯坦制造了***臺電子探針儀。1958年法國首先制造出商品儀器。電子探針儀與掃描電子顯微鏡在結(jié)構(gòu)上有許多共同處。70年代以來生產(chǎn)的電子探針儀上一般都帶有掃描電子顯微鏡功能,有的還附加另一些附件,使之除作微區(qū)成分分析外,還能觀察和研究微觀形貌、晶體結(jié)構(gòu)等。嘉定區(qū)質(zhì)量探針現(xiàn)價(jià)利用探針盒子獲取他人手機(jī)號等隱私信息的行為涉嫌侵犯他人隱私,可能面臨民事侵權(quán)責(zé)任及治安管理處罰責(zé)任。
電子探針儀(圖1)主要包括:探針形成系統(tǒng) (電子槍、加速和聚焦部件等)、X射線信號檢測系統(tǒng)和顯示、記錄系統(tǒng)、樣品室、高壓電源和掃描系統(tǒng)以及真空系統(tǒng)。電子探針的**早應(yīng)用領(lǐng)域是金屬學(xué)。對合金中各組成相、夾雜物等可作定性和定量分析,直觀而方便,還能較準(zhǔn)確地測定元素的擴(kuò)散和偏析情況。此外,它還可用于研究金屬材料的氧化和腐蝕問題,測定薄膜、滲層或鍍層的厚度和成分等,是機(jī)械構(gòu)件失效分析、生產(chǎn)工藝的選擇、特殊用材的剖析等的重要手段。圖2為鎂合金中稀土氧化物在晶界析出的電子探針分析照片。
2、能譜儀來自樣品的X光子通過鈹窗口進(jìn)入鋰漂移硅固態(tài)檢測器。每個(gè)X光子能量被硅晶體吸收將在晶體內(nèi)產(chǎn)生電子空穴對。不同能量的X光子將產(chǎn)生不同的電子空穴對數(shù)。例如,F(xiàn)e的Kα輻射可產(chǎn)生1685個(gè)電子空穴對,而Cu為2110。知道了電子空穴對數(shù)就可以求出相應(yīng)的電荷量以及在固定電容(1μμF)上的電壓脈沖。多道脈沖高度分析器中的數(shù)模轉(zhuǎn)換器首先把脈沖信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號,建立起電壓脈沖幅值與道址的對應(yīng)關(guān)系(道址號與X光子能量間存在對應(yīng)關(guān)系)。通過鑒別其特征波長或特征能量就可以確定所分析的元素。
利用電子探針分析方法可以探知材料樣品的化學(xué)組成以及各元素的重量百分?jǐn)?shù)。分析前要根據(jù)試驗(yàn)?zāi)康闹苽錁悠罚瑯悠繁砻嬉鍧?。用波譜儀分析樣品時(shí)要求樣品平整,否則會(huì)降低測得的X射線強(qiáng)度。定性分析1 點(diǎn)分析用于測定樣品上某個(gè)指定點(diǎn)的化學(xué)成分。下圖是用能譜儀得到的某鋼定點(diǎn)分析結(jié)果。能譜儀中的多道分析器可使樣品中所有元素的特征X射線信號同時(shí)檢測和顯示。不像波譜儀那樣要做全部譜掃描,甚至還要更換分光晶體。2 線分析用于測定某種元素沿給定直線分布的情況。方法是將X射線譜儀(波譜儀或能譜儀)固定在所要測量的某元素特征X射線信號(波長或能量)的位置上,把電子束沿著指定的方向做直線軌跡掃描,便可得到該元素沿直線特征X射線強(qiáng)度的變化,從而反映了該元素沿直線的濃度分布情況。改變譜儀的位置,便可得到另一元素的X射線強(qiáng)度分布。下圖為50CrNiMo鋼中夾雜Al2O3的線分析像??梢姡贏l2O3夾雜存在的地方,Al的X射線峰較強(qiáng)。探針卡是IC制造中對制造成本影響相當(dāng)大的重要制程之一。徐匯區(qū)挑選探針現(xiàn)價(jià)
近年形成了掃描電鏡-顯微分析儀的聯(lián)合裝置,可在觀察微區(qū)形貌的同時(shí)逐點(diǎn)分析試樣的化學(xué)成分及結(jié)構(gòu)。閔行區(qū)特制探針品牌
特異性探針有三種形式——cDNA、RNA、寡核苷酸。cDNA和寡核苷酸是**常采用的探針。RNA探針用途很廣,也容易獲得,但其不穩(wěn)定性限制了其商業(yè)用途。cDNA探針的獲得是,將特定的基因片段裝載到質(zhì)?;蚴删w中,經(jīng)過擴(kuò)增、酶切、純化等復(fù)雜的步驟,才能得到一定長度的cDNA探針。這一過程比較復(fù)雜,有相應(yīng)條件的實(shí)驗(yàn)室才能做到。寡核苷酸探針是在已知基因序列的情況下,由核酸合成儀來完成,可廉價(jià)獲得大量的此類探針。質(zhì)量也相對來說更為穩(wěn)定。由于cDNA探針長度通常為數(shù)百至數(shù)千個(gè)堿基,所以有良好的信號放大作用,但其滲透性比較差。寡核苷酸探針一般為十?dāng)?shù)個(gè)至數(shù)十個(gè)堿基,滲透性強(qiáng),但信號放大作用則較差,合成的多相寡核苷酸探針,敏感性可以達(dá)到cDNA探針?biāo)?。閔行區(qū)特制探針品牌
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