千級(jí)無(wú)塵車(chē)間換氣次數(shù)有明確標(biāo)準(zhǔn)。GB 550072 - 2001規(guī)定是50 - 60次/s,ISO 14644 - 4規(guī)定的是25 - 56次/s。合理的換氣次數(shù)能夠保證車(chē)間內(nèi)空氣的新鮮度和潔凈度,及時(shí)排除污染物,為生產(chǎn)提供良好的空氣環(huán)境。千級(jí)無(wú)塵車(chē)間新風(fēng)量和送風(fēng)量標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)車(chē)間內(nèi)人員數(shù)量確定。如果車(chē)間內(nèi)人員比較多就取最大值。非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10 - 30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量≥40m3/h。充足的新風(fēng)量和送風(fēng)量能夠維持車(chē)間內(nèi)空氣質(zhì)量,保障人員健康和生產(chǎn)安全。無(wú)塵車(chē)間配備在線粒子計(jì)數(shù)器,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)≥0.1μm顆粒,數(shù)據(jù)可追溯。安徽恒溫式無(wú)塵車(chē)間要多少錢(qián)
設(shè)置單獨(dú)防爆墻,采用A級(jí)防火材料。分容柜配置熱電偶陣列,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)電芯溫度梯度。當(dāng)溫差超過(guò)5℃時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)冷卻系統(tǒng),通過(guò)液冷板將電芯溫度控制在25±2℃范圍。采用化學(xué)過(guò)濾機(jī)組與FFU機(jī)組組合方案,對(duì)0.1μm顆粒過(guò)濾效率達(dá)99.9995%。光刻機(jī)臺(tái)設(shè)置單獨(dú)百級(jí)潔凈罩,通過(guò)層流送風(fēng)維持正壓環(huán)境。配置自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS),減少人員干預(yù)。設(shè)置單獨(dú)除濕系統(tǒng),將濕度控制在35±5%RH范圍。膠合臺(tái)配置顯微鏡,通過(guò)圖像處理系統(tǒng)實(shí)時(shí)檢測(cè)膠層厚度。采用UV固化燈時(shí),設(shè)置單獨(dú)排風(fēng)系統(tǒng),將臭氧濃度控制在0.1ppm以下。重慶PCB雙層無(wú)塵車(chē)間策劃公司半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)無(wú)塵車(chē)間,顆粒檢測(cè)靈敏度達(dá)0.1μm,缺陷無(wú)所遁形。
光學(xué)和航空航天業(yè)的無(wú)塵車(chē)間作用是什么?光學(xué)制造中,如相機(jī)鏡頭、望遠(yuǎn)鏡鏡片等產(chǎn)品,表面精度要求極高。無(wú)塵車(chē)間減少灰塵和顆粒物,可避免其附著在光學(xué)元件表面,影響產(chǎn)品清晰度和成像質(zhì)量。哪怕極細(xì)微的灰塵顆粒,都會(huì)在光學(xué)鏡片上形成瑕疵,導(dǎo)致光線散射,降低光學(xué)儀器的分辨率。航空航天制造方面,零部件的高精度和高可靠性至關(guān)重要。無(wú)塵車(chē)間確保零部件制造過(guò)程不受污染,防止雜質(zhì)混入材料,提高產(chǎn)品整體質(zhì)量和安全性。像航空發(fā)動(dòng)機(jī)葉片制造,在無(wú)塵環(huán)境下可保證葉片表面質(zhì)量,使其在高溫、高壓環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行,保障航空航天飛行器的安全飛行。
無(wú)塵車(chē)間的技術(shù)演進(jìn)始終圍繞更高效的過(guò)濾系統(tǒng)、更穩(wěn)定的溫濕度控制及更智能的監(jiān)測(cè)體系展開(kāi)。早期無(wú)塵車(chē)間依賴高效空氣過(guò)濾器(HEPA)實(shí)現(xiàn)基礎(chǔ)凈化,但現(xiàn)代車(chē)間已采用超高效過(guò)濾器(ULPA)與化學(xué)過(guò)濾機(jī)組結(jié)合,對(duì)0.1微米顆粒的過(guò)濾效率達(dá)99.9995%以上。同時(shí),氣流組織設(shè)計(jì)從傳統(tǒng)的層流模式發(fā)展為垂直單向流與水平單向流混合模式,通過(guò)計(jì)算流體動(dòng)力學(xué)(CFD)模擬優(yōu)化送風(fēng)面布局,確保潔凈度均勻性。例如,在鋰電池電芯組裝車(chē)間,通過(guò)0.45m/s的勻速氣流屏障,可將≥0.5微米顆粒物濃度控制在3520粒/m3以下,明顯提升產(chǎn)品良率。在線粒子監(jiān)測(cè),實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)上傳,生產(chǎn)過(guò)程可追溯。
采用垂直單向流與水平單向流混合送風(fēng)模式,在電芯堆疊區(qū)設(shè)置0.45m/s勻速氣流屏障。通過(guò)CFD模擬優(yōu)化送風(fēng)面布局,使≥0.5μm顆粒物濃度始終≤3520個(gè)/m3。電芯注液工序采用隔離操作箱,內(nèi)置氮?dú)獗Wo(hù)系統(tǒng),將氧含量控制在10ppm以下,防止電解液氧化。針對(duì)光刻工序?qū)諝夥肿游廴疚铮ˋMC)的嚴(yán)苛要求,配置化學(xué)過(guò)濾機(jī)組,對(duì)硼、磷、硫等氣態(tài)雜質(zhì)去除效率達(dá)99.999%。采用VOC在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng),實(shí)時(shí)檢測(cè)NH3、SO2等關(guān)鍵指標(biāo),結(jié)合FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元的三級(jí)過(guò)濾體系,確保ISO1級(jí)潔凈環(huán)境。垂直單向流送風(fēng),顆粒物濃度≤10粒/m3,提升半導(dǎo)體良品率。重慶PCB雙層無(wú)塵車(chē)間策劃公司
半導(dǎo)體CMP工序需無(wú)塵環(huán)境,研磨液污染率控制在0.01%以下。安徽恒溫式無(wú)塵車(chē)間要多少錢(qián)
無(wú)塵車(chē)間,又稱凈化車(chē)間、潔凈室,是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)的溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),給予特別設(shè)計(jì)的房間。其原理是通過(guò)初效、中效、高效等多級(jí)空氣過(guò)濾系統(tǒng),將室外空氣凈化后送入室內(nèi),同時(shí)室內(nèi)產(chǎn)生的污染空氣通過(guò)回風(fēng)系統(tǒng)排出,經(jīng)過(guò)處理后再次循環(huán)使用,不斷稀釋室內(nèi)污染物,從而維持車(chē)間內(nèi)的潔凈環(huán)境。例如,在電子芯片制造車(chē)間,微小塵埃可能導(dǎo)致芯片短路,無(wú)塵車(chē)間通過(guò)這種原理確保芯片生產(chǎn)環(huán)境的潔凈。安徽恒溫式無(wú)塵車(chē)間要多少錢(qián)