GBC球閥在半導體特氣系統(tǒng)中為什么需要采用隔膜密封結構？

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上海大載機電有限公司2025-07-10

隔膜密封設計優(yōu)勢：1）實現(xiàn)零泄漏（＜1×10??mbar·l/s）；2）消除閥桿處的顆粒產生；3）避免潤滑油污染高純氣體；4）維護時無需排空系統(tǒng)。此類閥門需滿足SEMI F72標準，表面粗糙度Ra＜0.25μm，且經過三次以上氬氣等離子清洗。

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簡介：2012 年成立的上海大載機電，丹佛斯代理企業(yè)。品質保真，專業(yè)服務，從銷售到銷服一體，未來持續(xù)創(chuàng)新。

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