MINAS A7 系列伺服系統(tǒng)在半導(dǎo)體制造工程中有哪些應(yīng)用？

上海育展貿(mào)易有限公司2025-09-01

MINAS A7 系列伺服系統(tǒng)在半導(dǎo)體制造工程中應(yīng)用相當(dāng)多樣化，如旋涂機(jī)（通過 7150r/min 高速旋轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)晶片藥液均勻鋪展）、模切機(jī)（27bit 高分辨率編碼器實(shí)現(xiàn)微細(xì) IC 芯片定位）、芯片移載機(jī)（precAIse TUNING 抑制細(xì)微振動，實(shí)現(xiàn)高速拾?。⒒鍣z查設(shè)備（高精度龍門控制實(shí)現(xiàn)高速順暢檢查）等，助力半導(dǎo)體微細(xì)化、多層化制造需求。

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