半導(dǎo)體行業(yè)的環(huán)境需要達(dá)到什么精度？克力空調(diào)的案例有哪些？

江蘇克力空調(diào)有限公司2025-10-19

半導(dǎo)體行業(yè)對生產(chǎn)環(huán)境精度要求極為嚴(yán)苛，關(guān)鍵體現(xiàn)在溫濕度、潔凈度等關(guān)鍵維度：以光刻工藝為例，溫度需穩(wěn)定在 23℃±0.1℃，部分前沿光刻機甚至要求 ±0.05℃的波動控制，濕度需維持在 40%-50% RH 且波動不超過 ±5% RH，以避免材料熱脹冷縮、靜電產(chǎn)生及光刻膠變質(zhì)；潔凈度需達(dá)到 ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)的 Class 1 級，即每立方米空氣中粒徑≥0.1μm 的顆粒不超過 10 個，同時需配合穩(wěn)定氣壓與層流控制防止外部污染。 克力空調(diào)憑借技術(shù)突破精確適配這些需求，其組合式空調(diào)機組可實現(xiàn) ±0.01℃溫度精度與 ±1% 濕度精度的嚴(yán)苛控制，通過多級過濾與優(yōu)化密封結(jié)構(gòu)保障高潔凈度，并能針對半導(dǎo)體場景進(jìn)行非標(biāo)定制。典型案例中，南京鋰電項目（涉及先進(jìn)電子產(chǎn)品制造）采用克力自主研發(fā)的 - 75℃超低露點除濕機組，通過轉(zhuǎn)輪深度吸附技術(shù)創(chuàng)造穩(wěn)定的超低露點環(huán)境，搭配全焊接結(jié)構(gòu)增強氣密性與防護(hù)性，確保車間露點溫度穩(wěn)定維持在 - 75℃以下，成功突破工藝瓶頸，滿足半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)線對極端濕度控制的需求。

本回答由 江蘇克力空調(diào)有限公司 提供