真空固晶爐真空度波動會導致芯片偏移嗎？

廣東華芯半導體技術有限公司2025-10-07

會。真空度波動會使膠水流動性不穩(wěn)定，芯片受力不均，偏移量易超 ±0.01mm，不符合精密固晶要求。若真空度驟升，膠水易過度擴散，芯片易漂浮偏移；若真空度驟降，空氣殘留會導致膠水附著力下降，芯片易移位。解決需先校準真空系統(tǒng)，確保波動范圍≤±2Pa，再檢查真空泵油位與管道密封性。廣東華芯半導體技術有限公司的真空固晶爐配備真空穩(wěn)定控制系統(tǒng)，可有效避免波動引發(fā)的偏移問題。

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