銀漿無氧烤箱的腔體密封不良，怎么排查？

廣東華芯半導體技術(shù)有限公司2025-10-29

分三步排查：①關(guān)閉氮氣，密封腔體，用真空泵抽至 100Pa 后保壓，10 分鐘內(nèi)壓力升超 50Pa 即判定泄漏；②用肥皂水涂抹門體密封圈、管道接口等部位，冒泡處為泄漏點；③若門體密封不良，檢查密封圈是否老化（變硬或裂紋），需更換同規(guī)格氟橡膠圈；若管道泄漏，緊固接口或更換破損管道。密封不良會導致氮氣消耗增加 30%-50%，氧含量難以控制。廣東華芯半導體技術(shù)有限公司可提供密封性能檢測與修復(fù)服務(wù)。

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