真空固晶爐真空泵噪音突然變大，怎么排查？

廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-10-11

排查需分四步：一是檢查真空泵油位，若油位低于刻度線，補(bǔ)加同型號油；二是檢查油質(zhì)，若油色發(fā)黑或有雜質(zhì)，更換新油；三是檢查泵體固定螺栓，若松動，重新緊固；四是檢查泵內(nèi)葉片，若葉片磨損，需維修或更換真空泵。排查時需停機(jī)操作，確保安全。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司可提供真空泵噪音排查服務(wù)，快速定位問題。

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