丹陽市寶來利真空機(jī)電有限公司2025-09-17
提高鍍膜速率的方法有:增加蒸發(fā)源的加熱功率(對于蒸發(fā)鍍膜),提高鍍膜材料的蒸發(fā)速度;增大濺射靶的功率(對于濺射鍍膜),增強(qiáng)粒子轟擊靶材的強(qiáng)度,增加靶材原子的逸出量;提高真空度,減少氣體分子對鍍膜粒子的阻礙,使粒子更快到達(dá)基片表面;優(yōu)化蒸發(fā)源 / 濺射靶與基片之間的距離,縮短粒子運(yùn)動路徑;選擇合適的鍍膜材料,不同材料的蒸發(fā)或?yàn)R射速率不同。?
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