真空固晶爐能固晶柔性基板嗎？需注意什么？

廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-10-09

能固晶柔性基板，但需重點注意三點：一是用柔性特定夾具固定，避免基板褶皺，夾具壓力控制在 0.1-0.3MPa；二是真空度設(shè) 20-40Pa，防止基板因真空度過高被吸變形；三是固化溫度降至 80-110℃，升溫速率 1-2℃/min，減少熱應(yīng)力導(dǎo)致的基板收縮。點膠量需比剛性基板少 10%-15%，避免膠水滲透基板。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的真空固晶爐可定制柔性基板夾具，適配固晶需求。

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