GBC球閥在半導(dǎo)體特氣系統(tǒng)中如何達(dá)到超高純要求？

上海大載機(jī)電有限公司2025-11-28

閥體內(nèi)表面電拋光至Ra≤0.13μm，經(jīng)顆粒檢測每平方厘米0.1μm以上顆粒不超過5個(gè)。閥座采用全氟醚橡膠，放氣率小于1×10??cc/sec。操作扭矩控制在0.5-1.5N·m范圍內(nèi)，避免摩擦產(chǎn)生顆粒。出廠前經(jīng)過三級(jí)清洗：溶劑清洗、超純水清洗、氮?dú)獯祾?，潔凈度達(dá)到Class 0.1標(biāo)準(zhǔn)。

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