怎么判斷碳化硅材料的純度是否達(dá)標(biāo)？有簡單的檢測方法嗎？

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江蘇三責(zé)新材料科技股份有限公司2025-11-07

碳化硅純度判斷有專業(yè)檢測和簡易判斷兩類方法，不同應(yīng)用對純度要求不同。專業(yè)檢測方法：化學(xué)分析法——通過ICP-MS測定各種雜質(zhì)元素含量，可精確到ppm級，高純碳化硅純度可達(dá)99.9999%，雜質(zhì)含量低至1ppm級別；XRF快速測定主要元素含量；碳硫分析儀測定游離碳和SiC含量，碳化硅含量大于99%為合格。簡易判斷方法：觀察外觀——高純碳化硅呈均勻的黑色或深灰色，表面光滑細(xì)膩；酸洗測試——高純碳化硅在HF或HNO3中浸泡后表面無變化、無氣泡產(chǎn)生，表面蝕刻率極低；密度測試——無壓燒結(jié)碳化硅密度應(yīng)大于3.10g/cm3，反應(yīng)燒結(jié)碳化硅大于3.03g/cm3，密度低可能說明氣孔多或雜質(zhì)多。應(yīng)用要求：常規(guī)應(yīng)用SiC含量>99%即可；半導(dǎo)體、光伏等應(yīng)用需基材純度99.97%以上，表面CVD涂層純度99.9999%。江蘇三責(zé)新材料科技股份有限公司的產(chǎn)品都配有材質(zhì)證明和純度檢測報(bào)告，高純碳化硅部件符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。如需第三方檢測報(bào)告或樣品檢測服務(wù)，可通過質(zhì)量部門申請。