垂直固化爐的爐膽怎么清潔？多久清潔一次？

廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-10-25

爐膽清潔需每月一次，步驟：斷電冷卻至 50℃以下，取出層間治具；用軟布蘸中性清潔劑（如酒精）擦拭爐膽內(nèi)壁，去除膠水殘留；若有頑固污漬，用特定刮刀（塑料材質(zhì)，避免刮傷爐膽）輕輕刮除；清潔后用干布擦干，通電加熱至 100℃烘干 30min，防止潮氣殘留。若固化高揮發(fā)膠水，需每?jī)芍芮鍧嵰淮危苊馕蹪n影響溫度均勻性。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司可提供爐膽清潔工具與指導(dǎo)。

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