固晶后膠水出現(xiàn)氣泡，怎么追溯原因？

廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-10-10

追溯需從四方面排查：一是查真空度記錄，若固化階段真空度＞20Pa，可能是真空系統(tǒng)泄漏；二是查升溫曲線，若升溫速率＞5℃/min，可能是揮發(fā)物排出不及時(shí)；三是查膠水批次，若膠水過期或儲(chǔ)存不當(dāng)，易產(chǎn)生氣泡；四是查點(diǎn)膠量，若點(diǎn)膠過多，膠水內(nèi)空氣難排出。追溯后針對(duì)性調(diào)整，可減少氣泡率。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的真空固晶爐有參數(shù)記錄功能，便于追溯原因。

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