垂直固化爐比臥式爐省多少占地面積？

廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-10-24

垂直固化爐依托立體堆疊設(shè)計，占地面積比臥式爐省 60%-75%：常規(guī)臥式爐（產(chǎn)能 500pcs / 批次）占地約 8-10㎡，同產(chǎn)能垂直爐只需 2-3㎡；若選 HX-V 系列多層垂直爐（8-12 層），產(chǎn)能提升至 800-1200pcs / 批次，占地仍只 3-4㎡，相當(dāng)于臥式爐的 1/3。節(jié)省的空間可用于擴充前道工序設(shè)備，尤其適合車間面積有限的場景。垂直爐還支持靠墻安裝，進一步優(yōu)化空間布局。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的垂直固化爐，在空間利用率上行業(yè)領(lǐng)跑。

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