碳化硅吸盤的真空度衰減了怎么處理？

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江蘇三責(zé)新材料科技股份有限公司2025-11-04

碳化硅吸盤真空度衰減通常是密封問題或表面污染導(dǎo)致，可以通過系統(tǒng)檢查來定位和解決。真空衰減原因排查：表面污染——碳化硅吸盤表面沉積顆粒、氧化物或有機污染物，堵塞吸孔或影響密封，解決方法是清洗吸盤表面；密封圈老化——橡膠或陶瓷密封圈老化、變形、開裂，更換密封圈即可；吸孔堵塞——檢查吸孔是否被顆粒堵塞，可用高壓氣體反吹或超聲清洗；真空系統(tǒng)泄漏——檢查真空管路連接處、閥門是否泄漏，與吸盤本身無關(guān)；吸盤表面磨損——長期使用后碳化硅吸盤表面平面度下降，雖然碳化硅硬度超過2000GPa耐磨性極好，但精密吸附應(yīng)用中微米級磨損也會影響真空度，可進行表面研磨修復(fù)。碳化硅吸盤具有高硬度、高彈性模量、高導(dǎo)熱系數(shù)、低熱膨脹系數(shù)以及良好的比剛度和光學(xué)加工性能，結(jié)合多種焊接技術(shù)和CVD涂層技術(shù)制作。江蘇三責(zé)新材料科技股份有限公司專門制作光刻機用碳化硅凸點吸盤和環(huán)狀吸盤、晶圓檢測用碳化硅凸點吸盤、鍵合用壓板和吸盤等高精密陶瓷部件。如需吸盤維護保養(yǎng)手冊或返廠檢修服務(wù)，可聯(lián)系售后技術(shù)支持。