青島羅茨無(wú)油真空機(jī)組

牽引分子泵：牽引分子泵工作原理基于氣體分子與泵內(nèi)高速旋轉(zhuǎn)部件表面的相互作用。其轉(zhuǎn)子表面有特殊形狀溝槽或螺紋，當(dāng)轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，氣體分子因與轉(zhuǎn)子表面碰撞，被“牽引”向排氣口方向移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)抽氣過(guò)程。與渦輪分子泵相比，牽引分子泵結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單，對(duì)氣體負(fù)載適應(yīng)性好，同樣適用于高真空和超高真空環(huán)境，在一些對(duì)設(shè)備體積、重量有要求的場(chǎng)合應(yīng)用，如小型超高真空實(shí)驗(yàn)裝置，極限真空度可達(dá)10^-8-10^-10Pa。水環(huán)泵主要由葉輪、泵體、密封裝置等組成。葉輪偏心安裝在泵體內(nèi)，啟動(dòng)前泵內(nèi)注入一定量水。華中真空設(shè)備注重自身科技硬實(shí)力打造，服務(wù)文化軟實(shí)力提升！青島羅茨無(wú)油真空機(jī)組

羅茨真空泵機(jī)組以羅茨泵為主泵，通常搭配旋片式真空泵或水環(huán)泵作為前級(jí)泵，輔以管道、閥門(mén)、真空測(cè)量?jī)x表及控制系統(tǒng)構(gòu)成完整系統(tǒng)。其重點(diǎn)部件羅茨泵屬于容積式機(jī)械泵，由兩個(gè)8字形轉(zhuǎn)子、泵體、齒輪箱等組成，轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子與泵體間保持微小間隙（通常0.1-0.2mm），運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)無(wú)接觸摩擦，無(wú)需潤(rùn)滑介質(zhì)。這種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使其具備抽氣速率穩(wěn)定、適應(yīng)性強(qiáng)的特點(diǎn)，尤其適合處理含有少量粉塵或可凝性氣體的工況。羅茨真空泵機(jī)組的工作過(guò)程遵循“分級(jí)增壓抽氣”邏輯。啟動(dòng)時(shí)，前級(jí)泵首先運(yùn)行，將系統(tǒng)壓力從大氣壓降至103Pa以下——這是羅茨泵的安全啟動(dòng)閾值。新疆高真空機(jī)組華中真空設(shè)備與客戶(hù)攜手共進(jìn)，合作共贏，創(chuàng)造更加美好的明天！

工業(yè)生產(chǎn)中常見(jiàn)的腐蝕性氣體可分為三大類(lèi)，其特性直接決定了真空機(jī)組的選型方向：酸性腐蝕性氣體，以氯氣（Cl?）、氟化氫（HF）、二氧化硫（SO?）為，這類(lèi)氣體遇水會(huì)形成酸性溶液（如Cl?+H?O→HCl+HClO），對(duì)金屬材料（尤其是碳鋼）產(chǎn)生強(qiáng)烈的電化學(xué)腐蝕。干燥氯氣對(duì)304不銹鋼的腐蝕速率約0.1mm/年，但在潮濕環(huán)境下可升至1mm/年以上，短短3個(gè)月就能穿透2mm厚的鋼板。堿性腐蝕性氣體，主要包括氨氣（NH?）、胺類(lèi)蒸氣等，這類(lèi)氣體易與二氧化碳反應(yīng)生成碳酸鹽，對(duì)銅、鋅等有色金屬產(chǎn)生腐蝕。

啟動(dòng)后，高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片與氣體分子發(fā)生彈性碰撞，使氣體分子獲得向排氣口方向的動(dòng)量。通過(guò)多級(jí)葉片的接力傳遞，氣體分子被逐級(jí)推送至排氣端，由前級(jí)泵抽走。不同氣體分子因質(zhì)量差異表現(xiàn)出不同抽速：對(duì)輕質(zhì)氣體（如H?）抽速較低，需配合牽引級(jí)葉片；對(duì)重質(zhì)氣體（如N?）抽速可達(dá)額定值的90%。在半導(dǎo)體刻蝕工藝中，渦輪分子泵機(jī)組展現(xiàn)出獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。其可在10??Pa真空度下維持穩(wěn)定抽速，且無(wú)油污染，能避免金屬離子對(duì)晶圓的污染。通過(guò)變頻控制器調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速（可在額定轉(zhuǎn)速的50%-100%范圍內(nèi)調(diào)節(jié)），可精確匹配刻蝕過(guò)程中的氣體負(fù)載變化，確保腔室壓力波動(dòng)控制在±0.1Pa以?xún)?nèi)。山東華中本著誠(chéng)信、品質(zhì)、服務(wù)的經(jīng)營(yíng)理念，不斷開(kāi)拓創(chuàng)新，與時(shí)俱進(jìn)，深獲廣大用戶(hù)的贊揚(yáng)。

在選擇真空泵時(shí)，需根據(jù)目標(biāo)真空度和抽氣速率要求合理選型。若目標(biāo)真空度為10^-5Pa，旋片泵無(wú)法滿(mǎn)足，需選用渦輪分子泵或擴(kuò)散泵搭配前級(jí)泵的機(jī)組。系統(tǒng)密封性，真空機(jī)組連接管道、閥門(mén)、真空室等部件密封性對(duì)真空度影響重大。若存在漏氣點(diǎn)，外界空氣會(huì)不斷進(jìn)入系統(tǒng)，導(dǎo)致真空度無(wú)法提升或下降。如真空機(jī)組管道連接處密封墊老化、損壞，會(huì)使氣體泄漏，影響系統(tǒng)真空性能。因此，安裝真空機(jī)組時(shí)，需確保各部件連接緊密，定期檢查密封性能，及時(shí)更換老化密封件。面對(duì)變幻莫測(cè)的市場(chǎng)，只有客戶(hù)的價(jià)值得到體現(xiàn)，才是華中真空設(shè)備的體現(xiàn)。青島羅茨無(wú)油真空機(jī)組

淄博華中真空設(shè)備有限公司始終堅(jiān)持以人為本的原則，人才是公司財(cái)富的理念。青島羅茨無(wú)油真空機(jī)組

腐蝕性氣體（如氯氣、氟化氫）：會(huì)加速金屬部件腐蝕（軸承、波紋管）和橡膠老化（O型圈），更換周期需縮短50%-60%。某氯堿廠的水環(huán)泵在處理濕氯氣時(shí)，機(jī)械密封壽命從15000小時(shí)降至6000小時(shí)，且必須改用全氟醚密封件；含塵氣體（＞50mg/m3）：粉塵會(huì)加劇軸承和轉(zhuǎn)子磨損，過(guò)濾元件更換周期需縮短至1/3-1/2。某礦山的真空機(jī)組因粉塵濃度達(dá)200mg/m3，進(jìn)氣過(guò)濾器更換周期從800小時(shí)縮至200小時(shí)；可凝性氣體（如蒸氣、有機(jī)溶劑）：易在密封面凝結(jié)，導(dǎo)致密封件溶脹（橡膠）或結(jié)垢（機(jī)械密封），更換周期需縮短40%-50%。青島羅茨無(wú)油真空機(jī)組