激光光掩膜主要分兩個(gè)組成部分,即基板和不透光材料,不同掩模版的不透光材料有所不同。基板通常是高純度,低反射率,低熱膨脹系數(shù)的石英玻璃。不同種類光掩膜使用的不透光材料不同。光掩膜分為鉻版(蘇打玻璃、石英玻璃、硼硅玻璃)、干版、菲林、凸版(APR)。鉻版的不透光層是通過(guò)濺射方法鍍?cè)诓A路胶窦s 0.1um 的鉻層。鉻的硬度比玻璃略小,不易受損但有可能被玻璃所傷害。應(yīng)用于芯片制造的光掩膜為高敏感度的鉻版。干版涂附的乳膠,硬度小且易吸附灰塵,不過(guò)干版還有包膜和超微顆粒干版,后者可應(yīng)用于芯片制造。激光鉆孔加工技術(shù)方法;重慶激光產(chǎn)品介紹
大功率半導(dǎo)體激光器封裝技術(shù)中,主要有三個(gè)趨勢(shì)
(1)無(wú)銦化銦焊料是常用的焊料之一。由于銦焊料在高電流下易產(chǎn)生電遷移和電熱遷移的問(wèn)題,影響半導(dǎo)體激光器的穩(wěn)定性。通常采用金錫焊料封裝取代銦焊料封裝。
(2)高散熱:針對(duì)熱管理盡管已提出了多種散熱方式,例如金剛石傳導(dǎo)散熱和微通道散熱技術(shù),如何提高散熱效率仍然是阻礙陣列半導(dǎo)體激光器高功率輸出的主要因素。熱應(yīng)力通常是由于陣列激光器和襯底的熱膨脹系數(shù)(CTE)失配所導(dǎo)致。熱應(yīng)力不僅限制了用于封裝的襯底材料/熱沉的選擇,而且影響半導(dǎo)體激光bar的可靠性、光譜寬度和光束的“smile”效應(yīng)(各發(fā)射腔的近場(chǎng)非線性效應(yīng))。為了減小熱應(yīng)力,目前通過(guò)采用高的熱傳導(dǎo)率和熱膨脹系數(shù)更加匹配的襯底/熱沉材料(無(wú)氧銅、純銀、金剛石、硅)。
(3)“無(wú)空洞”貼片技術(shù):對(duì)于單陣列半導(dǎo)體激光器,由于陣列半導(dǎo)體激光器各個(gè)發(fā)光單元產(chǎn)生的熱量相互干擾和整體散熱不均勻,導(dǎo)致器件性能穩(wěn)定性降低和限制功率上升;如果貼片層中存在空洞將明顯的影響陣列半導(dǎo)體激光的性能,包括輸出功率和可靠性等?,F(xiàn)已有兩種降低貼片層中的空洞的方法:一種是在合理的控制環(huán)境溫度和壓力情況下使用貼片技術(shù);另一種方法是真空回流技術(shù)。 Ezlaze激光答疑解惑激光掩膜版是芯片制造過(guò)程中的圖形“底片”;
微納加工-激光掩模版的作用:
光刻掩模版,別稱“掩模版”、“光刻板”、“光罩”、“遮光罩”,一般使用玻璃或者石英表面覆蓋帶有圖案的金屬圖形,實(shí)現(xiàn)對(duì)光線的遮擋或透過(guò)功能,是微電子光刻工藝中的一個(gè)工具或者板材。我們利用光罩可以實(shí)現(xiàn)微電子工藝中的圖形傳遞。光刻掩模版的加工技術(shù)主要有兩種:其一為激光直寫(xiě)技術(shù);其二為電子束直寫(xiě)部分,兩種技術(shù)區(qū)別在于光源不同,實(shí)現(xiàn)的精度有所區(qū)別。掩模版是光刻工藝不可缺少的部件。掩模上承載有設(shè)計(jì)圖形,光線透過(guò)它,把設(shè)計(jì)圖形透射在光刻膠上,掩膜版的功能類似于傳統(tǒng)照相機(jī)的“底片”。我們可以通過(guò)把圖形做在掩模版上通過(guò)下一步曝光工藝(下期講解)轉(zhuǎn)移到我們的基底上,基底上有對(duì)應(yīng)的相關(guān)圖形了,但是通過(guò)曝光基底上還沒(méi)有刻上圖形,只是光刻膠有了相關(guān)圖形。光刻膠的是一種對(duì)光敏感的材料,通過(guò)紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射,其溶解度發(fā)生變化。有可能會(huì)變?nèi)菀兹芙庖部赡茏兊貌蝗菀祝@時(shí)候再通過(guò)顯影液,不穩(wěn)定的部分將會(huì)被處理掉,剩下的就是我們想要的圖形。
由于激光微加工技術(shù)是用于透明材料的一種新的制造技術(shù),因此可以預(yù)見(jiàn)微加工技術(shù)應(yīng)用于意想不到的領(lǐng)域。從掌上型和可穿戴式顯示器到通信和計(jì)算系統(tǒng),光子設(shè)備現(xiàn)已遍及全球。制造光子器件必不可少的材料是透明材料,例如玻璃,聚合物和晶體,我們通常希望它們具有透明和寬帶的透明性,穩(wěn)定性以及多種成分。聚焦的超快激光脈沖會(huì)在這些透明材料中引起非線性吸收效應(yīng),從而使我們能夠在材料的表面或內(nèi)部進(jìn)行微加工。這種被稱為超快激光微加工的技術(shù)已經(jīng)有了多種應(yīng)用,例如切割、鉆孔、波導(dǎo)耦合器和分路器的直接寫(xiě)入、光學(xué)動(dòng)態(tài)記憶,甚至玻璃和玻璃、玻璃和金屬或玻璃和陶瓷之間界面的焊接或接合技術(shù)。激光微加工系統(tǒng)的主要功能;
激光掩膜版是芯片制造過(guò)程中的圖形“底片”,用于轉(zhuǎn)移高精密電路設(shè)計(jì),承載了圖形設(shè)計(jì)和工藝技術(shù)等知識(shí)產(chǎn)權(quán)信息。掩模版用于芯片的批量生產(chǎn),是下游生產(chǎn)流程銜接的關(guān)鍵部分,是芯片精度和質(zhì)量的決定因素之一。
激光掩膜版的功能類似于傳統(tǒng)照相機(jī)的底片。制造商通常根據(jù)客戶所需要的圖形,用光刻機(jī)在原材料上光刻出相應(yīng)的圖形,將不需要的金屬層和膠層洗去,即得到掩膜版。掩膜版的原材料掩膜版基板是制作微細(xì)光掩膜圖形的感光空白板。通過(guò)光刻制版工藝,將微米級(jí)和納米級(jí)的精細(xì)圖案刻制于基板上制作成掩膜版。掩膜版的作用主要體現(xiàn)為利用已設(shè)計(jì)好的圖案,通過(guò)透光與非透光方式進(jìn)行圖像(電路圖形)復(fù)制,從而實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)。 微納加工-激光掩模版的作用;重慶激光商家
激光開(kāi)蓋,主要針對(duì)陶瓷、可伐、鋁合金等金屬封裝。重慶激光產(chǎn)品介紹
激光技術(shù)是20世紀(jì)與原子能、半導(dǎo)體及計(jì)算機(jī)齊名的四項(xiàng)重大發(fā)明之一.四十多年來(lái),隨著小型電子產(chǎn)品和微電子元器件需求量的日益增長(zhǎng),對(duì)于加工材料(尤其是聚合物材料以及高熔點(diǎn)材料)的精密處理日漸成為激光在工業(yè)應(yīng)用中發(fā)展快速的領(lǐng)域之一.
激光加工是激光產(chǎn)業(yè)的重要應(yīng)用,與常規(guī)的機(jī)械加工相比,激光加工更精密、更準(zhǔn)確、更迅速.該技術(shù)利用激光束與物質(zhì)相互作用的特性對(duì)包括金屬與非金屬的各種材料進(jìn)行加工,涉及到了焊接、切割、打標(biāo)、打孔,熱處理、成型等多種加工工藝。激光的特性使之成為微處理的理想工具,廣泛應(yīng)用于微電子、微機(jī)械和微光學(xué)加工三大領(lǐng)域。
激光加工技術(shù)是利用激光束與物質(zhì)相互作用的特性對(duì)材料(包括金屬與非金屬)進(jìn)行切割、焊接、表面處理、打孔及微加工等的一門(mén)加工技術(shù). 重慶激光產(chǎn)品介紹
波銘科儀,2013-06-03正式啟動(dòng),成立了拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測(cè)器等幾大市場(chǎng)布局,應(yīng)對(duì)行業(yè)變化,順應(yīng)市場(chǎng)趨勢(shì)發(fā)展,在創(chuàng)新中尋求突破,進(jìn)而提升愛(ài)特蒙特的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力,把握市場(chǎng)機(jī)遇,推動(dòng)儀器儀表產(chǎn)業(yè)的進(jìn)步。旗下愛(ài)特蒙特在儀器儀表行業(yè)擁有一定的地位,品牌價(jià)值持續(xù)增長(zhǎng),有望成為行業(yè)中的佼佼者。隨著我們的業(yè)務(wù)不斷擴(kuò)展,從拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測(cè)器等到眾多其他領(lǐng)域,已經(jīng)逐步成長(zhǎng)為一個(gè)獨(dú)特,且具有活力與創(chuàng)新的企業(yè)。波銘科儀始終保持在儀器儀表領(lǐng)域優(yōu)先的前提下,不斷優(yōu)化業(yè)務(wù)結(jié)構(gòu)。在拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測(cè)器等領(lǐng)域承攬了一大批高精尖項(xiàng)目,積極為更多儀器儀表企業(yè)提供服務(wù)。